一种旋转靶材的生产方法及装置与流程

技术特征：
1.一种旋转靶材的生产方法，其特征在于，包括以下步骤：将背管竖直安装在外模的腔体内；其中，所述背管的底端通过下延长件与所述腔体的底壁连接；所述背管的顶部连接有上延长件；所述背管、所述上延长件和所述下延长件均与所述腔体形成环形腔室；往所述环形腔室内浇注熔融的金属液体；转动所述外模、所述背管、所述上延长件和所述下延长件；往所述背管内注入冷却水，通过控制所述冷却水的流量及排水时间，调整所述金属液体的冷却速率；待所述金属液体冷却成固体金属后，脱去所述外模；切去所述固体金属的两端。2.如权利要求1所述的旋转靶材的生产方法，其特征在于，在往所述环形腔室内浇注熔融的金属液体的步骤中，具体为，从所述环形腔室的顶部从下至上浇注所述金属液体；在往所述背管内注入冷却水的步骤中，具体为：从下往上往所述背管内注入所述冷却水。3.如权利要求2所述的旋转靶材的生产方法，其特征在于，在通过控制所述冷却水的流量及排水时间，调整所述金属液体的冷却速率的步骤中，具体为：控制所述冷却水的流量为1000l/h～2000l/h，所述冷却水的排水时间为10s～60s。4.如权利要求1所述的旋转靶材的生产方法，其特征在于，在往所述背管内注入冷却水的步骤中，应始终保持所述金属液体的液面高度比所述冷却水的液面高度高出100mm。5.如权利要求1所述的旋转靶材的生产方法，其特征在于，在转动所述外模、所述背管、所述上延长件和所述下延长件的步骤中，具体为：以6rpm～15rpm的转速转动所述外模、所述背管、所述上延长件和所述下延长件。6.如权利要求1所述的旋转靶材的生产方法，其特征在于，在往所述环形腔室内浇注熔融的金属液体的步骤前还包括：往浇注装置装入所述金属液体，并将所述金属液体加热至180℃～300℃。7.如权利要求6所述的旋转靶材的生产方法，其特征在于，在往浇注装置装入所述金属液体，并将所述金属液体加热至180℃～300℃的步骤后，还包括：对所述金属液体进行捞渣，直至所述金属液体的液面呈镜面光亮。8.如权利要求1－7任一项所述的旋转靶材的生产方法，其特征在于，在往所述环形腔室内浇注熔融的金属液体的步骤前还包括：预热所述外模至200℃，并用惰性气体将所述环形腔室内的空气置换出来。9.一种旋转靶材的生产装置，其特征在于，包括：旋转装置；外模；所述外模竖直设置在所述旋转装置上；所述外模具有敞口朝上的腔体；背管；所述背管竖直设置在所述旋转装置上并位于所述腔体内；所述背管和所述腔体内壁之间形成环形腔室；上延长件；所述上延长件可拆卸地连接在所述背管的顶端；下延长件；所述下延长件可拆卸地连接在所述旋转装置的上表面和所述背管的底端之间；及浇注装置；所述浇注装置的浇注口位于所述环形腔室的上方。10.如权利要求9所述的旋转靶材的生产装置，其特征在于，所述背管的轴线分别与所
述下延长件的轴线、所述上延长件的轴线和所述外模的轴线重合；所述上延长件的外表面沿径向延伸有至少两个均匀设置在所述上延长件外表面的上对中杆；所述下延长件的外表面沿径向延伸有至少两个均匀设置在所述下延长件外表面的下对中杆；所述背管的外周面和所述腔体内壁之间的距离分别与所述上对中杆和所述下对中杆的长度相同。

技术总结
本发明涉及旋转靶材制备技术领域，公开了一种旋转靶材的生产方法及装置，其包括以下步骤：将背管竖直安装在外模的腔体内；其中，所述背管的底端通过下延长件与所述腔体底壁连接；所述背管的顶部连接有上延长件；所述背管、所述上延长件和所述下延长件均与所述腔体形成环形腔室；往所述环形腔室内浇注熔融的金属液体；转动所述外模、所述背管、所述上延长件和所述下延长件；往所述背管内注入冷却水，通过控制所述冷却水的流量及排水时间，调整金属液体的冷却速率；待金属液体冷却成固体金属后，脱去所述外模；切去所述固体金属的两端。本发明提供的旋转靶材的生产方法及装置能制造出长度较长、晶粒较小的旋转靶材。晶粒较小的旋转靶材。晶粒较小的旋转靶材。


技术研发人员：余飞 黄宇彬 文崇斌 阿南
受保护的技术使用者：先导薄膜材料有限公司
技术研发日：2021.06.24
技术公布日：2021/10/15