一种便于拆卸的防止反溅液体污染晶圆的装置的制作方法

技术特征：

1.一种便于拆卸的防止反溅液体污染晶圆的装置，其特征在于，包括：

废液收集整流杯；

废液收集整流杯支撑件，所述废液收集整流杯支撑件用于支撑所述废液收集整流杯；

至少一个升降主动件，所述升降主动件设于所述废液收集整流杯的任意一侧，所述升降主动件用于控制所述废液收集整流杯升降运动；

至少一个平动主动件，所述平动主动件与所述升降主动件滑动连接，所述平动主动件用于控制所述废液收集整流杯水平运动；

其中，所述升降主动件连接所述废液收集整流杯支撑件，或所述平动主动件连接所述废液收集整流杯支撑件。

2.根据权利要求1所述的防止反溅液体污染晶圆的装置，其特征在于，所述升降主动件包括：第一升降主动件和第二升降主动件，所述第一升降主动件和所述第二升降主动件位于所述废液收集整流杯相对的两侧。

3.根据权利要求2所述的防止反溅液体污染晶圆的装置，其特征在于，所述平动主动件包括：第一平动主动件和第二平动主动件；

所述第一平动主动件与所述第一升降主动件滑动连接，所述第二平动主动件与所述第二升降主动件滑动连接；

所述第一平动主动件和所述第二平动主动件的运动方向相同。

4.根据权利要求2所述的防止反溅液体污染晶圆的装置，其特征在于，所述平动主动件包括：第一平动主动件；

所述防止反溅液体污染晶圆的装置还包括：平动从动件；

所述第一平动主动件与所述第一升降主动件滑动连接，所述平动从动件与所述第二升降主动件滑动连接。

5.根据权利要求3-4任一项所述的防止反溅液体污染晶圆的装置，其特征在于，所述第一平动主动件包括：

第一气缸，包括第一气缸本体和第一推杆，所述第一推杆向所述第一气缸本体的侧面伸出；

安装板，所述安装板与所述第一气缸本体滑动连接，所述安装板与所述第一推杆固定。

6.根据权利要求5所述的防止反溅液体污染晶圆的装置，其特征在于，所述第一升降主动件包括：

第二气缸，包括第二气缸本体和第二推杆，所述第二气缸本体垂直设于所述安装板上；

其中，所述第二推杆与所述安装板固定，或所述第二推杆与所述废液收集整流杯支撑件固定。

7.根据权利要求6所述的防止反溅液体污染晶圆的装置，其特征在于，所述防止反溅液体污染晶圆的装置还包括：

支撑件，所述支撑件与所述安装板固定；

其中，所述第二气缸本体与所述支撑件固定或滑动连接。

8.根据权利要求1所述的防止反溅液体污染晶圆的装置，其特征在于，所述废液收集整流杯支撑件环绕所述废液收集整流杯，设于所述废液收集整流杯底面。

9.根据权利要求1所述的防止反溅液体污染晶圆的装置，其特征在于，所述防止反溅液体污染晶圆的装置还包括：废液收集整流杯底座，所述废液收集整流杯底座位于所述废液收集整流杯支撑件下方，所述废液收集整流杯底座用于支撑所述废液收集整流杯和所述废液收集整流杯支撑件。

10.根据权利要求1所述的防止反溅液体污染晶圆的装置，其特征在于，所述防止反溅液体污染晶圆的装置还包括：位置传感器，所述位置传感器用于感应所述废液收集整流杯的位置。

技术总结
本发明公开了一种便于拆卸的防止反溅液体污染晶圆的装置，所述防止反溅液体污染晶圆的装置包括：废液收集整流杯；废液收集整流杯支撑件，所述废液收集整流杯支撑件用于支撑所述废液收集整流杯；至少一个升降主动件，所述升降主动件设于所述废液收集整流杯的任意一侧，所述升降主动件用于控制所述废液收集整流杯升降运动；至少一个平动主动件，所述平动主动件与所述升降主动件滑动连接，所述平动主动件用于控制所述废液收集整流杯水平运动；其中，所述升降主动件连接所述废液收集整流杯支撑件，或所述平动主动件连接所述废液收集整流杯支撑件。本发明有效解决更换废液收集整流杯时，更换空间较小，操作不方便的问题。

技术研发人员：刘长伟;耿克涛;袁创迪;刘金;
受保护的技术使用者：宁波润华全芯微电子设备有限公司;
技术研发日：2021.09.06
技术公布日：2021.10.01