含酯二胺的聚苯并噁唑前体、感光性树脂组合物、干膜、固化物和电子部件的制作方法

技术特征：
1.一种含酯二胺的聚苯并噁唑前体，其特征在于，具有：下述通式(1)和(2)所示的结构中的至少一者、和下述通式(3)所示的结构，通式(1)和(2)中，x为2价的有机基团，r1～r4中任一者选自碳数1～12的烷基、碳数1～12的烷氧基、碳数6～10的芳香族基团、碳数6～10的苯氧基、碳数6～10的苄基和碳数6～10的苄氧基，除此之外的r3～r6为氢原子，n表示1以上的整数，通式(3)中，x为2价的有机基团，y为至少具有2个以上羟基的4价的有机基团，o表示1以上的整数。2.根据权利要求1所述的含酯二胺的聚苯并噁唑前体，其中，r1或r3中任一者选自碳数6～10的芳香族基团、碳数6～10的苯氧基、碳数6～10的苄基和碳数6～10的苄氧基、另一者为氢原子，r2和r4为氢原子。3.根据权利要求1或2所述的含酯二胺的聚苯并噁唑前体，其中，通式(3)中，y为芳香族基团。4.根据权利要求1～3中任一项所述的含酯二胺的聚苯并噁唑前体，其中，通式(3)中，y
为选自下述结构中的1种以上的基团，所述结构式中，*1和*2中任一者表示与氨基的连接部、另一者表示羟基。5.根据权利要求1～4中任一项所述的含酯二胺的聚苯并噁唑前体，其中，所述通式(1)和(2)所示的结构的含量(酯二胺含量)为0.1摩尔％以上且10摩尔％以下。6.一种感光性树脂组合物，其包含：权利要求1～5中任一项所述的含酯二胺的聚苯并噁唑前体、和感光剂。7.根据权利要求6所述的感光性树脂组合物，其中，所述感光剂为萘醌二叠氮化合物。8.一种干膜，其特征在于，在薄膜上具备树脂层，所述树脂层是由权利要求6或7所述的感光性树脂组合物形成的。9.一种固化物，其特征在于，其是由权利要求6或7所述的感光性树脂组合物或权利要求8所述的干膜的树脂层而形成的。10.一种电子部件，其特征在于，具有权利要求9所述的固化物作为形成材料。

技术总结
[课题]提供：实现高的溶解对比度、进而不易产生裂纹、翘曲的包含含酯二胺的聚苯并噁唑前体的感光性树脂组合物。[解决方案]本发明的含酯二胺的聚苯并噁唑前体的特征在于，具有：通式(1)和(2)所示的结构中的至少一者、和下述通式(3)所示的结构。通式(3)所示的结构。通式(3)所示的结构。


技术研发人员：秋元真步
受保护的技术使用者：太阳控股株式会社
技术研发日：2019.12.17
技术公布日：2021/10/19