一种槽式电化学沉积用药液添加装置的制作方法

1.本实用新型属于平板玻璃行业，涉及一种加液装置，特别是涉及一种槽式电化学沉积用药液添加装置。


背景技术：

2.目前，公知的液晶显示行业，电化学沉积所用的药液添加系统，常通过磁致伸缩液位计测量液位，采用上部进液，底部出液的方式控制药水的补加量，且出液时直接使用气动阀进槽。但是这种常规的方法有极大的弊端，这种传统的添加计量方式，会导致药液进桶时冲击液面及液位传感器的浮子，造成浮子巨大波动，导致误感应。另外，气动阀直接开合的过程，会挤压管道内残留的药液继续向槽内补加，造成补加不准。致使工艺参数偏差，影响沉积效果。


技术实现要素：

3.本实用新型目的是要提供一种槽式电化学沉积用药液添加装置，解决了提高加液精度的问题。
4.为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：
5.本实用新型提供了一种槽式电化学沉积用药液添加装置，它包括：
6.加液桶，所述加液桶内设置有液位计；
7.进液管路，所述进液管路的出口连接在所述加液桶底部；
8.出液管路，所述出液管路的进口连接在所述加液桶底部，所述出液管路中设置有气动阀，所述气动阀的出液端设置有节流片。
9.优选地，它还包括溢流管路，所述溢流管路连接在所述加液桶顶部和所述气动阀的出液端之间。
10.进一步地，所述溢流管路顶部设置有泄压管路。
11.优选地，它还包括旁路管，所述旁路管与所述加液桶相连通，所述旁路管中设置有高液位保护传感器。
12.优选地，所述液位计为磁致伸缩液位计。
13.优选地，所述进液管路的出口设置有分流器。
14.由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点：
15.本实用新型的槽式电化学沉积用药液添加装置，由于进液管路连接在加液桶底部，因此向加液桶内进液时不会冲击液面，不会影响液位计测量液位；且气动阀的出端液设置有节流片，小流量补加进入槽体，可避免气动阀直接开合而挤压管道内残留的药液继续向槽内补加，造成补加不准的问题。因此，提高了药液加液精度。
附图说明
16.后文将参照附图以示例性而非限制性的方式详细描述本实用新型的一些具体实
施例。附图中相同的附图标记标示了相同或类似的部件或部分。本领域技术人员应该理解，这些附图未必是按比例绘制的。附图中：
17.图1是本实用新型槽式电化学沉积用药液添加装置优选实施例的结构示意图；
18.其中，附图标记说明如下：
19.1、加液桶；
20.2、磁致伸缩液位计；
21.3、进液管路；
22.4、出液管路；
23.5、溢流管路；
24.6、分流器；
25.7、节流片；
26.8、泄压管路；
27.9、高液位保护传感器；
28.10、气动阀；
29.11、旁路管。
具体实施方式
30.下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
31.在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
32.此外，下面所描述的本实用新型不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。
33.如图1所示槽式电化学沉积用药液添加装置，包括加液桶1、进液管路3、出液管路4和溢流管路5，出液管路4出液端与电化学沉积槽体（图未示）相连接，用于向电化学沉积槽体补加药液。
34.加液桶1内设置有液位计，该液位计为磁致伸缩液位计2。磁致伸缩液位计2通过浮球随液位变化而移动来测量液位。
35.进液管路3用于向加液桶1内导入药液，进液管路3的出口连接在加液桶1底部，从上方进液，从下方出液到加液桶1底部，从而在进液时不会冲击液位而影响磁致伸缩液位计2测量。进液管路3的出口还设置有分流器6，使得药液平稳进入加液桶1。
36.出液管路4的进口连接在加液桶1底部，出液管路4中设置有气动阀10，通过气动阀10开合而控制出液管路4开闭。气动阀10出液端设置有节流片7，利用节流片7使加液桶1内药液小流量补加进入槽体，可避免气动阀10直接开合而挤压管道内残留的药液继续向槽内
补加，造成补加不准的问题。
37.溢流管路5连接在加液桶1顶部和气动阀10出液端之间，防止液位过高漫桶。溢流管路5顶部设置有泄压管路8，泄压管路8上端开放，泄压管路8能够防止持续进液造成加液桶1内憋压及排放不畅。
38.加液桶1侧边还设置有旁路管11，旁路管11与加液桶1相连通，从而使旁路管11中液位与加液桶1齐平。旁路管11内设置有高液位保护传感器9，防止液位超高。
39.通过进液管路3向加液桶1内进液，待到达设定液面高度，开启出液管路4中的气动阀10，达到设定容积后，关闭气动阀10，补液结束。通过上述措施，实现药液的高精度补加。
40.上述实施例只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本实用新型的内容并据以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围，凡根据本实用新型精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。


技术特征：
1.一种槽式电化学沉积用药液添加装置，其特征在于，它包括：加液桶（1），所述加液桶（1）内设置有液位计；进液管路（3），所述进液管路（3）的出口连接在所述加液桶（1）底部；出液管路（4），所述出液管路（4）的进口连接在所述加液桶（1）底部，所述出液管路（4）中设置有气动阀（10），所述气动阀（10）的出液端设置有节流片（7）。2.根据权利要求1所述的槽式电化学沉积用药液添加装置，其特征在于：它还包括溢流管路（5），所述溢流管路（5）连接在所述加液桶（1）顶部和所述气动阀（10）的出液端之间。3.根据权利要求2所述的槽式电化学沉积用药液添加装置，其特征在于：所述溢流管路（5）顶部设置有泄压管路（8）。4.根据权利要求1所述的槽式电化学沉积用药液添加装置，其特征在于：它还包括旁路管（11），所述旁路管（11）与所述加液桶（1）相连通，所述旁路管（11）中设置有高液位保护传感器（9）。5.根据权利要求1所述的槽式电化学沉积用药液添加装置，其特征在于：所述液位计为磁致伸缩液位计（2）。6.根据权利要求1所述的槽式电化学沉积用药液添加装置，其特征在于：所述进液管路（3）的出口设置有分流器（6）。

技术总结
本实用新型涉及一种槽式电化学沉积用药液添加装置，它包括：加液桶，所述加液桶内设置有液位计；进液管路，所述进液管路的出口连接在所述加液桶底部；出液管路，所述出液管路的进口连接在所述加液桶底部，所述出液管路中设置有气动阀，所述气动阀的出液端设置有节流片。由于进液管路连接在加液桶底部，因此加液时不会冲液液面，不会影响液位计测量液位；且气动阀的出端液设置有节流片，小流量补加进入槽体，可避免气动阀直接开合而挤压管道内残留的药液继续向槽内补加，造成补加不准的问题。因此，提高了药液加液精度。提高了药液加液精度。提高了药液加液精度。


技术研发人员：蒋新 张军 施利君 陈书良
受保护的技术使用者：苏州晶洲装备科技有限公司
技术研发日：2021.01.29
技术公布日：2021/9/24