旋转装置的制作方法

1.本技术涉及真空镀膜技术领域，尤其是涉及一种旋转装置。


背景技术：

2.目前，真空镀膜工艺中，缺少一种实现对工件均匀镀膜的旋转装置。


技术实现要素：

3.本技术的目的在于提供一种旋转装置，以在一定程度上解决现有技术中存在的缺少一种实现对工件均匀镀膜的旋转装置的技术问题。
4.本技术提供了一种旋转装置，包括：驱动装置、传动机构、第一支撑构件、第二支撑构件、第三支撑构件以及驱动机构；其中，所述第二支撑构件设置于所述第一支撑构件，且所述驱动装置能够驱动所述第一支撑构件连同所述第二支撑构件同步旋转，所述驱动装置还能够通过所述传动机构驱动所述第二支撑构件相对所述第一支撑构件公转以及所述第二支撑构件自行旋转；
5.所述第三支撑构件设置于所述第二支撑构件，且在所述驱动装置通过所述传动机构驱动所述第二支撑构件相对所述第一支撑构件公转以及所述第二支撑构件自行旋转的同时，所述第三支撑构件在所述驱动机构的驱动下自行旋转。
6.在上述技术方案中，进一步地，所述传动机构包括第一传动齿轮以及第二传动齿轮；其中，所述第一传动齿轮与所述驱动装置的输出端相连接；所述第二传动齿轮与所述第一传动齿轮相啮合；所述第二支撑构件与所述第二传动齿轮的中心轴相连接。
7.在上述任一技术方案中，进一步地，所述驱动装置还包括第四支撑构件，所述第四支撑构件与所述第一支撑构件相连接；
8.所述驱动机构包括固定构件、锁紧构件以及弹性拨动构件；其中，所述固定构件形成具有开口的安装腔；所述第四支撑构件设置于所述固定构件的安装腔内；
9.所述锁紧构件可移动地穿设于所述固定构件，并且其端部能够伸入所述安装腔以将所述第四支撑构件压紧于所述安装腔内；
10.所述弹性拨动构件的一端与所述固定构件相连接，所述弹性拨动构件的相对的另一端能够延伸至搭设于所述第三支撑构件，用于在所述第三支撑构件跟随所述第二支撑构件旋转的同时拨动所述第三支撑构件自转。
11.在上述任一技术方案中，进一步地，所述锁紧构件包括相连接的限位部以及抵接部，所述抵接部可移动地穿设于所述固定构件，所述抵接部能够将所述第四支撑构件压紧于所述安装腔内，并且所述限位部抵靠于所述固定构件的外壁面以限位。
12.在上述任一技术方案中，进一步地，所述驱动机构包括第三传动齿轮、第四传动齿轮、拨动构件以及阻挡构件；其中，所述第三传动齿轮以及所述第四传动齿轮均与所述第二支撑构件相连接，且所述第四传动齿轮与所述第三传动齿轮相啮合；所述第三支撑构件与所述第四传动齿轮的中心轴相连接；
13.所述阻挡构件与所述第一支撑构件相连接；所述拨动构件的一端与所述第三传动齿轮相连接，所述拨动构件的相对的另一端延伸至所述阻挡构件处，并且能够与所述阻挡构件相干涉。
14.在上述任一技术方案中，进一步地，所述驱动机构还包括相组装在一起的安装槽体、安装环以及保护盖；其中，所述第四传动齿轮可转动地设置于所述安装环；所述第三传动齿轮可转动地设置于所述安装槽体的底壁；
15.所述安装槽体的底壁形成有位于所述第三传动齿轮的侧部的避让孔，所述第三传动齿轮穿过所述避让孔与所述第四传动齿轮相啮合；所述第二支撑构件穿设于所述安装槽体并且与所述安装槽体相连接；所述拨动构件也与所述安装槽体相连接；
16.所述保护盖扣设于所述安装槽体的开口端，所述保护盖形成有过孔，所述第四传动齿轮的中心轴穿过所述保护盖的过孔位于所述安装槽体的外部。
17.在上述任一技术方案中，进一步地，所述第一支撑构件包括防护壳部、屏蔽罩以及支撑部；其中，所述防护壳部罩设于所述传动机构的外部，且所述第二传动齿轮的中心轴的一端穿过所述防护壳部与所述支撑部转动连接；所述屏蔽罩罩设于所述传动机构的第二传动齿轮的外部。
18.在上述任一技术方案中，进一步地，所述第二支撑构件具有柱体的结构。
19.在上述任一技术方案中，进一步地，所述第三支撑构件具有用于安装工件的安装部。
20.在上述任一技术方案中，进一步地，沿着所述第一支撑构件的周向顺次设置有多个所述第二支撑构件，并且沿着所述第一支撑构件的高度方向顺次设置有多个所述第二支撑构件；和/或
21.沿着所述第二支撑构件的周向顺次设置有多个所述第三支撑构件；所述驱动机构与所述第三支撑构件的数量相同且相一一对应。
22.与现有技术相比，本技术的有益效果为：
23.本技术提供的旋转装置适用于大、小型工件的镀膜工艺中，对于大型工件：沿着第一支撑构件的周向在多个第二支撑构件4上顺次安装待镀膜的大型工件，多个第二支撑构件均能够相对第一支撑构件3的中心公转，使得安装于多个第二支撑构件上的待镀膜的大型工件逐个陆续地面向多弧离子源，并且每一待镀膜的大型工件均能够跟随着第二支撑构件自转，使每一待镀膜的大型工件的整个周面均可陆续地面向多弧离子源，从而实现了对大工件的均匀镀膜。
24.对于小型工件：沿着第一支撑构件的周向在多个第二支撑构件上顺次安装多组待镀膜的小型工件，多个第二支撑构件均能够相对第一支撑构件的中心公转，继而使得多组待镀膜的小型工件逐组陆续地面向多弧离子源，并且每一组中沿着第二支撑构件的周向设置的多个待镀膜的小型工件均能够跟随着第二支撑构件的自转，逐个陆续地面向多弧离子源，而且每个待镀膜的小型工件还能够跟随着第三支撑构件的自转，使每个待镀膜的小型工件的整个周面均可陆续地面向多弧离子源，从而实现了大批量、小工件的均匀镀膜。
25.基于以上描述可知，本旋转装置的用途广泛，适用于不同大小的工件的均匀镀膜。
附图说明
26.为了更清楚地说明本技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
27.图1为本技术实施例提供的旋转装置的结构示意图；
28.图2为图1提供的旋转装置在a处的放大结构示意图；
29.图3为本技术实施例提供的旋转装置的另一结构示意图；
30.图4为本技术实施例提供的旋转装置的又一结构示意图；
31.图5为图4提供的旋转装置在b处的放大结构示意图；
32.图6为本技术实施例提供的驱动机构的部分结构示意图；
33.图7为本技术实施例提供的驱动机构的又一部分结构示意图。
34.附图标记：
[0035]1‑
驱动装置，2
‑
传动机构，21
‑
第一传动齿轮，22
‑
第二传动齿轮，221
‑
第二传动齿轮的中心轴，3
‑
第一支撑构件，31
‑
屏蔽罩，32
‑
支撑部，4
‑
第二支撑构件，5
‑
第三支撑构件，6
‑
驱动机构，61
‑
固定构件，62
‑
锁紧构件，63
‑
弹性拨动构件，64
‑
第三传动齿轮，65
‑
第四传动齿轮，651
‑
第四传动齿轮的中心轴，66
‑
拨动构件，67
‑
阻挡构件，68
‑
安装槽体，681
‑
避让孔，69
‑
安装环，70
‑
保护盖，7
‑
第四支撑构件。
具体实施方式
[0036]
下面将结合附图对本技术的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0037]
通常在此处附图中描述和显示出的本技术实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本技术的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本技术的范围，而是仅仅表示本技术的选定实施例。
[0038]
基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0039]
在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0040]
在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0041]
下面参照图1至图7描述根据本技术一些实施例所述的旋转装置。
[0042]
参见图1、图2、图4和图5所示，本技术的实施例提供了一种旋转装置，包括：驱动装
置1、传动机构2、第一支撑构件3、第二支撑构件4、第三支撑构件5以及驱动机构6；
[0043]
其中，第二支撑构件4设置于第一支撑构件3，且驱动装置1能够驱动第一支撑构件3连同第二支撑构件4同步旋转，与此同时，驱动装置1还能够通过传动机构2驱动第二支撑构件4相对第一支撑构件3公转以及第二支撑构件4自行旋转；
[0044]
第三支撑构件5设置于第二支撑构件4，且在驱动装置1通过传动机构2驱动第二支撑构件4相对第一支撑构件3公转以及第二支撑构件4自行旋转的同时，第三支撑构件5在驱动机构6的驱动下自行旋转。
[0045]
本技术提供的旋转装置适用于对大型或者小型工件的镀膜工艺中，具体工作原理如下：
[0046]
对于大型工件：可将其放置在第二支撑构件4上，驱动装置1开始启动后，驱动装置1驱动第一支撑构件3连同第二支撑构件4同步旋转，也即实现第二支撑构件4相对第一支撑构件3的中心公转，并且与此同时，驱动装置1还能够通过传动机构2驱动第二支撑构件4自转，那么大型工件的所有表面均可陆续地面向多弧离子源，保证镀膜的均匀性。
[0047]
可见，沿着第一支撑构件3的周向在多个第二支撑构件4上顺次安装待镀膜的大型工件，多个第二支撑构件4均能够相对第一支撑构件3的中心公转，使得安装于多个第二支撑构件4上的待镀膜的大型工件逐个陆续地面向多弧离子源，并且每一待镀膜的大型工件均能够跟随着第二支撑构件4自转，使每一待镀膜的大型工件的整个周面均可陆续地面向多弧离子源，从而实现了对大工件的均匀镀膜。
[0048]
对于小型工件：可将其放置在第三支撑构件5上，驱动装置1开始启动后，驱动装置1驱动第一支撑构件3连同第二支撑构件4同步旋转，也即实现第一支撑构件3的自转的同时，实现第二支撑构件4相对第一支撑构件3的中心的公转。驱动装置1还能够通过传动机构2驱动第二支撑构件4自转。
[0049]
在上述运动的基础上，第二支撑构件4同时带动第三支撑构件5以及安装于第三支撑构件5上的小型工件旋转，也即实现第二支撑构件4的自转的同时，实现第三支撑构件5相对第二支撑构件4的中心的公转，且与此同时，第三支撑构件5在驱动机构6的驱动下相对第二支撑构件4旋转，也即实现第三支撑构件5的自转。
[0050]
可见，沿着第一支撑构件3的周向在多个第二支撑构件4上顺次安装多组待镀膜的小型工件，多个第二支撑构件4均能够相对第一支撑构件3的中心公转，继而使得多组待镀膜的小型工件逐组陆续地面向多弧离子源，并且每一组中沿着第二支撑构件4的周向设置的多个待镀膜的小型工件均能够跟随着第二支撑构件4的自转，逐个陆续地面向多弧离子源，而且每个待镀膜的小型工件还能够跟随着第三支撑构件5的自转，使每个待镀膜的小型工件的整个周面均可陆续地面向多弧离子源，从而实现了大批量、小工件的均匀镀膜。
[0051]
当然还可根据实际需要，同时对大工件和小工件进行镀膜，也即将大工件安装在第二支撑构件4上，同时将小工件安装在第三支撑构件5上。
[0052]
基于以上描述可知，本旋转装置的用途广泛，适用于不同大小的工件的均匀镀膜。
[0053]
在本技术的一个实施例中，优选地，如图1所示，沿着第一支撑构件3的周向顺次设置有多个第二支撑构件4，并且沿着第一支撑构件3的高度方向顺次设置有多个第二支撑构件4，能够实现大批量的大型工件或者结合下述的多个第三支撑构件5实现大批量的小型工件的镀膜。
[0054]
在本技术的一个实施例中，优选地，如图1所示，沿着第二支撑构件4的周向顺次设置有多个第三支撑构件5；驱动机构6与第三支撑构件5的数量相同且相一一对应，实现大批量的小型工件的同时镀膜。
[0055]
在本技术的一个实施例中，优选地，如图3所示，传动机构2包括第一传动齿轮21以及第二传动齿轮22；其中，第一传动齿轮21与驱动装置1的输出端相连接；第二传动齿轮22与第一传动齿轮21相啮合；第二支撑构件4与第二传动齿轮的中心轴221相连接。
[0056]
在该实施例中，驱动装置1驱动第一传动齿轮21旋转，第一传动齿轮21驱动第二传动齿轮22旋转，第二支撑构件4则跟随第二传动齿轮22的旋转，既能够实现相对第一支撑构件3的中心的公转，又能实现自转。
[0057]
在本技术的一个实施例中，优选地，如图1和图2所示，驱动装置1还包括第四支撑构件7，第四支撑构件7与第一支撑构件3相连接；
[0058]
驱动机构6包括固定构件61、锁紧构件62以及弹性拨动构件63；其中，固定构件61形成有开口的安装腔；第四支撑构件7设置于固定构件61的安装腔内；
[0059]
锁紧构件62可移动地穿设于固定构件61，并且其端部能够伸入安装腔以将第四支撑构件7压紧于安装腔内；
[0060]
弹性拨动构件63的一端与固定构件61相连接，弹性拨动构件63的相对的另一端能够延伸至搭设于第三支撑构件5，用于在第三支撑构件5跟随第二支撑构件4旋转的同时拨动第三支撑构件5自转。
[0061]
在该实施例中，第三支撑构件5跟随着第二支撑构件4同步旋转时，随着第三支撑构件5的快速旋转，弹性拨动构件63对第三支撑构件5的周向施加切向力，进而拨动第三支撑构件5自转，从而使得安装于第三支撑构件5上的待镀膜的工件二次自转，使得其整个周面陆续地正对多弧离子源，保证镀膜的均匀性。
[0062]
其中，优选地，弹性拨动构件63为弹片结构，且其包括一体式的平片部以及弧形片部，平片部将弧形片部输送至第三支撑构件5处。
[0063]
当然，驱动机构6的结构不仅限于上述，驱动机构6还可采用下述结构，具体地，如图4和图5所示，驱动机构6包括第三传动齿轮64、第四传动齿轮65、拨动构件66以及阻挡构件67；其中，第三传动齿轮64以及第四传动齿轮65均与第二支撑构件4相连接，且第四传动齿轮65与第三传动齿轮64相啮合；第三支撑构件5与第四传动齿轮的中心轴651相连接；
[0064]
阻挡构件67与第一支撑构件3相连接；拨动构件66的一端与第三传动齿轮64相连接，拨动构件66的相对的另一端延伸至阻挡构件67处，并且能够与阻挡构件67相干涉。
[0065]
基于上述结构可知，第三传动齿轮64和第四传动齿轮65均随着第二支撑构件4的自转而同步旋转，此时，两者之间没有相对运动，只有当与第三传动齿轮64相连接的拨动构件66与阻挡构件67碰触干涉，从而迫使第三传动齿轮64停止运动，第四齿轮则被迫发生自行旋转，进而带动与第四传动齿轮的中心轴651相连接的第三支撑构件5以及设置于第三支撑构件5上的待镀膜的工件进行自转，使得工件的整个周面都陆续地面向多弧离子源，保证均匀镀膜。
[0066]
进一步，优选地，利用下述结构实现第三传动齿轮64、第四传动齿轮65以及拨动构件66的组装，具体地，如图5、图6和图7所示，驱动机构6还包括相组装在一起的安装槽体68以及安装环69；其中，第四传动齿轮65可转动地设置于安装环69；第三传动齿轮64可转动地
设置于安装槽体68的底壁；
[0067]
安装槽体68的底壁形成有位于第三传动齿轮64的侧部的避让孔681，第三传动齿轮64穿过避让孔681与第四传动齿轮65相啮合；第二支撑构件4穿设于安装槽体68并且与安装槽体68相连接；拨动构件66也与安装槽体68相连接；
[0068]
保护盖70扣设于安装槽体68的开口端，保护盖70起到保护第三传动齿轮64和第四传动齿轮65的作用，以避免被镀膜。
[0069]
保护盖70形成有过孔，第四传动齿轮的中心轴651穿过保护盖70的过孔位于安装槽体68的外部。
[0070]
在本技术的一个实施例中，优选地，锁紧构件62包括相连接的限位部以及抵接部，抵接部可移动地穿设于固定构件61，抵接部能够将第四支撑构件7压紧于安装腔内，并且与此同时，限位部抵靠于固定构件61的外壁面以限位，起到将固定构件61锁紧于第四支撑构件7上的作用，而且锁紧的松紧程度可调节。
[0071]
在本技术的一个实施例中，优选地，如图3所示，第一支撑构件3包括防护壳部、屏蔽罩31以及支撑部32；
[0072]
其中，防护壳部罩设于传动机构2的外部，除了起到支撑作用外，还可起到保护传动机构2的作用，而且注意，防护壳部包括扣设在一起的两部分，并且可打开；
[0073]
第二传动齿轮的中心轴221的一端穿过防护壳部与支撑部32转动连接；
[0074]
屏蔽罩31罩设于传动机构2的第二传动齿轮22的外部，起到防止镀膜物质镀到齿轮上，从而保证齿轮正常工作。
[0075]
在本技术的一个实施例中，优选地，如图2所示，第三支撑构件5具有用于安装工件的安装部，例如安装部为凹槽结构，例如待镀膜的小型刀头，且其根部能够插设在凹槽的结构内，而且不会遮挡住待镀膜工件的周向的外表面。当然，安装部不仅限于本实施例所述的结构，安装部还可为夹爪等夹持结构，用以夹持住待镀膜的工件，而且也不会遮挡住待镀膜工件的周向的外表面，当然，也不仅限于上述两种结构，也可根据实际需要设置。
[0076]
最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本技术的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本技术进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本技术各实施例技术方案的范围。