一种扫描致动器及光纤扫描器的制作方法

技术特征：
1.一种扫描致动器，其特征在于，包括依次连接的第一致动部和第二致动部，所述的第一致动部包括压电陶瓷基板，以压电陶瓷基板的前后两端分别为固定端和自由端，以压电陶瓷基板的厚度方向为水平方向，所述的压电陶瓷基板的上侧和下侧中至少有一侧设置有驱动电极对，所述的驱动电极对包括设置于压电陶瓷基板左表面的左电极层和设置于压电陶瓷基板右表面的右电极层，压电陶瓷基板位于驱动电极对之间的部分沿水平方向极化，所述的第二致动部包括压电陶瓷基板，以压电陶瓷基板的前后两端分别为固定端和自由端，以压电陶瓷基板的厚度方向为垂直方向，所述的压电陶瓷基板的左侧和右侧中至少有一侧设置有驱动电极对，所述的驱动电极对包括设置于压电陶瓷基板上表面的上电极层和设置于压电陶瓷基板下表面的下电极层，压电陶瓷基板位于驱动电极对之间的部分沿垂直方向极化，所述的第二致动部的压电陶瓷基板的固定端与第一致动部的压电陶瓷基板的自由端固定连接。2.如权利要求1所述的一种扫描致动器，其特征在于，所述的第一致动部为慢轴致动器，第二致动部为快轴致动器，快轴致动器的振动频率远大于慢轴致动器的振动频率。3.如权利要求1所述的一种扫描致动器，其特征在于，所述的第一致动部的压电陶瓷基板的上侧设置有驱动电极对，所述的压电陶瓷基板的下侧未设置驱动电极对，所述的驱动电极对包括设置于压电陶瓷基板左表面上侧的左电极层和设置于压电陶瓷基板右表面上侧的右电极层，左电极层和右电极层相对设置，通过左电极层和右电极层施加驱动电压后，压电陶瓷基板的上侧在驱动电压的驱动下沿水平方向伸长或缩短。4.如权利要求1所述的一种扫描致动器，其特征在于，所述的第一致动部的压电陶瓷基板的下侧设置有驱动电极对，所述的压电陶瓷基板的上侧未设置驱动电极对，所述的驱动电极对包括设置于压电陶瓷基板左表面下侧的左电极层和设置于压电陶瓷基板左表面下侧的右电极层，左电极层和右电极层相对设置，通过左电极层和右电极层施加驱动电压后，压电陶瓷基板的下侧在驱动电压的驱动下沿水平方向伸长或缩短。5.如权利要求1所述的一种扫描致动器，其特征在于，所述的第一致动部的压电陶瓷基板的上侧和下侧均设置有驱动电极对，上侧的驱动电极对包括设置于压电陶瓷基板左表面上侧的第一左电极层和设置于压电陶瓷基板右表面上侧的第一右电极层，第一左电极层和第一右电极层相对设置，通过第一左电极层和第一右电极层施加驱动电压后，压电陶瓷基板的上侧在驱动电压的驱动下沿水平方向伸长或缩短；下侧的驱动电极对包括设置于压电陶瓷基板左表面下侧的第二左电极层和设置于压电陶瓷基板右表面下侧的第二右电极层，左电极层和右电极层相对设置，通过左电极层和右电极层施加驱动电压后，压电陶瓷基板的下侧在驱动电压的驱动下沿水平方向伸长或缩短；在同一时刻，压电陶瓷基板的下侧和上侧的伸缩方向相反。6.如权利要求1所述的一种扫描致动器，其特征在于，所述的第二致动部的压电陶瓷基板的左侧设置有驱动电极对，所述的压电陶瓷基板的右侧未设置驱动电极对，所述的驱动电极对包括设置于压电陶瓷基板上表面左侧的上电极层和设置于压电陶瓷基板下表面左侧的下电极层，上电极层和下电极层相对设置，通过上电极层和下电极层施加驱动电压后，压电陶瓷基板的左侧在驱动电压的驱动下沿水平方向伸长或缩短。
7.如权利要求1所述的一种扫描致动器，其特征在于，所述的第二致动部的压电陶瓷基板的右侧设置有驱动电极对，所述的压电陶瓷基板的左侧未设置驱动电极对，所述的驱动电极对包括设置于压电陶瓷基板上表面右侧的上电极层和设置于压电陶瓷基板上表面右侧的下电极层，上电极层和下电极层相对设置，通过上电极层和下电极层施加驱动电压后，压电陶瓷基板的右侧在驱动电压的驱动下沿水平方向伸长或缩短。8.如权利要求1所述的一种扫描致动器，其特征在于，所述的第二致动部的压电陶瓷基板的左侧和右侧均设置有驱动电极对，左侧的驱动电极对包括设置于压电陶瓷基板上表面左侧的第一上电极层和设置于压电陶瓷基板下表面左侧的第一下电极层，第一上电极层和第一下电极层相对设置，通过第一上电极层和第一下电极层施加驱动电压后，压电陶瓷基板的左侧在驱动电压的驱动下沿水平方向伸长或缩短；右侧的驱动电极对包括设置于压电陶瓷基板上表面右侧的第二上电极层和设置于压电陶瓷基板下表面右侧的第二下电极层，上电极层和下电极层相对设置，通过上电极层和下电极层施加驱动电压后，压电陶瓷基板的右侧在驱动电压的驱动下沿水平方向伸长或缩短；在同一时刻，压电陶瓷基板的右侧和左侧的伸缩方向相反。9.一种光纤扫描器，其特征在于，包括如权利要求1
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8中任意一项所述的一种扫描致动器和光纤，光纤以悬臂支撑的方式与第一致动部的自由端固定连接，以光纤的出光端为前端，光纤的前部超出第一致动部的自由端形成光纤悬臂，光纤位于光纤悬臂后侧的部分与第一致动部固定连接。10.如权利要求9所述的一种光纤扫描器，其特征在于，所述的扫描致动器和光纤固定封装于壳体内，第二致动部的固定端与壳体固定连接。

技术总结
本实用新型公开了一种扫描致动器，包括依次连接的第一致动部和第二致动部，第一致动部包括压电陶瓷基板，以压电陶瓷基板的厚度方向为水平方向，所述的压电陶瓷基板的上侧和下侧中至少有一侧设置有驱动电极对；第二致动部包括压电陶瓷基板，以压电陶瓷基板的厚度方向为垂直方向，所述的压电陶瓷基板的左侧和右侧中至少有一侧设置有驱动电极对，所述的第二致动部的压电陶瓷基板的固定端与第一致动部的压电陶瓷基板的自由端固定连接。第一致动部和第二致动部均采用板结构的宽度方向的横向振动模态进行驱动，使得扫描器制作时，光纤和致动器的频率匹配更容易，适配区间更广，有利于提升成品良品率以及制作效率，更容易提高成品的一致性。一致性。一致性。


技术研发人员：李小虎
受保护的技术使用者：成都理想境界科技有限公司
技术研发日：2020.12.31
技术公布日：2021/10/29