导光装置的制作方法

1.本发明主要涉及一种导光装置。


背景技术：

2.过往，沿直线状的扫描线扫描来自光源的光的技术，已广泛地利用在图象形成装置和激光加工装置等中。专利文献1公开了一种搭载在此种装置上的光束扫描装置。
3.专利文献1的光束扫描装置，包括旋转多面镜、多个扫描单元、光束切换部件以及光束切换控制部。来自光源装置的光束入射在光束切换部件上。光束切换控制部是被构成为以按旋转多面镜的每个反射面反复进行由扫描单元的旋转多面镜产生的光束的偏转的方式控制光束切换部件，而使多个扫描单元分别依序进行点状光线(光束)的一维扫描。
4.[现有技术文献]
[0005]
[专利文献]
[0006]
专利文献1：日本特开2016
‑
206245号公报


技术实现要素：

[0007]
发明所要解决的技术问题
[0008]
在所述专利文献1的构成中，光束切换部件通过光束切换控制部电性控制，以供来自光源装置的光束入射在一个扫描单元的方式切换光束的光路。由此，用以切换光束的光路的结构变得複杂，在这方面仍存在改善的空间。
[0009]
有鉴在此，本发明的目的在于提供一种导光装置，其能以简单的结构切换扫描区域。
[0010]
解决问题所使用的技术方案
[0011]
本发明所欲解决的问题诚如以上说明，下面对用以解决该问题的手段及其功效进行说明。
[0012]
根据本发明的观点，提供以下结构的导光装置。也就是说，该导光装置，包括多个反射单元，这些反射单元反射入射光且以照射在被照射物的方式进行导引。所述多个反射单元，沿所述入射光的行进方向排列。所述多个反射单元，分别包括反射所述入射光的第一导光部件。所述多个反射单元，分别通过所述第一导光部件旋转而在反射状态与通过状态之间进行切换，其中，该反射状态是所述第一导光部件挡住所述入射光而使该入射光反射的状态，该通过状态是未挡住所述入射光而使该入射光通过的状态。在所述多个反射单元之间，形成所述反射状态的时刻不同。在所述反射状态下，伴随所述第一导光部件的旋转，所述入射光反射后的反射光产生偏转。所述反射光向包括在扫描区域内的被照射点导引，该扫描区域供该反射单元扫描所述被照射物。所述多个反射单元的所述扫描区域与所述入射光的行进方向平行地排列配置。
[0013]
由此，通过在所述多个反射单元中分别旋转第一导光部件，机械式地变更反射入射光的反射单元，能够切换朝向被照射物的扫描区域。因此，能够以简单的构成进行扫描区
域的切换。
[0014]
发明效果
[0015]
根据本发明，可提供一种导光装置，其能够以简单的结构切换扫描区域。
附图说明
[0016]
图1是具备本发明的一实施方式的导光装置的激光加工装置的立体图；
[0017]
图2是显示导光装置的构成的示意图；
[0018]
图3是显示一个反射单元反射光的状态的立体图；
[0019]
图4是显示反射单元使光通过的状态的立体图；
[0020]
图5是显示多个反射单元中的第一反射单元反射光的状态的图；
[0021]
图6是显示第二反射单元反射光的状态的图；
[0022]
图7是显示反射单元的变形例的图；和
[0023]
图8是显示导光装置的变形例的图。。
具体实施方式
[0024]
下面，参照附图说明本发明的实施方式。首先，参照图1，对具备本发明的一实施方式的导光装置13的激光加工装置(光扫描装置)1的构成进行说明。图1为激光加工装置1的立体图。
[0025]
图1所示的激光加工装置1，通过一边对工件(被照射物)100照射激光一边进行光扫描，能够对该工件100进行加工。
[0026]
在本实施方式中，激光加工装置1能够进行非热加工。非热加工例如可为烧蚀加工。烧蚀加工是通过将激光照射在工件100的一部分而使该工件100的一部分蒸发的加工。再者，激光加工装置1，也能够为进行热加工的构成，即、利用激光的热量使工件100熔化而进行加工。
[0027]
工件100是板状部件。工件100例如由cfrp(碳纤维增强塑料)构成。再者，工件100不限于板状部件，例如也能够为块状的部件。另外，工件100也能够由其他的材料构成。
[0028]
激光加工装置1中使用的激光，能够为可视光、或者也能够为除了可视光以外的频段的电磁波。在本实施方式中，不仅将可视光称为“光”，而且包括较其频段宽的各种电磁波在内也称作为“光”。
[0029]
如图1所示，激光加工装置1包括运送部11、激光产生器12以及导光装置13。
[0030]
运送部11能够沿与激光加工装置1的主扫描方向大致垂直的方向运送工件100。并且，通过运送部11一边运送工件100一边进行激光加工。
[0031]
在本实施方式中，运送部11是一带式输送机。再者，运送部11并无特别限制，也能够为辊式输送机、或把持工件100进行运送的构成。另外，也能够省略运送部11，而对固定不动的工件100照射激光以实施加工。
[0032]
激光产生器12是激光的光源，能够通过脉冲振荡产生短时宽的脉冲激光。脉冲激光器的时宽并无特别限制，例如为纳秒级、皮秒级或飞秒级等的短时间间隔。再者，激光产生器12，也能够为通过连续波振荡产生cw激光的构成。
[0033]
导光装置13以将激光产生器12产生的激光照射在工件100的方式进行导引。通过
导光装置13导引的激光，被照射在设定于工件100表面的扫描线101上的被照射点102。详细容待稍后说明，工件100上的通过激光照射的被照射点102，通过导光装置13的动作以大致恒定的速度沿直线状扫描线101移动。由此，能够实现光扫描。
[0034]
然后，参照图2详细说明导光装置13。图2是显示导光装置13的构成的示意图。
[0035]
如图2所示，导光装置13包括多个反射单元20。在本实施方式中，多个反射单元20配置在导光装置13具备的壳体17的内部。
[0036]
多个反射单元20，分别反射从激光产生器12入射的激光，且向工件100导引。下面的说明中，有时还将从激光产生器12入射在各反射单元20的激光称作为入射光。多个反射单元20沿入射光的行进方向排列配置成直线状。反射单元20的排列方向也与扫描线101的长边方向一致。多个反射单元20分别配置在与扫描线101间隔大致相等距离的位置。
[0037]
下面，关于多个反射单元20，也能够将位在入射光的行进方向最上游侧的反射单元20称为第一反射单元21。另外，也能够依从第一反射单元21起朝入射光的行进方向下游侧的顺序，依序将剩馀的各反射单元20称为第二反射单元22、第三反射单元23、第四反射单元24、第五反射单元25、第六反射单元26、第七反射单元27、第八反射单元28以及第九反射单元29。
[0038]
各反射单元20能够通过使激光偏转反射而进行光扫描。通过各反射单元20对工件100进行光扫描的区域(扫描区域)与其他反射单元20的扫描区域不同。图1和图2显示有第一扫描区域31、第二扫描区域32、第三扫描区域33、第四扫描区域34、第五扫描区域35、第六扫描区域36、第七扫描区域37、第八扫描区域38以及第九扫描区域39。9个扫描区域呈直线状排列配置。扫描线101是由这些扫描区域的集合构成。
[0039]
第一扫描区域31通过第一反射单元21进行扫描，然后，通过对应的反射单元20依序扫描每个扫描区域。第九扫描区域39由第九反射单元29扫描。
[0040]
各反射单元20，能够反复切换使入射光反射而进行扫描的反射状态、与使入射光朝下游侧通过而不被反射的通过状态。当反射单元20处在反射状态时，进行对应的扫描区域(例如，在第一反射单元21的情况下为第一扫描区域31)的光扫描。当反射单元20处在通过状态时，该反射单元20不进行光扫描。
[0041]
在多个反射单元20之间，各反射单元20的形成反射状态的时刻不同。由此，通过切换形成反射状态的反射单元20分别进行多个扫描区域的扫描。
[0042]
在本实施方式中，形成反射状态的反射单元20在入射光的行进方向上从上游侧朝下游侧依序被一个一个地切换。具体而言，反射单元20以第一反射单元21、第二反射单元22、第三反射单元23、
…
的顺序形成为反射状态。但是，反射单元20也能够从下游侧起依序切换为反射状态、或者也能够以与反射单元20的排列顺序不同的顺序进行切换。
[0043]
然后，参照图3至图6，详细说明各反射单元20。图3是显示一个反射单元20反射光的状态的立体图。图4是显示反射单元29使光通过的状态的立体图。图5是显示多个反射单元20中的第一反射单元21反射光的状态的图。图6是显示第二反射单元22反射光的状态的图。
[0044]
图3仅显示9个反射单元20中的第一反射单元21。9个反射单元20皆具有相同的构成，因此下面的说明中，以第一反射单元21为代表进行说明。
[0045]
如图3所示，第一反射单元21包括旋转台(旋转部件)41、电动机(驱动源)42、第一
导光部件51、第二导光部件52以及扫描用透镜53。
[0046]
在本实施方式中，旋转台41是中空圆盘状的部件，且能以旋转轴20c为中心而旋转。在旋转台41固定有形成为中空筒状的传动轴43的一端。传动轴43能够旋转地被支撑在反射单元20的未图示的壳体上。
[0047]
电动机42能够使旋转台41旋转。通过将电动机42的驱动力传递至传动轴43，旋转台41与传动轴43一起旋转。在本实施方式中，电动机42是一电动式电动机，但不限于此。
[0048]
第一导光部件51，以能绕旋转轴20c旋转的方式与旋转台41一体设置。该旋转轴20c以与入射在反射单元20的激光的光路正交的方式配置。下面，有时也能够将入射在反射单元20的激光的光路称为第一光路l1。通过第一导光部件51具备的后述的反射面挡住沿第一光路l1行进的入射光，能够反射入射光。第一导光部件51，使用螺丝等而被固定在旋转台41的外周部近旁。
[0049]
在一个旋转台41(一个反射单元20)设置有2个以上的偶数个第一导光部件51。多个第一导光部件51互为相同的形状。
[0050]
在本实施方式中，在一个旋转台41上设置有2个第一导光部件51。2个第一导光部件51分别以等分360
°
的方式配置在旋转台41上。具体而言，如图3所示，一个第一导光部件51配置在与另一个第一导光部件51相差180
°
的位置。
[0051]
第一导光部件51通过铝等的金属形成为块状。第一导光部件51包括第一反射面61以及第二反射面62。具体而言，在第一导光部件51上形成有v字形截面的凹槽，该凹槽是将离开旋转轴20c的一侧开放。在该凹槽的内壁形成有第一反射面61以及第二反射面62。
[0052]
第一反射面61以及第二反射面62皆形成为平面状。第一反射面61相对于与旋转轴20c垂直的虚拟平面而倾斜配置。第二反射面62相对于与旋转轴20c垂直的虚拟平面而倾斜配置。
[0053]
第一反射面61与第二反射面62，朝向相反的方向且以彼此相等的角度(具体为45
°
)，相对于与旋转轴20c垂直的虚拟平面倾斜。因此，第一反射面61与第二反射面62以形成v字形的方式配置。
[0054]
在本实施方式中，2个第一导光部件51配置在与正多边形(具体而言，正十八边形)的相互对向的边对应的位置。由此，对应于整个第一导光部件51的中心角是20
°
。在与所述对向的边以外的边对应的位置上不配置第一导光部件51。
[0055]
当2个第一导光部件51与旋转台41一起旋转时，交互地切换为第一导光部件51挡住入射在反射单元20而沿第一光路l1行进的激光的状态、与未挡住的状态。如图3所示，2个第一导光部件51中的任一个挡住入射光的状态，也就是所述的反射状态。如图4所示，2个第一导光部件51皆未挡住入射光的状态，也就是所述的通过状态。
[0056]
着眼于一个第一导光部件51的情况，该第一导光部件51每旋转360
°
则会将入射光的光路切断两次。如上所述，在第一导光部件51上，仅在远离旋转轴20c的侧形成有用以反射入射光的反射面(具体为第一反射面61以及第二反射面62)。在2次的中的一次切断中，由于第一导光部件51的反射面朝向入射光的行进方向的上游侧，因此能有效地反射光。另一方面，在剩馀的一次切断中，由于第一导光部件51的反射面朝向入射光的行进方向下游侧，因此即使光照射在该第一导光部件51上，该第一导光部件51也不能有效地发挥作用。
[0057]
然而，在本实施方式中，无论是哪一个第一导光部件51，皆以与相差180
°
相位的另
一个第一导光部件51形成一对的方式配置。因此，在第一导光部件51处于不能有效地反射入射光的方向上将光路切断的时刻，对面侧的第一导光部件51必定会处于有效地反射入射光的方向上将光路切断。由此，由于反射面不与入射光对向的第一导光部件51，实质上并不妨碍入射光的通过，因此整体上能够高效率地利用光。
[0058]
第一光路l1与旋转轴20c正交。2个第一导光部件51，以彼此相差180
°
相位的方式配置。因此，仅由隔着旋转轴20c而配置的2个第一导光部件51中的位于靠近第一光路l1上游侧的第一导光部件51，能挡住入射光。
[0059]
当第一导光部件51达到既定的旋转相位时，第一反射面61以与第一光路l1重叠的方式配置。由此，入射光通过第一反射面61反射，然后由第二反射面62反射。
[0060]
当沿旋转轴20c观察时，第一导光部件51的第一反射面61与第二反射面62，朝向与旋转轴20c正交的方向。如图3所示，当在第一导光部件51挡住入射光的状态下使第一导光部件51旋转时，第一反射面61以及第二反射面62的方向会连续地变动。由此，从第二反射面62出射的光的方向，朝图3中的黑色箭头所示的方向平滑地变化。如此，能够实现出射光的偏转。
[0061]
由于第一反射面61以及第二反射面62被呈v字形配置，因此，伴随第一导光部件51的旋转，出射光如图3中的黑色箭头所示沿与旋转轴20c垂直的平面进行偏转。该平面相对于第一光路l1而向旋转轴20c的方向偏移。由此，能够使来自第一导光部件51的出射光入射在第二导光部件52上。
[0062]
激光以与旋转轴20c正交的方式入射在反射单元20上。另外，当第一导光部件51的旋转相位与入射光的方向完全一致时，若沿旋转轴20c观察，则第一反射面61以及第二反射面62与入射光正交。由此，此时，激光通过第一导光部件51而被以折返的方式反射2次，且如图3中的第二光路l2所示，向与第一光路l1的方向平行且相反的方向出射。
[0063]
第二导光部件52反射从第一导光部件51出射的光，且导引至与第一反射单元21对应的扫描区域(第一扫描区域31)。
[0064]
第二导光部件52配置在相对于第1光路l1而朝所述旋转轴20c的方向偏移了适宜距离的位置。第二导光部件52使用螺丝等被固定在细长状的固定轴44的长边方向一侧的端部。在固定轴44形成有沿入射光的光路形成的细长凹部44a。由此，来自激光产生器12的激光，既不会被第二导光部件52遮挡也不会被固定轴44遮挡，而是穿过作为光通路的凹部44a向第一导光部件51侧导引。
[0065]
第二导光部件52通过铝等的金属形成为块状。第二导光部件52包括第一导光反射面66以及第二导光反射面67。具体而言，当沿旋转轴20c观察时，在第二导光部件52上形成有v字形截面的凹槽，该凹槽将相对于第一光路l1的方向倾斜45
°
的一侧开放。在凹槽的内壁形成有第一导光反射面66以及第二导光反射面67。
[0066]
第一导光反射面66以及第二导光反射面67皆形成为平面状。第一导光反射面66相对于与旋转轴20c垂直的虚拟平面而倾斜配置。第二导光反射面67相对于与旋转轴20c垂直的虚拟平面而倾斜配置。
[0067]
第一导光反射面66与第二导光反射面67，朝向相反的方向且以彼此相等的角度(具体为45
°
)，相对于与旋转轴20c垂直的虚拟平面倾斜。由此，第一导光反射面66与第二导光反射面67以形成v字的方式配置。
[0068]
第二导光部件52的第一导光反射面66以及第二导光反射面67，以复盖第一导光部件51产生的光的偏转范围的方式配置。第一导光反射面66与包括第一导光部件51的出射光的偏转范围的所述平面对应配置。由此，激光通过第一导光反射面67反射，然后由第二导光反射面67反射。
[0069]
扫描用透镜53是自由曲面透镜，例如能够使用公知的fθ透镜。扫描用透镜53配置在第二导光部件52与第一扫描区域31之间。通过该扫描用透镜53，能够在扫描范围的中央部和周边部保持焦距恒定。
[0070]
如上述构成的9个光反射单元20，通过沿来自激光产生器12的入射光的行进方向排列，以构成图2所示的导光装置13。在所有反射单元20中，第一导光部件51的旋转轴20c相互平行。在9个反射单元20中，第一导光部件51以相等的角速度和相同的方向旋转。在多个反射单元20之间，第一导光部件51的旋转相位不同。由此，能够在多个反射单元20之间使第一导光部件51挡住入射光的时刻不同。在本实施方式中，每当一个反射单元20离开，2个反射单元20之间的第一导光部件51的旋转相位差各增加一定的角度(在本实施方式中为20
°
)。由此，多个反射单元20能够实现依排列的顺序朝反射状态的切换。
[0071]
在多个反射单元20中连动的第一导光部件51的旋转，例如，能够通过以同步旋转的方式控制多个反射单元20具备的电动机42而实现。但是，例如，也能够通过齿轮或皮带等连结各传动轴43彼此且以共同的电动机驱动，以实现第一导光部件51的连动旋转。
[0072]
图5显示9个反射单元20中仅第一反射单元21处在反射状态的情况。图6显示各反射单元20的第一导光部件51从图5的状态旋转的结果，致使第一反射单元21变化为通过状态且第二反射单元22成为反射状态的情况。如此，通过依序切换进行光扫描的反射单元20，整体能够实现沿长扫描线101的光扫描。
[0073]
在相互邻接的反射单元20中，入射光的上游侧的反射单元20的传动轴43安装在下游侧的反射单元20的固定轴44上。由此，上游侧的反射单元20的第一导光部件51，围绕下游侧的反射单元20的第二导光部件52周围旋转。如上所述，由于光在第二导光部件52中一边偏移一边反射，因此从第二导光部件52出射的光不会被旋转的第一导光部件51遮挡。通过此种配置，能够将导光装置13小型化，并且能够容易使各个反射单元20的扫描区域彼此靠近。
[0074]
如以上说明，本实施方式的导光装置13包括多个反射单元20，这些反射单元20反射入射光且以照射在工件100的方式进行导引。多个反射单元20，沿入射光的行进方向排列。多个反射单元20分别包括反射入射光的第一导光部件51。多个反射单元20分别通过第一导光部件51旋转而在反射状态与通过状态之间进行切换，其中，该反射状态是第一导光部件51挡住入射光使入射光反射的状态，该通过状态是未挡住入射光而使该入射光通过的状态。在多个反射单元20之间，形成该反射状态的时刻不同。在反射状态下，伴随第一导光部件51的旋转，入射光反射后的反射光产生偏转。反射光向反射单元扫描工件100的扫描区域包括的被照射点102导引。第一反射单元21的第一扫描区域31、第二反射单元22的第二扫描区域32、
…
，与入射光的行进方向平行地排列配置。
[0075]
由此，通过在多个反射单元20中分别旋转第一导光部件51，能够机械式地变更反射入射光的反射单元20，能够切换朝工件100的扫描区域。因此，能够以简单的构成进行扫描区域的切换。
[0076]
另外，在本实施方式中，在多个反射单元20中，第一导光部件51以相等的角速度和相同的方向旋转。每当一个反射单元20离开，2个反射单元20之间的第一导光部件51的旋转相位差各增加一定的角度。
[0077]
由此，能够实现反射入射光的反射单元20的规则性的切换与用以扫描的光的偏转的同步。另外，能够依排列的顺序扫描多个扫描区域。
[0078]
另外，在本实施方式中，在多个反射单元20中，第一导光部件51的旋转轴20c相互平行。在多个反射单元20的各个中，第一导光部件51的旋转轴20c与入射光正交。
[0079]
由此，入射光能够通过处于通过状态的反射单元20，到达处于反射状态的反射单元20。
[0080]
另外，在本实施方式中，在反射单元20的反射状态下，第一导光部件51以沿与第一导光部件51的旋转轴20c垂直的平面偏转的方式反射。该平面相对于入射在反射单元20的入射光而朝旋转轴20c的方向偏移。多个反射单元20分别包括第二导光部件52。第二导光部件52通过反射被第一导光部件51反射的反射光而向扫描区域导引。
[0081]
由此，通过以第二导光部件52反射光，能够提高扫描区域的位置的自由度。另外，通过利用第一导光部件51一边使光偏移一边反射，能够实现入射在反射单元20的入射光不会被第二导光部件52遮挡的布局。
[0082]
另外，在本实施方式中，第一导光部件51包括第一反射面61以及第二反射面62。第一反射面61形成为相对于与第一导光部件51的旋转轴20c垂直的平面倾斜的平面状。第二反射面62形成为相对于与第一导光部件51的旋转轴20c垂直的平面倾斜的平面状。并且，第一反射面61相对于与旋转轴20c垂直的平面倾斜的方向、与第二反射面62相对于与旋转轴20c垂直的平面倾斜的方向相反。入射光通过第一反射面61反射，然后由第二反射面62反射。
[0083]
由此，能够实现以第一导光部件51一边使光偏移一边反射的简单结构。
[0084]
另外，在本实施方式中，在多个反射单元20中的除了第一反射单元21以外的全部反射单元20中，其他反射单元20的第一导光部件51围绕第二导光部件52的周围旋转。
[0085]
由此，能够缩短反射单元20之间的距离，能够实现导光装置13的小型化。
[0086]
另外，在本实施方式中，第二导光部件52，使从第一导光部件51反射的光向第一导光部件51的旋转轴20c的方向偏移且反射。
[0087]
由此，能够防止由第二导光部件52反射的光，被围绕第二导光部件52的周围旋转的第一导光部件51遮挡。
[0088]
另外，在本实施方式中，第二导光部件52包括第一导光反射面66以及第二导光反射面67。第一导光反射面66形成为相对于与第一导光部件51的旋转轴20c垂直的平面倾斜的平面状。第二导光反射面67形成为相对于与第一导光部件51的旋转轴20c垂直的平面倾斜的平面状。第一导光反射面66相对于与旋转轴20c垂直的平面倾斜的方向、与第二导光反射面67相对于与旋转轴20c垂直的平面倾斜的方向相反。以第一导光部件51反射的光，通过第一导光反射面66反射，然后由第二导光反射面67反射。
[0089]
由此，能够实现以第二导光部件52一边使光偏移一边反射的简单的结构。
[0090]
另外，在本实施方式中，在多个反射单元20的各个中，以由相同角度间隔等分360
°
的方式配置2个以上的偶数个第一导光部件51。
[0091]
由此，通过多个第一导光部件51旋转，反射单元20每旋转一次能够切换多次反射状态。由于多个第一导光部件51皆以隔着旋转轴20c而成对的方式配置，因此入射光不会被为了扫描入射光而反射的旋转相位以外的第一导光部件51遮挡。
[0092]
另外，在本实施方式中，多个反射单元20分别包括扫描用透镜53。扫描用透镜53配置在从第一导光部件51至扫描区域的光路上。
[0093]
由此，在各扫描区域中能容易对准焦距。
[0094]
另外，本实施方式的激光加工装置1包括导光装置13。从多个反射单元20的各个中旋转的第一导光部件51放射的光，被向包括在直线状的扫描线101内的任意的被照射点102导引。从光入射在第一导光部件51的入射位置至被照射点102的光路长度，在扫描线101上的全部被照射点上大致恒定。从多个反射单元20的各个导引的光，在扫描线101上的的扫描速度大致恒定。
[0095]
由此，能够实现沿长扫描线101的良好的光扫描。
[0096]
然后，参照图7说明导光装置13的变形例。在本变形例的说明中，对与所述实施方式相同或类似的部件，在附图中赋以相同的元件编号并省略其说明。
[0097]
在图7所示的变形例中，当第一导光部件51的旋转相位与入射光的方向完全一致时，若沿旋转轴20c观察，第一导光部件51的反射面以45度的角度相对于入射光倾斜配置。因此，在变型例的反射单元20中，当沿旋转轴20c观察时，第一导光部件51在以使入射光的方向变化90
°
的方向为中心的角度范围内使反射光偏转。
[0098]
在图7的变形例中，由于第一导光部件51的反射面倾斜，因此虽然会在光扫描中产生轻微的变形，但能够省略第二导光部件52。因此，不需要在第一导光部件51形成如所述实施方式那样的v字形的凹槽。换言之，第一导光部件51上使入射光反射的反射面能够形成为与旋转轴20c平行的平面状。
[0099]
上面虽然对本发明的优选实施方式和变形例进行了说明，但所述构成例如能够变更如下。
[0100]
反射单元20的数量，能够根据被照射物的长度等的形状而设定，例如能够设为3个、4个或5个。
[0101]
多个反射单元20之间也能够些微分离。另外，也能够在多个反射单元20之间配置使入射光的方向弯曲的反射镜等。
[0102]
也能够设为在整个导光装置13上沿多条未连接的扫描线101进行扫描的构成，以取代沿一条长直线状的扫描线101进行扫描。多条扫描线101能够在扫描线101的长边方向分离配置，也能够在垂直于长边方向的方向分离配置。另外，多条扫描线101的方向也能够互不相同。
[0103]
在图8所示的导光装置13x中，2个反射单元20沿以适宜之间隔平行配置的2条扫描线101进行扫描。再者，图8为从垂直于工件100的加工面的方向观察的图。扫描线101的数量，也能够为3条以上。
[0104]
在所述实施方式中，虽然将各反射单元20中的第一导光部件51的数量设为2个，但不限于此，例如也能够设为4个、6个或8个。
[0105]
对应于第一导光部件51的中心角也能够适宜变更。例如，能够不是以20
°
的中心角，而是以具有对应在正十二边形的一边的中心角(30
°
)的方式变更。
[0106]
在所述实施方式中，靠近入射光的行进方向的上游侧与该反射单元20邻接的反射单元20的第一导光部件51，成为围绕该反射单元20的第二导光部件52周围旋转的配置。然而，也能够将第二导光部件52配置在该反射单元20、与在入射光的行进方向下游侧的位置与该反射单元20邻接的反射单元20之间。
[0107]
第一导光部件51的第一反射面61以及第二反射面62，也能够通过稜镜实现。
[0108]
第二导光部件52的第一导光反射面66以及第二导光反射面67，也能够通过稜镜实现。
[0109]
第一导光部件51，例如能够固定在臂状的旋转部件上以取代旋转台41。
[0110]
也能够使用例如门型的框架等以悬挂的方式固定第二导光部件52，以取代将第二导光部件52固定在相邻的反射单元20的旋转台41以及插入传动轴43内部的固定轴44。在此种情况下，不需要将旋转台41以及传动轴43构成为中空状。
[0111]
应用导光装置13的光扫描装置，不限于激光加工装置1，例如也能够为图象形成装置。
[0112]
鉴于所述教示，显然本发明能够采用大量的变更形态和变形形态。因此，应当理解，本发明能够在所附的权利要求的范围内以与本说明书不同的记载方法实施。
[0113]
附图标记说明
[0114]
1激光加工装置(光扫描装置)
[0115]
13导光装置
[0116]
20反射单元20c旋转轴51第一导光部件52第二导光部件53扫描用透镜61第一反射面62第二反射面66第一导光反射面67第二导光反射面100工件(被照射物)101扫描线102被照射点。