一种晶圆表面质量检测装置的制作方法

1.本实用新型属于一种晶圆表面质量检测装置技术领域，具体涉及一种晶圆表面质量检测装置。


背景技术：

2.晶圆表面质量检测装置检测晶圆上的物理缺陷和图案缺陷，并获取缺陷的位置坐标，缺陷可分为随机缺陷和设备缺陷，随机缺陷主要是由附着在晶圆表面的颗粒引起的，因此无法预测其位置，晶圆缺陷检测设备的主要作用是检测晶圆上的缺陷并找出其位置，另一方面，系统缺陷这是由掩模和曝光工艺的条件引起的，并且将在所有投射的管芯的电路图案上的相同位置发生，它们发生在曝光条件非常困难且需要微调的位置，晶圆缺陷检测设备通过比较相邻管芯的电路图案的图像来检测缺陷。
3.现有的一种晶圆表面质量检测装置存在以下问题：目前的晶圆表面质量检测装置在对晶圆进行检测之前，需要先把晶圆放置在真空吸附台上，使用上方光学检测设备来对晶圆表面的粗糙度进行检测，但将晶圆放置在真空吸附台上的同时，可能会由于光学检测设备存在，碰触刮花晶圆的表面，对晶圆造成破坏。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种晶圆表面质量检测装置，以解决上述背景技术中提出目前晶圆表面质量检测装置上由于光学检测设备存在，碰触刮花晶圆的表面，对晶圆造成破坏的问题。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种晶圆表面质量检测装置，包括检测设备主体，检测设备主体的最下侧位置处设置有底座，底座的上方内侧位置处设置有滑轨，滑轨的上侧位置处设置有平台主体，平台主体的左侧位置处设置有横向移动装置，横向移动装置的左侧位置处设置有移动装置把柄，平台主体的左侧位置处设置有平台把柄，平台主体的右侧位置处设置有旋钮，横向移动装置的上侧位置处设置有放置平台，放置平台的上侧位置处设置有真空吸附台，真空吸附台的上侧位置处设置有晶圆，晶圆的上侧位置处设置有光学检测镜头，底座的内侧位置处设置有锁紧装置，锁紧装置的左侧末端位置处设置有把柄，锁紧装置和底座的连接位置处设置有凹槽。
6.优选的，锁紧装置通过凹槽在底座上进行移动，且锁紧装置在移动到平台主体表面时，能将平台主体固定住。
7.优选的，平台主体通过嵌入连接方式和滑轨连接，且平台主体能通过滑轨在底座上进行移动。
8.优选的，放置平台能通过横向移动装置进行横向移动，横向移动装置通过螺栓连接方式和放置平台连接。
9.优选的，把柄通过螺栓连接方式和锁紧装置进行连接。
10.优选的，光学检测镜头共设置有两个，且两个光学检测镜头分别设置在晶圆的上
侧位置处，晶圆通过真空吸附方式和真空吸附台连接。
11.与现有技术相比，本实用新型提供了一种晶圆表面质量检测装置，具备以下有益效果：
12.本实用新型在一种晶圆表面质量检测装置上新增加了滑轨、锁紧装置、把柄、平台把柄以及凹槽，其中，在底座的内侧位置处设置有凹槽，在凹槽的内侧位置处设置有锁紧装置，在锁紧装置的左侧位置处设置有把柄，在底座的上侧表面内侧位置处设置有滑轨，在滑轨的上侧位置处设置有平台主体，在平台主体的左侧位置处设置有平台把柄，可以通过推动平台把柄将平台主体在滑轨的内侧进行移动，通过平台主体的移动带动晶圆在光学检测镜头下移动，可以检测圆晶表面的粗糙程度，锁紧装置可以在底座的凹槽内进行移动，当锁紧装置贴紧平台主体时，可以将平台主体固定住，便于检测，当需要将晶圆放置在真空吸附台上时，可以先将平台主体从滑轨内移出，将晶圆放置在真空吸附台上时再将其恢复原位，避免晶圆碰触到光学检测镜头受到损坏。
附图说明
13.附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制，在附图中：
14.图1为本实用新型提出的一种晶圆表面质量检测装置正面结构图示意图；
15.图2为本实用新型提出一种晶圆表面质量检测装置锁紧装置抽出后的正面结构示意图；
16.图3为本实用新型提出的一种晶圆表面质量检测装置锁紧装置的正面结构示意图；
17.图中：1、检测设备主体；2、光学检测装置；3、放置平台；4、晶圆；5、滑轨；6、锁紧装置；7、把柄；8、旋钮；9、平台主体；10、横向移动装置；11、移动装置把柄；12、真空吸附台；13、底座；14、平台把柄；15、凹槽。
具体实施方式
18.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
19.在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”“前端”、“后端”、“两端”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
20.在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体式连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况
理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
21.请参阅图1
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3，本实用新型提供一种技术方案：
22.一种晶圆表面质量检测装置，包括检测设备主体1，检测设备主体1的最下侧位置处设置有底座13，底座13的上方内侧位置处设置有滑轨5，滑轨5的上侧位置处设置有平台主体9，平台主体9的左侧位置处设置有横向移动装置10，横向移动装置10的左侧位置处设置有移动装置把柄11，平台主体9的左侧位置处设置有平台把柄14，平台主体9的右侧位置处设置有旋钮8，横向移动装置10的上侧位置处设置有放置平台3，放置平台3的上侧位置处设置有真空吸附台12，真空吸附台12的上侧位置处设置有晶圆4，晶圆4的上侧位置处设置有光学检测镜头2，底座13的内侧位置处设置有锁紧装置6，锁紧装置6的左侧末端位置处设置有把柄7，锁紧装置6和底座13的连接位置处设置有凹槽15，锁紧装置6通过凹槽15在底座13上进行移动，且锁紧装置6在移动到平台主体9表面时，能将平台主体9固定住，平台主体9通过嵌入连接方式和滑轨5连接，且平台主体9能通过滑轨5在底座13上进行移动，放置平台3能通过横向移动装置10进行横向移动，横向移动装置10通过螺栓连接方式和放置平台3连接，把柄7通过螺栓连接方式和锁紧装置6进行连接，光学检测镜头2共设置有两个，且两个光学检测镜头2分别设置在晶圆4的上侧位置处，晶圆4通过真空吸附方式和真空吸附台12连接。
23.本实用新型的工作原理及使用流程：本实用新型安装好首先将平台主体9通过平台把柄14从滑轨5中向后侧移出，再将晶圆4放置在真空吸附台12上，避免晶圆4因为碰触受到损坏，在将平台主体9恢复原位，利用锁紧装置6固定好，通过光学检测镜头2对晶圆4表面进行检测，检测好的画面传输到电脑屏幕上，使用横向移动检测装置10将放置平台3横向移动，使用平台把柄14将平台主体9竖向移动，完成检测晶圆4全部过程。
24.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。