一种石英抛光用加工辅助装置的制作方法

1.本实用新型涉及石英玻璃加工领域，尤其是涉及一种石英抛光用加工辅助装置。


背景技术：

2.石英玻璃产品属于半导体设备中的重要组成产品，作为观察视窗类的小饼状石英产品需求量越来越大，因其体积较小且对产品表面质量要求较高，过往加工中装夹较麻烦，耗时较长，且容易使产品表面划伤，影响产品的一次合格率。
3.例如，在中国专利文献上公开的“一种齿轮组调节式石英陶瓷辊装夹装置”，其公告号cn205420158u，包括底座，底座上设有装夹臂，装夹臂的端部对内朝向面设有咬齿，装夹臂的端部对内朝向面设有扣槽，装夹臂连接有限位杆，限位杆与底座连接，装夹臂的后端连接有调节杆，调节杆设有调节齿轮，调节齿轮安装在底座上。该实用新型通过扣槽可以牢固地扣住石英陶瓷辊，调节齿轮的相互之间进行旋转可以对装夹臂进行调节，从而方便对石英陶瓷辊的装夹更加牢固，使用该装置来装夹石英玻璃时，很容易使产品表面划伤，影响产品的合格率。


技术实现要素：

4.本实用新型是为了克服上述现有技术中装夹较麻烦、耗时较长、且容易使产品表面划伤的问题，提供一种石英抛光用加工辅助装置，实现快速装夹、且对产品表面不易产生划伤，有利于提高产品的合格率。
5.为了实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案：
6.一种石英抛光用加工辅助装置，包括负压吸盘和用于实现产品快速安装定位的定位环，所述负压吸盘与定位环固定连接，在所述负压吸盘内设置有用于与产品表面形成负压的抽气孔和用于辅助释放产品的导气孔。
7.在该技术方案中，负压吸盘用于固定产品，而定位环用于快速定位产品，同时将产品固定在定位环内防止产品大范围移动，在产品加工前，将产品放置在定位环中，这就使抽气孔形成一个封闭的空间，再通过抽气装置不断从抽气孔内抽气，在产品与负压吸盘接触的一侧形成负压，即产品两侧的压力差大于自身重力进而将产品固定，该过程操作方便快捷，实现了快速装夹，且产品与负压吸盘之间为面接触，不易对产品表面产生划伤，有利于提高产品的合格率；另外，在产品加工完成后，通过在导气孔内充气即可将产品和负压吸盘分开，便于产品取下，产品拆装方便快速，为加工人员加工节省了时间。
8.作为优选，在所述定位环上设置有定位缺口，所述定位缺口开口朝向定位环的内侧。定位缺口与产品配合，便于快速定位产品。
9.作为优选，在所述负压吸盘上设置有用于安装定位环的第二安装槽，所述定位环的厚度h大于第二安装槽的深度d。第二安装槽不仅用于安装定位环，还对定位环的安装起到定位作用，便于快速确定定位环的安装位置，提高安装效率，而定位环的厚度h大于第二安装槽的深度d有利于定位环与负压吸盘之间形成台阶面，便于定位产品。
10.作为优选，还包括固定件，在所述定位环上设置有第一固定孔，在所述第二安装槽上设置有第二固定孔，固定件依次穿设第一固定孔和第二固定孔将定位环固定在第二安装槽上。定位环通过固定件固定在负压吸盘上，操作方便快捷，这里定位件设置为螺钉，第一定位孔和第二定位孔均为螺纹孔，这样的设置在保证安装方便快捷的同时还保证了定位环与负压吸盘之间的连接牢固度。
11.作为优选，在第二安装槽上设置有与定位缺口配合的定位凸起，所述定位凸起的高度a小于第二安装槽的深度d。定位凸起的设置用于辅助定位环定位安装，便于使第一固定孔和第二固定孔快速定位，提高定位环安装效率，而定位凸起的高度a小于第二安装槽的深度d避免了定位凸起影响产品的定位。
12.作为优选，在负压吸盘的背面设置有用于与抽气装置固定的第一安装槽，所述抽气孔与第一安装槽底部连通。第一安装槽的设置便于负压吸盘与抽气装置快速定位安装，而抽气孔与第一安装槽底部连通便于抽气装置从抽气孔内抽气从而将产品固定。
13.作为优选，在负压吸盘上侧壁设置有导气通槽，所述导气通槽与导气孔连通设置。导气通槽设置在负压吸盘侧壁上，还便于设置通气装置，也避免底部的抽气装置影响导气。
14.因此，本实用新型具有如下有益效果：
15.（1）实现快速装夹、且对产品表面不易产生划伤，有利于提高产品的合格率；
16.（2）产品拆装方便快速，为加工人员加工节省了时间；
17.（3）第二安装槽不仅用于安装定位环，还对定位环的安装起到定位作用，便于快速确定定位环的安装位置；
18.（4）定位凸起的设置用于辅助定位环定位安装，便于使第一固定孔和第二固定孔快速定位，提高定位环安装效率。
附图说明
19.图1是本实用新型一种石英抛光用加工辅助装置的结构示意图；
20.图2是石英抛光用加工辅助装置的另一种结构示意图；
21.图3是负压吸盘的剖视图；
22.图4是石英抛光用加工辅助装置的剖视图；
23.图5是图4的第一种a部结构示意图；
24.图6是图4的第二种a部结构示意图；
25.图7是图4的第三种a部结构示意图；
26.图中：1、负压吸盘
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101、第一安装槽
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102、第二安装槽
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103、抽气孔
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104、导气孔
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105、第二固定孔
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106、导气通槽
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107、定位凸起
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2、定位环
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201、第一固定孔
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202、定位缺口。
具体实施方式
27.下面结合附图与具体实施方式对本实用新型做进一步的描述。
28.实施例1：
29.如图1、图2、图4、图5所示的实施例1中，一种石英抛光加工辅助装置，包括负压吸盘1和定位环2，负压吸盘1与定位环2固定连接，负压吸盘1用于固定产品，而定位换用于快
速定位产品，在负压吸盘1上设置有用于与产品形成负压的抽气孔103和用于释放产品的导气孔104，在负压吸盘1一侧设置有用于安装抽气装置的第一安装槽101，另一侧设置有用于安装定位槽的第二安装槽102，其中抽气孔103与第一安装槽101底部连通设置，定位环2的厚度h大于第二安装槽102的深度d；如图3所示，在负压吸盘1上侧壁设置有导气通槽106，导气通槽106与导气孔104连通设置，。此外，为便于定位缺口202与产品配合，实现产品快速定位，在定位环2上设置有定位缺口202，定位缺口202开口朝向定位环2的内侧。
30.在上述技术方案中，负压吸盘1用于将产品固定，而定位环2用于快速定位产品同时将产品固定在定位环2内防止产品大范围移动，而抽气孔103用于将产品与负压吸盘1之间形成一个封闭的空间，产生负压，便于将产品固定，而导气孔104用于向产品与负压吸盘1接触面充气，便于释放产品，其中导气通槽106设置在负压吸盘1侧壁上，还便于设置通气装置，也避免底部的抽气装置影响导气；定位环2用于对产品进行的定位，其中第二安装槽102的设置便于实现定位环2的快速定位安装，而定位环2的厚度h大于第二安装槽102的深度d便于在定位环2与负压吸盘1之间形成台阶面，便于对产品进行限位，避免产品大范围移动。在产品加工前，将产品放置在定位环2中，这就使抽气孔103形成一个封闭的空间，再通过抽气装置不断从抽气孔103内抽气，在产品与负压吸盘1接触的一侧形成负压，即产品两侧的压力差大于自身重力进而将产品固定，该过程操作方便快捷，实现了快速装夹，且产品与负压吸盘1之间为面接触，不易对产品表面产生划伤，有利于提高产品的合格率；另外，在产品加工完成后，可以用气枪通过导气通槽106向导气孔104加压有效将产品和吸盘间紧密贴合面分开，便于产品取下，产品拆装方便快速，为加工人员加工节省了时间。
31.另外，在定位环2上设置有第一固定孔201，在第二安装槽102上设置有第二固定孔105，在第一固定孔201和第二固定孔105之间设置有固定件，此处第一固定孔201、第二固定孔105和分别为螺纹孔，固定件为螺栓这样的设置在保证安装方便快捷的同时还保证了定位环2与负压吸盘1之间的连接牢固度。
32.进一步地，在第二安装槽102上设置有与定位缺口202配合的定位凸起107，定位凸起107的高度a小于第二安装槽102的深度d，定位凸起107的设置用于辅助定位环2定位安装，便于使第一固定孔201和第二固定孔105快速定位，提高定位环2安装效率，而定位凸起107的高度a小于第二安装槽102的深度d避免了定位凸起107影响产品的定位。
33.此外，吸盘的材料硬度比石英硬度低，有效减少了产品表面的划伤问题，提高了产品的一次合格率，吸盘的材料可以为铝合金等。
34.实施例2：
35.如图6所示，实施例2的技术方案与实施例1的技术方案基本相同，其不同之处在于：定位凸起107设置在第一安装槽101底部，定位凸起107与第一安装槽101的底面形成台阶面。定位缺口202的一侧与定位凸起107接触设置即可快速实现定位环2的定位。
36.或者如图7所示，定位凸起107还可以设置在第一安装槽101的侧壁上。
37.实施例3：
38.实施例3为一种石英抛光加工辅助装置的应用实施例：在加工准备阶段，通过螺栓将负压吸盘1和定位环2连接，再开启抛光机中的抽气装置，将产品放在定位环2中，在抽气到一定负压时，启动抛光机定盘转动，对产品进行机械抛光。产品加工完成后，用气枪通过向导气孔104加压将产品和吸盘间紧密贴合面分开，保证产品方便取下。
39.需要说明的是，上述描述中使用的词语“前”、“后”、“左”、“右”、“上”和“下”指的是附图中的方向，词语“内”和“外”分别指的是朝向或远离特定部件几何中心的方向。
40.以上实施例仅用于说明本实用新型而不用于限制本实用新型的范围。对本领域的技术人员来说，可根据以上描述的技术方案以及构思，做出其它各种相应的改变以及形变，而所有的这些改变以及形变都应该属于本实用新型权利要求的保护范围之内。