实现片上波前整形的类金属线结构和非对称传输的应用的制作方法

技术特征：
1.实现片上波前整形的类金属线结构，其特征在于：由底层金属膜、中间层电介质和上层金属梯形纳米天线三层堆叠构成；所述金属梯形纳米天线周期性纵向一维排列于中间层电介质上。2.根据权利要求1所述的类金属线结构，其特征在于：通过纳米天线结构参数的优化，宽带可见光区域下spp经所述一维等离激元类金属线结构后发生面内偏折。3.根据权利要求2所述的类金属线结构，其特征在于：所述结构参数包括纳米天线的上底、下底、高、厚度和周期。4.根据权利要求3所述的类金属线结构，其特征在于：所述周期为纳米天线的纵向间距。5.根据权利要求1所述的类金属线结构，其特征在于：所述底层金属膜的材料包括金、银、铜和铝；所述金属梯形纳米天线的材料包括金、银、铜和铝。6.根据权利要求1所述的类金属线结构，其特征在于：所述中间层电介质的材料为二氧化硅。7.一维等离激元类金属线结构级联双层结构，其特征在于：通过在权利要求1
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6任一项所述的纳米天线一侧平行设置周期性光栅阵列构成。8.根据权利要求7所述的级联双层结构，其特征在于：通过双层结构参数优化，从垂直于阵列结构的相反方向传播的spp经过所述双层结构后，实现非对称偏折。9.根据权利要求8所述的级联双层结构，其特征在于：所述双层结构参数包括纳米天线的上底、下底、高、厚度和周期，所述光栅结构的参数包括光栅的长度、宽度、厚度和周期，以及纳米天线和光栅之间的距离。10.权利要求7所述的级联双层结构作为非对称传输器件在片上转换光学器件、信息处理、光谱仪和传感器中的应用。

技术总结
本发明提供实现片上波前整形的类金属线结构和非对称传输的应用。所述一维等离激元类金属线结构，由底层金属膜、中间层电介质和上层金属梯形纳米天线三层堆叠构成；所述金属梯形纳米天线周期性纵向一维排列于中间层电介质上。所述一维等离激元类金属线结构可以对宽带可见光区域的波长响应，实现宽带可见光中的平面内SPP波偏转。在该结构基础上，设置阵列光栅以构成级联双层结构，该结构可实现面内SPP的非对称偏折的传输功能，再通过进一步设计实现面内非对称透镜的功能。本发明所述的一维等离激元类金属线结构及级联结构具有结构简单、尺度小易于片上集成等优点，可广泛应用于片上转换光学器件、波导器件、信息处理、光谱仪和传感等重要领域。感等重要领域。感等重要领域。


技术研发人员：李仲阳 时阳阳 万成伟 杨睿 郑国兴 李子乐 代尘杰 万帅
受保护的技术使用者：武汉大学
技术研发日：2021.06.22
技术公布日：2021/9/24