立式真空热处理炉的制作方法

1.本技术涉及真空设备技术领域，尤其是涉及一种立式真空热处理炉。


背景技术：

2.目前，真空加热炉在行业内应用十分广泛，尤其是燃气轮机的生产、维修工作中，如燃气轮机叶片、喷嘴等工件的钎焊修复，燃气轮的部件批量热处理，燃气轮机火焰筒过渡段等大工件的热处理，但现有的真空加热炉多采用旁侧开门喂料的方式，对于小工件尚且实用，但对于大体积、异性的大工件而言进料十分不便，不仅操作难度大，且需要多人合作，还容易发生大工件与加热炉发生碰撞。


技术实现要素：

3.本技术的目的在于提供一种立式真空热处理炉，以在一定程度上解决现有技术中存在的真空加热炉喂料不便，大工件进料困难的技术问题。
4.本技术提供了一种立式真空热处理炉，包括：
5.炉体，设置有加热室，所述加热室能够形成真空环境；所述炉体设置有第一开口，所述第一开口设置于所述炉体的底部；
6.第一炉门，设置于所述第一开口，并且所述第一炉门能够相对所述第一开口开启或关闭；所述第一炉门的面对所述加热室的一侧表面设置有料台；
7.炉床，所述炉体设置于所述炉床，所述炉床用于承载所述炉体；
8.升降机构，包括运动部件，所述第一炉门与所述运动部件连接，所述升降机构用于驱动所述第一炉门靠近或远离所述第一开口。
9.在上述技术方案中，进一步地，所述炉床包括多个支腿，所述支腿的上端连接有支撑架，所述支撑架形成有镂空部；
10.所述镂空部的直径大于所述第一炉门的直径，所述第一炉门随所述升降机构运动时能够穿过所述镂空部。
11.在上述任一技术方案中，进一步地，所述升降机构包括：
12.滑轨，设置于所述支腿；
13.所述运动部件，包括与所述滑轨滑动连接的滑块；
14.传动丝杠，与所述滑轨平行设置，所述传动丝杠穿设于所述滑块，且所述滑块与所述传动丝杠螺纹连接；
15.驱动装置，连接有传动机构；所述传动机构与所述传动丝杠连接，所述驱动装置驱动所述传动机构带动所述传动丝杠传动，以使所述滑块相对所述传动丝杠运动；
16.所述第一炉门与所述滑块通过连接件连接。
17.在上述任一技术方案中，进一步地，所述支腿的数量为四个，分别为第一支腿、第二支腿、第三支腿和第四支腿；所述第一支腿设置有第一传动丝杠，所述第二支腿设置有第二传动丝杠，所述第三支腿设置有第三传动丝杠，所述第四支腿设置有第四传动丝杠。
18.在上述任一技术方案中，进一步地，所述传动机构包括：
19.第一传动杆和第二传动杆，所述驱动装置设置有驱动部，所述第一传动杆和所述第二传动杆位于所述驱动部的两侧并沿同一直线朝向相反的方向延伸；
20.所述第一传动杆的远离所述驱动部的一端设置有第一转向构件，所述第一转向构件连接有第三传动杆；所述第三传动杆沿所述支撑架的第一侧边设置，所述第一传动丝杠与所述第一转向构件设置；
21.所述第二传动杆的远离所述驱动部的一端设置有第二转向构件，所述第二转向构件连接有第四传动杆，所述第四传动杆沿所述支撑架的与所述第一侧边平行设置的第二侧边设置，所述第二传动丝杠与所述第二转向构件连接；
22.所述第三传动杆的远离所述第一转向构件的一端连接有第三转向构件，所述第三传动丝杠与所述第三转向构件连接；
23.所述第四传动杆的远离所述第二转向构件的一端连接有第四转向构件，所述第四传动丝杠与所述第四转向构件连接；
24.所述驱动装置启动后，所述第一传动丝杠、所述第二传动丝杠、所述第三传动丝杠以及所述第四传动丝杠同步转动。
25.在上述任一技术方案中，进一步地，所述炉体具有两端开口的筒结构，所述炉体的与所述第一开口相对的一端形成第二开口，所述第二开口位于所述第一开口的上方，且所述第二开口设置有第二炉门。
26.在上述任一技术方案中，进一步地，所述立式真空热处理炉还包括冷却系统，所述冷却系统包括：
27.风冷装置，包括高压风机和换热装置，所述高压风机设置于所述第二炉门的外壁面，并且第二炉门设置有通风口，所述高压风机的出风口与所述通风口连通，所述换热装置设置于所述第二炉门的内部，用于与吹入所述加热室内的空气换热，以降低所述加热室内的温度；
28.水冷装置，与所述换热装置连接，用于向所述换热装置供给循环冷却液。
29.在上述任一技术方案中，进一步地，所述立式真空热处理炉还包括抽真空系统；所述抽真空系统包括真空泵组、真空计、真空阀组；
30.所述真空泵组包括抽气口和排气口，所述炉体设置有与所述加热室连通的第一接口，所述抽气口与所述第一接口连接；所述排气口设置有过滤装置；
31.所述真空计设置于用于连接所述真空泵组的管路或者设置于所述炉体，所述真空计用于检测所述管路或所述加热室的真空度；
32.所述真空阀组设置于所述真空泵组的连接节点处。
33.在上述任一技术方案中，进一步地，所述立式真空热处理炉还包括充气系统，所述炉体设置有与所述加热室连通的第二接口，所述充气系统与所述第二接口连接，用于向所述加热室内注入保护气体。
34.在上述任一技术方案中，进一步地，所述立式真空热处理炉还包括电控系统，所述升降机构、所述冷却系统、所述抽真空系统以及所述充气系统分别与所述电控系统连接。
35.与现有技术相比，本技术的有益效果为：
36.本技术提供的立式真空热处理炉包括：炉体，设置有加热室，加热室能够形成真空
环境；炉体设置有第一开口，第一开口设置于炉体的底部；第一炉门，设置于第一开口，并且第一炉门能够相对第一开口开启或关闭；第一炉门的面对加热室的一侧表面设置有料台；炉床，炉体设置于炉床，炉床用于支撑并承载炉体；升降机构，包括运动部件，第一炉门与运动部件连接，升降机构用于驱动第一炉门靠近或远离第一开口。
37.本技术提供的立式真空热处理炉，第一开口的口径由炉体的直径而定，能够根据炉体的直径最大程度上扩大第一开口、第一炉门的尺寸，从而确保料台的面积，使得本技术提供的立式真空热处理炉尤其适用于对大工件进行加热；喂料、推料过程不需要人工将待加工工件送入加热室内或从加热室内取出，降低大工件进料、取料的难度，也极大程度上降低了工件与炉体发生碰撞的风险。
附图说明
38.为了更清楚地说明本技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
39.图1为本技术实施例提供的立式真空热处理炉的结构示意图；
40.图2为本技术实施例提供的立式真空热处理炉的第一炉门的结构示意图；
41.图3为本技术实施例提供的立式真空热处理炉的第一炉门的另一视角图；
42.图4为本技术实施例提供的立式真空热处理炉的部分结构示意图；
43.图5本技术实施例提供的立式真空热处理炉的升降机构的部分结构示意图；
44.图6为申请实施例提供的立式真空热处理炉的抽真空系统的结构示意图。
45.附图标记：
[0046]1‑
炉体，2
‑
第一炉门，201
‑
第一臂板，202
‑
第二臂板，203
‑
第三臂板，204
‑
第四臂板，205
‑
车轮，3
‑
炉床，301
‑
第一支腿，302
‑
第二支腿，303
‑
滑轨，304
‑
支撑架，305
‑
镂空部，401
‑
滑块，402
‑
第一传动丝杠，403
‑
驱动装置，404
‑
第一传动杆，405
‑
第二传动杆，406
‑
第三传动杆，407
‑
第四传动杆，408
‑
第一转向构件，409
‑
第二转向构件，410
‑
第三转向构件，411
‑
第四转向构件，412
‑
第五转向构件，413
‑
联轴器，5
‑
第二炉门，6
‑
风冷装置，7
‑
抽真空系统，701
‑
滑阀泵，702
‑
罗茨泵，703
‑
直联泵，704
‑
扩散泵，705
‑
第一真空挡板阀，706
‑
第一立管，707
‑
第二真空挡板阀，708
‑
第一主接管，709
‑
第二主接管，710
‑
第三真空挡板阀，711
‑
第二立管，8
‑
轨道，9
‑
待加工工件。
具体实施方式
[0047]
下面将结合附图对本技术的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0048]
通常在此处附图中描述和显示出的本技术实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本技术的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本技术的范围，而是仅仅表示本技术的选定实施例。
[0049]
基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0050]
在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0051]
在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0052]
下面参照图1至图6描述根据本技术一些实施例所述的立式真空热处理炉。
[0053]
参见图1至图6所示，本技术的实施例提供了一种立式真空热处理炉，包括：炉体1、炉床3、升降机构，其中，炉体1设置于炉床3，炉床3用于承托炉体1，炉体1的内部为加热室，在使用时，将待加工工件9置于加热室内，通过加热室整体升温达到对置于加热室内的待加工工件9加热升温的目的。
[0054]
具体地，炉体1固定在炉床3的状态下，炉体1的底部形成第一开口，第一开口设置有第一炉门2，第一炉门2能够与第一开口适配扣合，以使加热室形成密闭空间，以便加热室内形成真空环境，第一炉门2的上表面设置有料台，料台随第一炉门2同步运动；所述升降机构包括固定部分和运动部分，运动部分即运动部件，能够相对所述固定部分运动，第一炉门2与运动部件连接，在升降机构的驱动作用下，第一炉门2能够向下运动脱离第一开口，以暴露加热室，此时将待加工工件9放至第一炉门2的料台上，然后启动升降机构驱动第一炉门2靠近第一开口直至第一炉门2完全封堵住第一开口，此时料台以及置于料台上的待加工工件9位于加热室内，完成一次喂料；对待加工工件9升温操作结束后，由升降机构驱动第一炉门2以及位于第一炉门2上方的料台上的待加工工件9再次下降即可，至此完成一次退料。
[0055]
可见，本技术提供的立式真空热处理炉，第一开口的口径由炉体1的直径而定，能够根据炉体1的直径最大程度上扩大第一开口、第一炉门2的尺寸，从而确保料台的面积，使得本技术提供的立式真空热处理炉尤其适用于对大工件进行加热；喂料、推料过程不需要人工将待加工工件9送入加热室内或从加热室内取出，降低大工件进料、取料的难度，也极大程度上降低了工件与炉体1发生碰撞的风险。
[0056]
在本技术的一个实施例中，优选地，炉床3包括多个支腿，支腿的上端连接有支撑架304，支撑架304形成有镂空部305；
[0057]
镂空部305的直径大于第一炉门2的直径，第一炉门2随升降机构运动时能够穿过镂空部305。
[0058]
在本技术的一个实施例中，优选地，升降机构包括：
[0059]
滑轨303，设置于支腿；
[0060]
运动部件，包括与滑轨303滑动连接的滑块401；
[0061]
传动丝杠，与滑轨303平行设置，传动丝杠穿设于滑块401，且滑块401与传动丝杠螺纹连接；
[0062]
驱动装置403，连接有传动机构；传动机构与传动丝杠连接，驱动装置403驱动传动
机构带动传动丝杠传动，以使滑块401相对传动丝杠运动；
[0063]
第一炉门2与滑块401通过连接件连接。
[0064]
优选地，支腿的数量为四个，分别为第一支腿301、第二支腿302、第三支腿和第四支腿；第一支腿301设置有第一传动丝杠402，第二支腿302设置有第二传动丝杠，第三支腿设置有第三传动丝杠，第四支腿设置有第四传动丝杠。
[0065]
在该实施例中，炉床3具有框架结构，炉床3将炉体1架起，使得炉体1的下方具有足够高度的空间以供第一炉门2升降，炉床3的用于承载炉床3的位置为支撑架304，支撑架304的中间位置形成有镂空部305，第一炉门2在升降机构的作用下上下运动时穿过镂空部305，以确保上料、退料过程顺利进行；
[0066]
优选地，支撑架304呈矩形，支腿的数量为四个，四个支腿分别设置于支撑架304的四个顶角处，并且每一个支腿均对应平行设置有一个传动丝杠。
[0067]
进一步地，第一支腿301和第二支腿302相互面对的一侧壁分别设置第一滑轨303和第二滑轨303，第三支腿和第四支腿相互面对的一侧壁分别设置有第三滑轨303和第四滑轨303(由于视角遮挡问题，第三支腿、第四支腿图中未示出)；
[0068]
对应地，升降机构的滑块401数量、传动丝杠的数量同样为四个，每一个滑轨303均适配连接有对应的滑块401，以第一支腿301、第一滑轨303、第一传动丝杠402为例，第一传动丝杠402穿设于与第一滑轨303滑动连接的滑块401，并且第一传动丝杠402与该滑块401螺纹连接，驱动装置403设置有输出轴，输出轴与传动机构连接，并且传动机构与四个传动丝杠连接，当驱动装置403启动后，输出轴驱动传动机构发生转动，并且传动机构发生的运动能够传递至四个传动丝杠，四个传动丝杠同步转动，此时，与第一传动丝杠402将自身的旋转运动转化为与之连接的滑块401的直线运动，使得滑块401相对第一传动丝杠402上升或下降，其他传动丝杠以及对应的滑块401的运动情况与上述相同且同步；
[0069]
更进一步地，连接件具有杆结构或板结构，连接件的一端与第一盖体的连接，连接件的另一端与滑块401连接，使得第一盖体能够随四个滑块401同步升降。
[0070]
更优选地，第一炉门2的底部设置有车轮205以及用于驱动车轮205的电机，如图2、图3所示状态下，第一炉门2的左侧一前一后设置有第一臂板201和第二臂板202，第一臂板201和第二臂板202分别与第一传动丝杠402和第三传动丝杠上的滑块401可拆卸连接，同理，第一炉门2的右侧一前一后设置有第三臂板203和第四臂板204，用于连接第二传动丝杠和第四传动丝杠的滑块401，当第一炉门2随升降机构下降至炉床3下方的地面后将四个臂板与四个滑块401拆解，第一炉门2可作为转运小车转运第一炉门2上方的料台上的待加工工件9(大工件)，也可通过第一炉门2将大工件转运至炉床3的下方后将四个臂板与四个滑块401对应连接，以使第一炉门2能够随升降机构上升，进一步简化进料、卸料工作，不需要人工搬移，也不需要引入叉车等设备转运大工件，显著提高进料、卸料的工作效率。
[0071]
更优选地，炉床3的下方设置有用于供第一炉盖行走的轨道8，车轮205与轨道8相互适配。
[0072]
在本技术的一个实施例中，优选地，传动机构包括：
[0073]
第一传动杆404和第二传动杆405，驱动装置403设置有驱动部，第一传动杆404和第二传动杆405位于驱动部的两侧并沿同一直线朝向相反的方向延伸；
[0074]
第一传动杆404的远离驱动部的一端设置有第一转向构件408，第一转向构件408
连接有第三传动杆406；第三传动杆406沿支撑架304的第一侧边设置，第一传动丝杠402与第一转向构件408设置；
[0075]
第二传动杆405的远离驱动部的一端设置有第二转向构件409，第二转向构件409连接有第四传动杆407，第四传动杆407沿支撑架304的与第一侧边平行设置的第二侧边设置，第二传动丝杠与第二转向构件409连接；
[0076]
第三传动杆406的远离第一转向构件408的一端连接有第三转向构件410，第三传动丝杠与第三转向构件410连接；
[0077]
第四传动杆407的远离第二转向构件409的一端连接有第四转向构件411，第四传动丝杠与第四转向构件411连接；
[0078]
驱动装置403启动后，第一传动丝杠402、第二传动丝杠、第三传动丝杠以及第四传动丝杠同步转动。其中转向构件可以为转向器。
[0079]
在该实施例中，驱动装置403可以为电机，驱动部为设置于电机的输出轴的减速器，优选地，驱动装置403具体为斜齿轮蜗杆减速电机，驱动部设置有两个联轴器413，两个联轴器413分别用于连接第一传动杆404和第二传动杆405，如图4和图5所示，第一传动杆404和第二传动杆405沿同一直线分布，具体地，第一传动杆404沿第一方向延伸，第二传动杆405沿第二方向延伸，第三传动杆406沿第三方向延伸，第四传动杆407沿第四方向延伸，第一传动杆404与第三传动杆406通过第一转向构件408连接，使得第三传动杆406在于第一传动杆404的延伸方向不同的情况下两者能够同步运动；
[0080]
优选地，第一转向构件408通过联轴器413与第一传动杆404连接；第一转向构件408与第三传动杆406通过另一联轴器413连接，第三传动杆406的远离第一转向构件408的一端通过另一联轴器413与第三转向构件410连接，更优选地，该联轴器413与第三传动杆406之间设置有第五转向构件412，这样的设置方式不仅能够保证第三传动杆406与第一传动杆404同步转动，并且能够保障转动过程的顺畅性；
[0081]
第一传动丝杠402与第一转向构件408连接，第四传动丝杠与第三转向构件410连接，第一传动丝杠402和第四传动丝杠的延伸方向为竖直向下的，通过这样的连接方式，在第一传动丝杠402(和第四传送丝杠)与第一传动杆404(和第三传动杆406)的延伸方向不同的情况下，四者仍能够同步运动，从而使得第一传动丝杠402上的滑块401和第四传动丝杠上的滑块401能够同步运动；
[0082]
以上为图5中的左半部分的传动连接过程，图5中的右半部分即对应第二传动杆405、第四传动杆407、第二传动丝杠、第四传动丝杠的连接方式可参照上述内容，本领域技术人员完全能够理解，不再赘述。
[0083]
通过上述的连接方式，使得传动机构的各传动杆、四个传动丝杆对应四个传动丝杠上的四个滑块401均能够同步上升或下降，从而使得第一炉门2的升降过程即进料、退料过程平稳，无抖动、倾斜的情况。
[0084]
在本技术的一个实施例中，优选地，炉体1具有两端开口的筒结构，炉体1的与第一开口相对的一端形成第二开口，第二开口位于第一开口的上方，且第二开口设置有第二炉门5。
[0085]
在本技术的一个实施例中，优选地，立式真空热处理炉还包括冷却系统，冷却系统包括：
[0086]
风冷装置6，包括高压风机和换热装置(图中未示出)，高压风机设置于第二炉门5的外壁面，并且第二炉门5设置有通风口，高压风机的出风口与通风口连通，换热装置设置于第二炉门5的内部，用于与吹入加热室内的空气换热，以降低加热室内的温度；
[0087]
水冷装置，与换热装置连接，用于向换热装置供给循环冷却液。
[0088]
在本技术的一个实施例中，优选地，立式真空热处理炉还包括充气系统(图中未示出)，炉体1设置有与加热室连通的第二接口，充气系统与第二接口连接，用于向加热室内注入保护气体。
[0089]
在该实施例中，第一开口竖直朝向下，第二开口竖直朝向上，第二开口设置有第二炉门5，第二炉门5相对第二开口向上鼓起，第二炉门5与第二开口之间限定出夹层空间，换热装置设置于夹层空间内，高压风机设置于第二炉门5的外表面，夹层空间与加热室通过通风口连通，炉体1设置有第二接口，第二接口连接充气系统，用于向加热室内通入氦气或氖气等保护气体，加热室内通入气体后在高压风机的作用下，保护气体在加热室内循环流动，持续地与换热装置换热后吹向加热室内以使加热室降温，并且水冷装置持续地向换热装置提供冷媒，使得保护气体不断地吸收加热室内的热量后与换热装置进行换热降温，以此循环，使得加热室以及置于加热室内的待加工工件9快速降温。
[0090]
需要说明的是，在本技术中，水冷系统为换热装置提供冷媒仅为水冷系统的功能之一，水冷系统还起到为第一炉门2、第二炉门5、炉体1、真空系统等进行冷作。
[0091]
在本技术的一个实施例中，优选地，如图6所示，立式真空热处理炉还包括抽真空系统7；抽真空系统包7括真空泵组、真空计、真空阀组；
[0092]
真空泵组包括抽气口和排气口，炉体1设置有与加热室连通的第一接口，抽气口与第一接口连接；排气口设置有过滤装置；
[0093]
真空计设置于用于连接真空泵组的管路或者设置于炉体1，真空计用于检测管路或加热室的真空度；
[0094]
真空阀组设置于真空泵组的连接节点处。
[0095]
在该实施例中，真空泵组包括滑阀泵701、罗茨泵702、直联泵703和扩散泵704，具体地，滑阀泵701通过第一连接组件与罗茨泵702相连接，其中第一连接组件包括弯管，一端与滑阀泵701连接，弯管的另一端连接有波纹管，波纹管管理滑阀泵701的一端用于连接罗茨泵702，并且波纹管与罗茨泵702之间设置有第一真空挡板阀705；
[0096]
罗茨泵702的用于进行抽气的接口连接有第一立管706，第一立管706的远离罗茨泵702一端设置有第二真空挡板阀707，第二真空挡板阀707连接有第二连接组件，第二连接组件用于连接至炉体1的第一接口，其中第二连接组件包括：第一主接管708和第二主接管709，第一主接管708形成有接口一、接口二和接口三，接口一与第二真空挡板阀707，接口二与第二主接管709的一端连接，第二主接管709的另一端与炉体1的第一接口连接；第一主接管708和第二主接管709均具有较大的直径，确保抽真空效率；第一主接管708的管壁上设置有真空计，优选地，真空计具体为磁助式真空压力表；
[0097]
第一立管706的中间部分的管壁还设置有第一分接口，第一分接口连接有波纹管，波纹管的远离第一分接口的一端设置有第三真空挡板阀710，并且第三真空挡板阀710通过第二立管711与扩散泵704连接；第二立管711还设置有第二分接口，第二分接管通过另一管路与直联泵703连接，并且用于连接直联泵703的管路与直联泵703的接口之间设置有电磁
高真空带充气阀；
[0098]
进一步地，扩散泵704的用于对加热室抽气的接口与第一主接管708的接口三连接。
[0099]
优选地，真空系统的排气口具体为滑阀泵701和直联泵703的排气口，两泵体的排气口均设置有过滤装置，过滤装置具体为油雾过滤器，具有节约真空泵油以及环保的作用。
[0100]
在本技术的一个实施例中，优选地，立式真空热处理炉还包括电控系统(图中未示出)，升降机构、冷却系统、抽真空系统以及充气系统分别与电控系统连接。
[0101]
在该实施例中，电控系统包括plc控制系统以及与plc控制系统电连接的动作控制系统、温控系统，并且上述的升降机构、冷却系统、抽真空系统以及充气系统也分别与电控系统电连接；
[0102]
具体地，升降机构与动作控制系统的电连接，动作控制系统采用欧姆龙可编程控制器，通过操控plc控制系统或者设定相应的参数即可实现由动作控制系统控制升降机构自动驱动第一炉门的开合，实现装料、卸料等过程自动化。
[0103]
温控系统包括温度控制装置以及与温度控制装置电连接的测温热电偶，炉体设置有多个温度检测口，测温热电偶的测温探头部分通过炉体的检测口检测加热室内的温度，并将检测结果传递至温度控制装置，优选地，温度控制装置为智能化温控表，可存储20条工艺曲线，并具有pid参数自整定功能。
[0104]
抽真空系统的真空计以及多个阀门分别与plc控制系统电连接，使得抽真空系统具有自我保护逻辑互锁系统，可有效避免误操作，当设备发生停电等突发情况时，全部阀门瞬间自动关闭，保证炉体内的真空度。
[0105]
通过电控系统，将设备整体联系起来，使得各个系统之间能够实现互锁保障，确保设备安全运行。
[0106]
最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本技术的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本技术进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本技术各实施例技术方案的范围。