用于追踪聚光的MEMS微镜阵列智能玻璃板的制作方法

技术特征：
1.用于追踪聚光的mems微镜阵列智能玻璃板，包括控制电路和反馈电路，其特征在于，还包括微镜玻璃板、太阳高度角传感器；所述微镜玻璃板包括由数片微镜构成的mems微镜阵列，每片微镜从下至上依次设置有基底、下电极层、保护层、牺牲层、支持层、金属层、补偿层以及悬空设置在补偿层上方的上电极层、玻璃层；所述金属层包括前端的固定部、后端的旋转部以及连接的铰接件，所述补偿层、支持层分别设置在金属层的旋转部上、下两侧，金属层的旋转部、支持层、补偿层共同构成悬臂；所述上电极层与下电极层、金属层分别与控制电路的电压输出端正、负极电连接；太阳高度角传感器的输出端与反馈电路的输入端电连接，反馈电路的输出端与控制电路的信号输入端电连接，通过太阳高度角传感器提供的数据调整上电极层与下电极层、金属层的电压大小，驱动单片微镜的悬臂以铰接件为圆心进行角度偏转。2.根据权利要求1所述的用于追踪聚光的mems微镜阵列智能玻璃板，其特征在于，所述基底为玻璃镜面，所述下电极层为气相沉积在玻璃镜面上的ito氧化铟锡膜。3.根据权利要求1所述的用于追踪聚光的mems微镜阵列智能玻璃板，其特征在于，所述保护层为设置在下电极层上的二氧化硅或氮化硅层，金属层为铝金属层。4.根据权利要求1所述的用于追踪聚光的mems微镜阵列智能玻璃板，其特征在于，所述金属层的旋转部初始状态与基底水平。5.根据权利要求1所述的用于追踪聚光的mems微镜阵列智能玻璃板，其特征在于，所述单片微镜的悬臂的角度偏转范围为0～90
°
。6.根据权利要求1所述的用于追踪聚光的mems微镜阵列智能玻璃板，其特征在于，所述微镜玻璃板两侧中间垂直安装支架，两根支架的上端分别与太阳能电池条两端固定连接；所述太阳高度角传感器安装在支架上。7.根据权利要求6所述的用于追踪聚光的mems微镜阵列智能玻璃板，其特征在于，所述微镜玻璃板以太阳能电池条垂直面两侧分为左侧微镜玻璃、右侧微镜玻璃，所述太阳高度角传感器设置有两个，分别用于控制左侧微镜玻璃、右侧微镜玻璃上单片微镜的悬臂偏转。

技术总结
用于追踪聚光的MEMS微镜阵列智能玻璃板，包括控制电路、反馈电路、微镜玻璃板、太阳高度角传感器；微镜玻璃板包括由数片微镜构成的MEMS微镜阵列，每片微镜从下至上依次为基底、下电极层、保护层、牺牲层、支持层、金属层、补偿层以及悬空设置的上电极层、玻璃层；金属层包括固定部、旋转部以及铰接件，补偿层、支持层分别设置在金属层的旋转部上、下两侧，旋转部、支持层、补偿层共同构成悬臂；上电极层与下电极层、金属层分别与控制电路的电压输出端正、负极电连接；通过太阳高度角传感器提供的数据调整电压大小，驱动单片微镜进行角度偏转。本发明可以使微镜进行0


技术研发人员：祝方舟 李铁林 李庆党 杨晓辉 和学泰 刘华江
受保护的技术使用者：青岛科技大学
技术研发日：2021.05.07
技术公布日：2021/9/10