照明用有机发光元件制造方法及其制造装置与流程

技术特征：
1.一种制造装置，其特征在于：用于制造照明用有机发光元件（organic light emitted diode，oled）的制造装置中，具备：多个滚轧件，其横向移动沿着宽度方向的两端形成有隔着一定间距的孔（hole）的带状基材，并沿着所述基材的移动方向，隔着一定间距配置；以及蒸镀部，其随着所述基材的移动，从蒸镀源朝着所述基材的一面喷射出气化材料，依次实施蒸镀，各滚轧件的一面形成有多个突出件，其随着所述滚轧件的转动，插入形成于所述基材的两端的孔里并被解除插入，从而移动所述基材。2.根据权利要求1所述的制造装置，其特征在于：所述制造装置与多个滚轧件中之一滚轧件连接，旋转驱动所述一个滚轧件。3.根据权利要求2所述的制造装置，其特征在于，所述制造装置还包括：第一连接件，其用于连接沿着基材的长度方向配置的多个滚轧件；第二连接件，其用于连接沿着基材的宽度方向两端配置的至少两个滚轧件。4.根据权利要求1所述的制造装置，其特征在于：所述蒸镀部包括：在所述基材上蒸镀有机材料的第一蒸镀部、用于蒸镀阴极（cathode）材料的第二蒸镀部以及用于蒸镀封装材料的第三蒸镀部，还包括：阴罩回收部，其具备阴罩回收装置，其配置在所述第一至第三蒸镀部的各终端，回收与所述基材的最下部粘合的阴罩。5.根据权利要求1所述的制造装置，其特征在于：所述基材包括玻璃基板、为支持所述玻璃基板，与所述玻璃基板的上部粘合（laminated）的支撑膜（support film）、与玻璃基板及所述玻璃基板的下部粘合的多个阴罩（shadow mask），所述多个阴罩沿着所述基材的移动方向，从最终利用的阴罩起，依次与所述玻璃基板粘合。6.根据权利要求5所述的制造装置，其特征在于：所述玻璃基板的宽度小于形成于所述基材两端的孔的间距。7.根据权利要求1所述的制造装置，其特征在于，还包括：冲孔部，其具备所述基材被输送到蒸镀部之前，在所述基材上打出所述孔的冲孔装置。8.根据权利要求1所述的制造装置，其特征在于，所述蒸镀部还包括：防护（shield）件，其隔着一定空间配置在所述基材的上方。9.根据权利要求8所述的制造装置，其特征在于：所述防护件和所述基材分别包括磁性体物质。10.根据权利要求9所述的制造装置，其特征在于：所述基材的支撑膜上形成有所述磁性体物质。11.根据权利要求9所述的制造装置，其特征在于，所述制造装置还包括：控制部，其用于控制所述防护件和所述基材流动相反方向的电流，所述控制部调整所述电流的强度，以使所述防护件和所述基材具备预设其间空间。12.根据权利要求8所述的制造装置，其特征在于：所述防护件包括磁性物质，所述基材包括磁性体物质。13.一种制造方法，其特征在于：照明用有机发光元件（organic light emitted diode，oled）制造方法中，
包括：将沿着宽度方向的两端形成有给定孔的带状基材输送至蒸镀部的步骤；以及通过沿着所述基材的移动方向隔着一定间距配置的多个滚轧件，横向移动所述基材，随着所述基材的移动，从蒸镀源朝着所述基材的一面喷射出气化材料，依次实施蒸镀的步骤，所述依次实施蒸镀的步骤是随着所述滚轧件的转动，形成于所述滚轧件的一面的突出件插入形成于所述基材的两端的孔里并被解除插入，移动所述基材得以实施。14.根据权利要求13所述的制造方法，其特征在于：所述依次实施蒸镀的步骤沿着所述基材的移动方向依次实施蒸镀所述材料的第一蒸镀工艺、蒸镀阴极（cathode）材料的第二蒸镀工艺以及蒸镀封装材料的第三蒸镀工艺，第一至第三蒸镀工艺分别可以回收与所述基材的最下部粘合的阴罩。15.根据权利要求13所述的制造方法，其特征在于，所述制造方法在输送所述基材的步骤之前还包括：为支撑玻璃基板，在所述玻璃基板的上部粘合支撑膜（support film）的步骤；以及在所述玻璃基板的下部依次粘合多个阴罩（shadow mask）的步骤，所述多个阴罩沿着所述基材的移动方向，从最终利用的阴罩起，依次与所述玻璃基板粘合。16.根据权利要求15所述的制造方法，其特征在于：所述玻璃基板的宽度小于所述形成于所述基板的两端的孔的间距。17.根据权利要求15所述的制造方法，其特征在于：所述制造方法在输送所述基材的步骤之前，还包括：在所述基材上打出所述孔的步骤。18.根据权利要求15所述的制造方法，其特征在于，所述依次实施蒸镀的步骤还包括：进行控制，以使隔着一定空间配置在所述基材的上方的防护件以及分别包括于所述各基材的磁性体物质上流动相反方向电流的步骤。

技术总结
本发明公开一种照明用有机发光元件（organic light emitted diode，OLED）制造装置及制造方法。本制造装置具备：多个滚轧件，其横向移动沿着宽度方向的两端形成有隔着一定间距的孔（hole）的带状基材，并沿着所述基材的移动方向，隔着一定间距配置；以及蒸镀部，其随着所述基材的移动，从蒸镀源朝着所述基材的一面喷射出气化材料，依次实施蒸镀，此时，各滚轧件的一面形成有多个突出件，其随着滚轧件的转动，插入形成于基材两端的孔里并被解除插入，从而移动所述基材。从而移动所述基材。从而移动所述基材。


技术研发人员：任友彬
受保护的技术使用者：任友彬
技术研发日：2019.03.28
技术公布日：2021/10/29