推断器以及真空阀的制作方法

技术特征：
1.一种推断器，是针对包括对真空腔室进行排气的真空泵，及设置在所述真空泵的进气口侧，调整所述真空腔室的腔室压力的真空阀的真空排气装置，推断作为与正进行排气的气体相关的所述真空排气装置的第一实效排气速度、和与规定已知气体相关的所述真空排气装置的第二实效排气速度的比的气体种类特性值，及所述真空腔室的第一腔室容积推断值的推断器，其特征在于包括：获取部，获取多个包含所述真空阀的阀体开度与所述阀体开度中的所述腔室压力的数据对；以及运算部，基于表示所述第二实效排气速度、被导入所述真空腔室中的气体的流量、腔室容积及腔室压力之间的关系的排气的式子，由所述获取部所获取的多个数据对，以及与所述规定已知气体相关的所述阀体开度和所述第二实效排气速度的关联数据，对所述气体种类特性值及所述第一腔室容积推断值进行运算。2.一种真空阀，是设置在真空腔室与对所述真空腔室进行排气的真空泵之间，调整所述真空腔室的腔室压力的真空阀，其特征在于，基于由根据权利要求1所述的推断器所运算的所述第一腔室容积推断值，调整所述真空腔室的腔室压力。3.根据权利要求2所述的真空阀，其中，包括第一校正部，所述第一校正部将真空阀的开度固定成规定开度值，基于在所述规定开度值中所测量的所述真空腔室的腔室压力，对所述真空腔室的第二腔室容积推断值进行运算，所述第一校正部根据基于由所述推断器所运算的所述气体种类特性值及所述第一腔室容积推断值的所述真空腔室的压力响应特性，设定将所述阀体开度固定成所述规定开度值的时间。4.根据权利要求3所述的真空阀，其中在所述规定开度值的期间内，获取利用所述推断器的所述气体种类特性值及所述第一腔室容积推断值的运算中所使用的所述多个数据对。5.根据权利要求2至4中任一项所述的真空阀，其中，包括第二校正部，所述第二校正部将所述阀体开度依次固定成多个开度值，基于在所述多个开度值的各开度值中所测量的所述真空腔室的腔室压力，对所述第一实效排气速度进行运算，所述第二校正部基于由所述推断器所运算的所述气体种类特性值及所述第一腔室容积推断值，算出所述真空腔室的压力响应特性，基于已算出的压力响应特性，分别设定将所述阀体开度固定成所述多个开度值的各者的时间。

技术总结
本发明提供一种推断器及真空阀，所述推断器不论校正用气体的气体种类如何，均可求出腔室容积。推断器(1)包括获取多个包含阀(3)的阀体开度(θ)与所述阀体开度(θ)中的腔室压力(Pm)的数据对(θ、Pm)的获取部、以及对气体种类特性值(a0)及腔室容积推断值(V0)进行运算的运算部(11)。运算部(11)基于表示实效排气速度、被导入的气体的流量(Qin)、腔室容积及腔室压力之间的关系的排气的式子，已获取的多个数据对(θ、Pm)，以及与规定已知气体相关的阀体开度(θj)和实效排气速度(Se)的关联数据(Se(θj))，对气体种类特性值(a0)及腔室容积推断值(V0)进行运算。值(V0)进行运算。值(V0)进行运算。


技术研发人员：小崎纯一郎
受保护的技术使用者：株式会社岛津制作所
技术研发日：2021.02.09
技术公布日：2021/9/13