上料模组与真空镀膜设备的制作方法

1.本实用新型涉及真空镀膜技术领域，尤其是涉及上料模组与真空镀膜设备。


背景技术：

2.靶材是镀膜工艺中不可或缺的的溅射源，在进行真空镀膜的过程中需要持续的添加靶材，同时还需要保证上料处的密封，相关技术中的靶材上料模组结构复杂，生产成本较高，难以满足实际需求。


技术实现要素：

3.本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型提出一种上料模组，能够简化结构，降低成本。
4.本实用新型还公开了应用上述上料模组的真空镀膜设备。
5.根据本实用新型第一实施例的上料模组，用于将靶材补入容器，包括：
6.基座，具有第一腔体与第二腔体，所述第一腔体在所述基座上形成第一开口，所述第一开口用于连通所述容器的内腔，所述第二腔体在所述基座上形成第二开口，所述第二开口用于所述靶材进入所述第二腔体；
7.密封装置，连接于所述基座，并能够相对所述基座移动，以打开或者封闭所述第一腔体与所述第二腔体的连接处；
8.推动装置，连接于所述基座，并能够相对所述基座移动，以在所述第一腔体与所述第二腔体的连接处处于打开状态时，推动所述第二腔体内的所述靶材向所述第一开口的方向移动。
9.根据本实用新型实施例的上料模组，至少具有如下有益效果：
10.在上述的上料模组中，基座开设有第一开口与第二开口，第一开口用于与容器的内腔连通，第二开口用于靶材进入基座的内部，密封装置可以相对基座移动，从而打开或者封闭第一腔体与第二腔体的连接处，如此，当二者的连接处处于打开状态时，推动装置可以推动靶材进入与上料模组连接的容器，当二者的连接处处于封闭状态时，可以使容器上与上料模组相连接的部位处于密封状态，且上述上料模组的结构简单，操作便捷，有助于提升效率，降低成本。
11.根据本实用新型的一些实施例，所述基座包括：
12.第一连接件，具有所述第一腔体与所述第一开口；
13.第二连接件，具有所述第二腔体与所述第二开口；
14.其中，所述密封装置位于所述第一连接件与所述第二连接件之间，所述第二连接件能够相对所述第一连接件沿所述靶材的上料方向移动，且能够在移动至设定位置时将所述密封装置压紧在所述第一连接件上。
15.根据本实用新型的一些实施例，还包括锁止装置，所述锁止装置用于将所述第二连接件保持在所述设定位置。
16.根据本实用新型的一些实施例，所述锁止装置包括导向件，所述导向件与所述第一连接件连接，所述第二连接件具有导向孔，所述导向件插接在所述导向孔内，且从所述第二连接件上远离所述第一连接件的端部伸出；
17.所述锁止装置还包括锁止件，所述锁止件可分离地连接于所述导向件的伸出部分，以将所述第二连接件保持在所述设定位置。
18.根据本实用新型的一些实施例，所述导向件的伸出部分具有支撑部，所述支撑部与所述第二连接件之间具有间隙；
19.所述锁止件与所述第二连接件转动连接，转动至所述间隙内的所述锁止件由所述支撑部进行支撑。
20.根据本实用新型的一些实施例，所述锁止件具有凹槽，当所述锁止件转动至所述间隙内时，所述导向件容纳于所述凹槽内。
21.根据本实用新型的一些实施例，所述第二腔体在所述基座上形成第三开口，沿所述靶材的进样方向，所述第二开口、所述第三开口与所述第一开口依次设置，所述密封装置能够通过所述第三开口脱离所述基座。
22.根据本实用新型的一些实施例，沿所述进样方向，所述第三开口与所述第二开口连通。
23.根据本实用新型的一些实施例，所述推动装置的外周面具有第一台阶面，所述第二腔体的腔壁具有第二台阶面，当所述第一台阶面与所述第二台阶面相互接触时，由所述第二开口进入所述第二腔体的所述靶材能够移动至所述推动装置上。
24.根据本实用新型第二实施例的真空镀膜设备，包括所述的上料模组。
25.本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。
附图说明
26.下面结合附图和实施例对本实用新型做进一步的说明，其中：
27.图1为本实用新型实施例的上料模组处于密封状态的立体示意图；
28.图2为图1中上料模组的剖视图；
29.图3为图1中上料模组的第一连接件与第二连接件处于分离状态的立体示意图；
30.图4为图4中上料模组的正视图；
31.图5为图1中上料模组的锁止装置处于锁止状态的立体示意图；
32.图6为图1中上料模组的锁止装置处于解锁状态的立体示意图。
具体实施方式
33.下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。
34.在本实用新型的描述中，需要理解的是，涉及到方位描述，例如上、下、前、后、左、右等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用
新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
35.在本实用新型的描述中，若干的含义是一个以上，多个的含义是两个以上，大于、小于、超过等理解为不包括本数，以上、以下、以内等理解为包括本数。如果有描述到第一、第二只是用于区分技术特征为目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量或者隐含指明所指示的技术特征的先后关系。
36.本实用新型的描述中，除非另有明确的限定，设置、安装、连接等词语应做广义理解，所属技术领域技术人员可以结合技术方案的具体内容合理确定上述词语在本实用新型中的具体含义。
37.本实用新型的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示意性实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
38.参照图1、图2，本实用新型实施例的上料模组用于将物料补入容器，物料可以是真空镀膜工艺所需的靶材。上料模组包括基座110、密封装置120与推动装置130。基座110作为承载结构，用于安装上述的密封装置120与推动装置130，且基座110上开设有第一开口 113与第二开口114，靶材可以通过第二开口114进入基座110内部，并可以通过第一开口 113进入容器的内腔。密封装置120用于在上料完成后封闭基座110内与第一开口113连通的腔体，避免破坏加工过程中的真空环境。推动装置130用于将推动基座110内的靶材运动，从而将靶材送入容器中。
39.以图中所示为例，基座110整体为中空的圆柱体，内腔分为第一腔体111与第二腔体112，第二腔体112与第一腔体111沿靶材上料的方向(例如图中从下往上的方向)设置，且二者连通。由于靶材通常为圆柱体，因此第二腔体112的主体部分与第一腔体111的横截面均可以是圆形。
40.第一腔体111在基座110上形成有第一开口113，第一开口113位于基座110与容器进行密封连接的部分，例如图中的上端面。需要说明的是，为了实现基座110与容器的密封连接，基座110的上端面具有环绕第一开口113设置的第一密封槽118，第一密封槽118内设置有环形的第一密封圈119，当基座110与容器连接时，第一密封圈119与容器的外侧壁抵持以实现密封。
41.第二腔体112在基座110上形成有第二开口114，第二开口114用于供外部的靶材进入第二腔体112。第二开口114可以开设于基座110的侧壁，如此，当基座110竖直固定于容器之上时，可以方便地从侧向将靶材送入基座110。
42.此外，第二腔体112在基座110上还形成有第四开口1110，第四开口1110位于基座110 的下端面，推动装置130的下端可以从第四开口1110伸出，便于操作者操作推动装置130。
43.密封装置120可以是密封法兰，其朝向第一开口113的一侧端面(例如图示的上端面) 具有第二密封槽121，第二密封槽121环绕第一腔体111下端的第五开口1111设置，第二密封槽121内设置有环形的第二密封圈122。密封装置120连接于第一腔体111与第二腔体
112 的连接处，当第二密封圈122与第五开口1111的边缘抵持时，即可实现密封装置120对第五开口的密封，由于第一腔体111的另一端开口(第一开口113)与容器密封连接，因此可以实现容器上与上料模组相连接的部位的密封。
44.密封装置120能够相对基座110移动，以打开或者封闭第一腔体111与第二腔体112的连接处，具体的，当密封装置120处于图示的位置时，二者的连接处处于封闭状态，第五开口1111被密封装置120密封；当密封装置120从图示位置移动，从而打开二者的连接处时，第二腔体112中的靶材可以进入第一腔体111，并通过第一开口113进入容器。需要说明的是，密封装置120可以是通过平移、转动等方式相对基座110移动，此外，密封装置120可以完全与基座110脱离，也可以在与基座110保持连接的基础上打开第一腔体111与第二腔体112的连接处。
45.推动装置130可以是推动杆，其在初始状态时位于第二腔体112中，当靶材进入第二腔体112后，推动装置130可以推动靶材沿上料方向运动。推动装置130可以由人工驱动，也可以通过气缸等机械动力装置驱动。
46.在上述的上料模组中，基座110开设有第一开口113与第二开口114，第一开口113用于与容器的内腔连通，第二开口114用于靶材进入基座110的内部，密封装置120可以相对基座110移动，从而打开或者封闭第一腔体111与第二腔体112的连接处，如此，当二者的连接处处于打开状态时，推动装置130可以推动靶材进入与上料模组连接的容器，当二者的连接处处于封闭状态时，容器上与上料模组相连接的部位处于密封状态，且上料模组的结构简单，操作便捷，有助于提升效率，降低成本。
47.参照图3至图6，作为上述上料模组的改进，基座110包括第一连接件115与第二连接件116，第一连接件115用于与容器连接，具有上述的第一腔体111、第一开口113与第五开口1111。第二连接件116与第一连接件115连接，具有上述的第二腔体112、第二开口114 与第四开口1110。第一连接件115与第二连接件116均可以是图示的圆柱体，第一腔体111 与第二腔体112分别位于第一连接件115与第二连接件116的中心，当第一连接件115与第二连接件116连接时，第二腔体112的主体部分与第一腔体111保持同轴。
48.密封装置120位于第一连接件115与第二连接件116之间，具体的，是连接于第二连接件116的上端。第二连接件116能够相对第一连接件115移动，当第二连接件116与第一连接件115位于图3至图6所示的状态时，第二连接件116与第一连接件115之间间隔设定距离，使得密封装置120同样与第一连接件115分离，此时密封装置120可以自由地相对第二连接件116移动，此外，第二连接件116与第一连接件115之间的间隙可以供操作者的手指或者外部的驱动机构伸入，从而驱动密封装置120相对第二连接件116移动。需要说明的是，图示的密封装置120可以完全收纳在基座110中，从而避免在基座110的外部形成突出结构。能够理解的是，密封装置120也可以是部分位于基座110内，部分位于基座110之外以作为施力的把手。
49.当第二连接件116能够相对第一连接件115沿上述的靶材上料方向移动，使得第二连接件116与第一连接件115处于图1与图2所示的状态时，第二连接件116能够将密封装置120 压紧在第一连接件115的下端面上，保证密封装置120的密封效果。
50.基于上述，本实施例的上料模组能够通过第二连接件116相对第一连接件115的运动实现对密封装置120的压紧与释放，既能够实现良好密封，又能够便于密封装置120的移
130上。需要说明的是，推动装置130的上端面具有容纳槽132，容纳槽132的形状与靶材的形状相适应，从而能够对靶材进行定位。
58.本实用新型还公开了一种真空镀膜设备，包括上述的上料模组。
59.上面结合附图对本实用新型实施例作了详细说明，但是本实用新型不限于上述实施例，在所属技术领域普通技术人员所具备的知识范围内，还可以在不脱离本实用新型宗旨的前提下作出各种变化。此外，在不冲突的情况下，本实用新型的实施例及实施例中的特征可以相互组合。