一种三电极双源激励等离子体发生装置的制作方法

技术特征：
1.一种三电极双源激励等离子体发生装置，其特征在于，包括：内管固定卡套(1)、外管固定卡套(2)、外石英管(3)和内石英管(4)，所述内管固定卡套(1)的顶端开设有柱形通孔(101)，所述外管固定卡套(2)和内管固定卡套(1)螺纹穿插连接，所述外石英管(3)的顶部套接在外管固定卡套(2)的底部，所述内石英管(4)的顶部套设在内管固定卡套(1)的底部；高压极pcb板(5)，所述高压极pcb板(5)设置在内石英管(4)的底端，所述高压极pcb板(5)的顶端开设有第一焊盘(506)；地极pcb板(6)，所述地极pcb板(6)设置在外石英管(3)的底端，所述地极pcb板(6)的顶端开设有第二焊盘(601)；连接头，两个所述连接头分别设置在第一焊盘(506)和第二焊盘(601)内，所述高压极pcb板(5)通过连接头并利用导线和第一激励源(9)电性连接，所述地极pcb板(6)通过连接头并利用导线和地级电性连接，所述连接头包括固定帽(11)、连接块(12)和卡定块(13)，所述固定帽(11)设置在连接块(12)的顶端，所述卡定块(13)设置在连接块(12)的底部；实心电极(8)，所述实心电极(8)，所述实心电极(8)的顶端设置有介质板(7)。2.根据权利要求1所述的一种三电极双源激励等离子体发生装置，其特征在于：所述内管固定卡套(1)的底端开设有内连接槽(103)，所述外管固定卡套(2)为中空结构，所述内管固定卡套(1)底部的外壁开设有外螺纹，所述外管固定卡套(2)的内管壁开设有内螺纹，所述外螺纹和内螺纹相匹配。3.根据权利要求2所述的一种三电极双源激励等离子体发生装置，其特征在于：所述内连接槽(103)和内石英管(4)的外壁形状相同，均为方形结构，所述内管固定卡套(1)顶端的边侧，且贯穿侧壁开设有气体接入口(102)。4.根据权利要求2所述的一种三电极双源激励等离子体发生装置，其特征在于：所述外管固定卡套(2)侧壁的底端开设有环状卡槽(201)，所述环状卡槽(201)的开设形状和尺寸与外石英管(3)的形状和尺寸相同。5.根据权利要求1所述的一种三电极双源激励等离子体发生装置，其特征在于：所述高压极pcb板(5)的顶端开设有多个第一通气孔(507)，所述地极pcb板(6)的顶端开设有多个第二通气孔(602)。6.根据权利要求1所述的一种三电极双源激励等离子体发生装置，其特征在于：所述高压极pcb板(5)包括第一隔绝层(501)、第二隔绝层(502)、第三隔绝层(503)和第四隔绝层(504)，所述第一隔绝层(501)、第二隔绝层(502)、第三隔绝层(503)和第四隔绝层(504)相邻之间均设置有介质层(505)。7.根据权利要求1所述的一种三电极双源激励等离子体发生装置，其特征在于：所述实心电极(8)通过导线和第二激励源(10)电性连接，所述第二激励源(10)和第一激励源(9)均通过导线和地级电性连接。8.根据权利要求1所述的一种三电极双源激励等离子体发生装置，其特征在于：所述固定帽(11)底端的中部开设有放置槽，所述固定帽(11)底部的两侧开设有两个接线口(1101)，两个所述接线口(1101)均和放置槽相互贯通，所述固定帽(11)的底端，且位于放置槽的边侧固定连接有四个连接柱(1107)。9.根据权利要求8所述的一种三电极双源激励等离子体发生装置，其特征在于：所述接
线口(1101)正面和背面的内壁均开设有移动滑槽(1102)，两个所述移动滑槽(1102)之间滑动穿插连接有夹板(1105)，两个所述移动滑槽(1102)两侧的内壁均开设有导向滑槽(1103)，所述夹板(1105)靠近正面和背面的两侧均固定连接有导向滑块(1106)，四个所述导向滑块(1106)分别和四个导向滑槽(1103)滑动穿插连接，四个所述导向滑槽(1103)内均设置有挤压弹簧(1104)，四个所述挤压弹簧(1104)的顶端分别和四个导向滑槽(1103)顶端的内壁固定连接，四个所述挤压弹簧(1104)的底端分别和四个导向滑块(1106)的顶端固定连接。10.根据权利要求1所述的一种三电极双源激励等离子体发生装置，其特征在于：所述连接块(12)顶端的中部穿插连接有接线柱(1202)，所述接线柱(1202)的顶部开设有接线孔(1203)，所述连接块(12)顶端的边侧开设有四个连接孔(1201)，四个所述连接孔(1201)分别和四个连接柱(1107)卡接，所述卡定块(13)顶端的中部开设有卡接孔(1301)，所述卡接孔(1301)和接线柱(1202)的底部穿插连接。

技术总结
本发明公开了一种三电极双源激励等离子体发生装置，包括内管固定卡套、外管固定卡套、外石英管和内石英管，外管固定卡套和内管固定卡套螺纹穿插连接，外石英管的顶部套接在外管固定卡套的底部，内石英管的顶部套设在内管固定卡套的底部；高压极PCB板设置在内石英管的底端；地极PCB板设置在外石英管的底端；高压极PCB板通过连接头并利用导线和第一激励源电性连接，地极PCB板通过连接头并利用导线和地级电性连接；实心电极的顶端设置有介质板。本发明的有益效果是：本发明使用三个电极形成两级放电的结构，利于放电产生的同时，两级放电减小了由于气体流速过大导致的原料气的流失，使原料气体的利用更加充分，且使其裂解更加充分。分。分。


技术研发人员：熊青 黄清华 宋一嘉 乔俊杰 汪传奇 杨琦 卫丽娟 袁博文 卢琪
受保护的技术使用者：重庆大学
技术研发日：2021.07.22
技术公布日：2021/10/26