电镀金刚石线锯模块化滚筒装置及自动化设备的制作方法

1.本技术涉及电镀金刚石线的技术领域，具体为电镀金刚石线锯模块化滚筒装置及自动化设备。


背景技术：

2.近年来，随着金刚石线的快速发展，对金刚石线的质量要求越来越高，而金刚石线线径越来越小，切割后硅片的光洁度要求越来越高，从而提出对附着金刚石线上的砂粒的均匀性要求越来越高，对上砂工艺段的上砂滚筒电流均匀性能要求越来越高，对滚筒的精度要求越来越高，另外对在线更换导电杆的效率亟待提高，适应不同生产线的滚筒宽度变化更加多样性。
3.在所述背景技术部分，公开的上述信息仅用于加强对本技术的背景的理解，因此它可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术信息。


技术实现要素：

4.本技术旨在提供电镀金刚石线锯模块化滚筒装置及自动化设备，解决了电镀时，适应不同生产线的滚筒宽度变化更加多样性。
5.根据本技术的一方面，提出一种电镀金刚石线锯模块化滚筒装置，包括：至少一个绝缘圆盘，所述至少一个绝缘圆盘具有v型槽、第一轴孔以及多个第一孔，所述至少一个绝缘圆盘的圆周表面上围绕所述第一轴孔设置v型槽，所述多个第一孔围绕所述第一轴孔均匀分布，且与所述v型槽相交设置。侧板，所述侧板包括第一侧板和第二侧板，所述第一侧板具有第二轴孔和多个第二孔，所述第二侧板具有第三轴孔和多个第三孔，所述第一侧板与所述第二侧板同轴设置于所述至少一个绝缘圆盘的两侧。多根导电杆，所述多根导电杆穿过所述多个第一孔、所述多个第二孔和所述多个第三孔。滚筒轴，所述滚筒轴穿过所述第一轴孔、第二轴孔以及第三轴孔，用于驱动所述侧板和所述至少一个绝缘圆盘同步转动。
6.根据一些实施例，所述的电镀金刚石线锯模块化滚筒装置还包括：所述至少一个绝缘圆盘还具有多个第四孔，且围绕所述第一轴孔均匀分布。所述第一侧板具有多个第五孔，所述第二侧板具有多个第六孔。多根第一拉杆，所述多根第一拉杆穿过所述多个第四孔、所述多个第五孔以及所述多个第六孔锁紧于所述第一侧板与所述第二侧板上。
7.根据一些实施例，所述的电镀金刚石线锯模块化滚筒装置还包括：所述至少一个绝缘圆盘还具有多个第七孔，且围绕所述第一轴孔均匀分布。所述第一侧板具有多个第八孔，所述第二侧板具有多个第九孔。多根第二拉杆，所述多根第二拉杆穿过所述多个第七孔、所述多个第八孔和所述多个第九孔锁紧于所述第一侧板与所述第二侧板上。
8.根据一些实施例，所述的电镀金刚石线锯模块化滚筒装置还包括卡箍，所述卡箍锁紧所述多根导电杆，用于避免电镀金刚石线锯模块化滚筒装置旋转时导电杆旋转和窜动。
9.根据一些实施例，所述至少一个绝缘圆盘的v型槽的数量为3～20个槽。所述v型槽
的槽间距为3mm～15mm。
10.根据一些实施例，所述至少一个绝缘圆盘的数量为4～15个。
11.根据另一些实施例，所述至少一个绝缘圆盘的数量大于15个。
12.根据一些实施例，所述至少一个绝缘圆盘的直径为200mm～600mm。
13.根据一些实施例，所述多根导电杆的数量为12～90根。所述多根导电杆直径为5mm～20mm。所述多根导电杆包括空心导电杆。
14.根据一些实施例，所述的电镀金刚石线锯模块化滚筒装置还包括第一法兰与第二法兰，所述第一法兰与所述第二法兰连接于所述第一侧板与所述第二侧板，且设置于所述滚筒轴上。
15.根据一些实施例，所述至少一个绝缘圆盘的材质为尼龙、pvc塑料、聚氨酯或pp塑料。
16.根据一些实施例，所述至少一个绝缘圆盘还具有多个扇形孔，所述多个扇形孔围绕所述第一轴孔均匀分布。
17.根据一些实施例，所述至少一个绝缘圆盘还包括凸起与凹槽，用于相邻的两个绝缘圆盘之间相互配合。
18.根据一些实施例，所述v型槽包括螺旋状v型槽或环状v型槽。
19.根据本技术示例实施例，还提供一种利用如上所述电镀金刚石线锯模块化滚筒装置的自动化设备。
20.为能更进一步了解本技术的特征及技术内容，请参阅以下有关本技术的详细说明与附图，但是此说明和附图仅用来说明本技术，而非对本技术的保护范围作任何的限制。
附图说明
21.下面结合附图详细说明本公开的实施方式。这里，构成本公开一部分的附图用来提供对本公开的进一步理解。本公开的示意性实施例及其说明用于解释本公开，并不构成对本公开的不当限定。附图中：
22.图1示出根据本技术示例实施例的电镀金刚石线锯模块化滚筒装置的结构示意图。
23.图2示出根据本技术示例实施例的电镀金刚石线锯模块化滚筒装置的局部结构示意图。
24.图3示出根据本技术示例实施例的电镀金刚石线锯模块化滚筒装置的绝缘圆盘结构示意图。
25.图4示出根据本技术示例实施例的电镀金刚石线锯模块化滚筒装置的图3绝缘圆盘b
‑
b剖面示意图。
26.图5示出根据本技术示例实施例的电镀金刚石线锯模块化滚筒装置的绝缘圆盘局部结构示意图。
27.图6示出根据本技术示例实施例的电镀金刚石线锯模块化滚筒装置的部件分解示意图。
具体实施方式
28.现在将参考附图更全面地描述示例实施例。然而，示例实施例能够以多种形式实施，且不应被理解为限于在此阐述的实施例；相反，提供这些实施例使得本技术将全面和完整，并将示例实施例的构思全面地传达给本领域的技术人员。在图中相同的附图标记表示相同或类似的部分，因而将省略对它们的重复描述。
29.所描述的特征、结构或特性可以以任何合适的方式结合在一个或更多实施例中。在下面的描述中，提供许多具体细节从而给出对本公开的实施例的充分理解。然而，本领域技术人员将意识到，可以实践本公开的技术方案而没有这些特定细节中的一个或更多，或者可以采用其它的方式、组元、材料、装置或等。在这些情况下，将不详细示出或描述公知结构、方法、装置、实现、材料或者操作。
30.附图中所示的流程图仅是示例性说明，不是必须包括所有的内容和操作/步骤，也不是必须按所描述的顺序执行。例如，有的操作/步骤还可以分解，而有的操作/步骤可以合并或部分合并，因此实际执行的顺序有可能根据实际情况改变。
31.本技术的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别不同对象，而不是用于描述特定顺序。此外，术语“包括”和“具有”以及它们任何变形，意图在于覆盖不排他的包含。例如包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备没有限定于已列出的步骤或单元，而是可选地还包括没有列出的步骤或单元，或可选地还包括对于这些过程、方法、产品或设备固有的其他步骤或单元。
32.下面将参照附图，对根据本技术实施例的一种电镀金刚石线锯模块化滚筒装置进行详细说明。
33.图1示出根据本技术示例实施例的电镀金刚石线锯模块化滚筒装置的结构示意图。图2示出根据本技术示例实施例的电镀金刚石线锯模块化滚筒装置的局部结构示意图。图3示出根据本技术示例实施例的电镀金刚石线锯模块化滚筒装置的绝缘圆盘结构示意图。图4示出根据本技术示例实施例的电镀金刚石线锯模块化滚筒装置的绝缘圆盘结构示意图。图5示出根据本技术示例实施例的电镀金刚石线锯模块化滚筒装置的绝缘圆盘局部结构示意图。图6示出根据本技术示例实施例的电镀金刚石线锯模块化滚筒装置的部件分解示意图。
34.如图1
‑
6所示，根据本技术示例实施例，电镀金刚石线锯模块化滚筒装置10呈现圆柱状，其包括至少一个绝缘圆盘90、侧板、多根导电杆50和滚筒轴30。至少一个绝缘圆盘90之间同轴连接。侧板同轴连接于至少一个绝缘圆盘90的两侧。多根导电杆50穿过至少一个绝缘圆盘90和侧板。滚筒轴30穿过设置于至少一个绝缘圆盘90和侧板的轴心处。
35.至少一个绝缘圆盘90具有v型槽95、第一轴孔91以及多个第一孔92，至少一个绝缘圆盘90的圆周表面上围绕第一轴孔91设置v型槽95，多个第一孔92围绕第一轴孔91均匀分布，且与v型槽95相交设置。从绝缘圆盘的外部可以之间看到导电杆。通过v型槽95可以将金刚石线缠绕到至少一个绝缘圆盘上，且与导电杆相接触。v型槽95可以设置为单个线口。一根金刚石线可以缠绕于一个绝缘圆盘上，以此类推，多个绝缘圆盘就可以同时缠绕多根金刚石线。v型槽95的槽间距为3mm～15mm。当然，本公开不限定其具体槽宽。
36.根据一些实施例，至少一个绝缘圆盘90的v型槽95的数量为3～20个槽。当然，本公开不限定其具体数量。可以通过v型槽95的数量改变金刚石线在绝缘圆盘上缠绕的圈数。v
型槽包括螺旋状v型槽或环状v型槽。
37.根据一些实施例，至少一个绝缘圆盘90的数量为4～15个，也可以大于15个。当然，本公开不限定其具体数量。多个绝缘圆盘的组合形成一个大滚筒，通过调整绝缘圆盘的数量可以扩充多根金刚石线同时缠绕于这个大滚筒上，同时进行工作。
38.根据一些实施例，至少一个绝缘圆盘90的直径为200mm～600mm。当然，本公开不限定其具体直径，可以根据实际需要进行设置大小。
39.根据一些实施例，至少一个绝缘圆盘90具有多个第四孔及多个第七孔93，且围绕第一轴孔91均匀分布。
40.至少一个绝缘圆盘90的材质为尼龙、pvc塑料、聚氨酯或pp塑料。当然，本公开中不限定其具体材质，凡是绝缘材料且可以达到本公开相同的效果即可。
41.至少一个绝缘圆盘90还具有多个扇形孔94，多个扇形孔94围绕第一轴孔91均匀分布。可以通过多个扇形孔94减轻滚筒的重量，从而使安装与拆卸简捷。
42.根据一些实施例，至少一个绝缘圆盘90还包括凸起与凹槽，用于相邻的两个绝缘圆盘之间相互配合。其中一个绝缘圆盘的凸起与另一个绝缘圆盘的凹槽相配合，使多个绝缘圆盘安装于一起，当滚筒转动时，多个绝缘圆盘可以同步转动，不会产生速度差。
43.根据一些实施例，侧板包括第一侧板20和第二侧板21，第一侧板20具有第二轴孔和多个第二孔，第二侧板21具有第三轴孔和多个第三孔，第一侧板20与第二侧板21同轴设置于至少一个绝缘圆盘90的两侧。通过第一侧板20与第二侧板21将多个绝缘圆盘同轴压紧固定。
44.根据一些实施例，第一侧板20具有多个第五孔及多个第八孔，第二侧板21具有多个第六孔及多个第九孔。
45.根据一些实施例，多根导电杆50穿过多个第一孔92、多个第二孔和多个第三孔。多根导电杆50的两端延伸至两个侧板外，延伸至两个侧板外的导电杆部分可以用来固定导电杆。固定导电杆可以采用卡箍40，卡箍40位于两侧板外的圆周方向上将锁紧多根导电杆50，用于避免滚筒旋转时导电杆旋转和窜动。也可以提高在线更换导电杆的效率，可以更加灵活适应不同产线的要求。
46.根据一些实施例，多根导电杆50的数量为12～90根。多根导电杆50直径为5mm～20mm。当然，本公开中不限定其具体数量及具体直径，可以根据具体需要进行设置。
47.多根导电杆50可以设置为空心导电杆。多根空心导电杆可以减轻重量。从经济角度出发，可以简约成本。另一方面，空心导电杆便于安装及拆卸。通过增加多根导电杆50，其导电性能要比现有滚筒的导电性好，故其生产出来的线体上砂均匀性好。
48.根据一些实施例，位于两个侧板与滚筒轴30之间设置有第一法兰60与第二法兰61，第一法兰60与第二法兰61连接于第一侧板20与第二侧板21，且设置于滚筒轴30上。第一侧板20与第二侧板21螺接于第一法兰60与第二法兰61之上。第一法兰60与第二法兰61具有键槽，可以用于牢固固定于滚筒轴30。通过安装法兰，可以使多个滚筒的轴线位置保持在同一轴线上，从而提高滚筒旋转时的精度。
49.法兰设置有螺钉。本公开中螺钉为不锈钢内六角圆柱头螺钉和不锈钢内六角平端紧定螺钉。当然，本公开中不限定去具体类型。不锈钢内六角平端紧定螺钉用于锁紧法兰与滚筒轴30。不锈钢内六角圆柱头螺钉用于牢固固定连接法兰与侧板。
50.根据一些实施例，滚筒轴30穿过第一轴孔91、第二轴孔以及第三轴孔，用于驱动侧板和至少一个绝缘圆盘90同步转动。
51.滚筒轴30与第一法兰60与第二法兰61的键槽相对应的位置处同样设置有键槽，将键安装于键槽内，通过来自滚筒轴30的动力将带动法兰、侧板、绝缘圆盘进行同步旋转。
52.根据一些实施例，第一侧板20与第二侧板21之间设置有多个拉杆，拉杆包括多根第一拉杆70和多根第二拉杆71。多根第一拉杆70靠近滚筒轴30的位置处设置，多根第二拉杆71设置于侧板的边缘处设置。举例来说，本公开中，多根第一拉杆70的数量为4根，围绕滚筒轴30均匀分布。多根第二拉杆71的数量为12根，围绕滚筒轴30均匀分布。当然，本公开不限定其具体数量，凡是可以达到本公开的相同的效果即可。
53.多根第一拉杆70，多根第一拉杆70穿过绝缘圆盘的多个第四孔、第一侧板20的多个第五孔以及第二侧板21的多个第六孔，将锁紧于第一侧板20与第二侧板21。
54.多根第二拉杆71，多根第二拉杆71穿过绝缘圆盘的多个第七孔93、第一侧板20的多个第八孔和第二侧板21的多个第九孔，将锁紧于第一侧板20与第二侧板21。
55.第一拉杆70与第二拉杆71包括锁紧螺母，本公开中可以采用不锈钢型非金属嵌件六角锁紧螺母固定。当然，本公开不限定其具体类型。同时设置不锈钢平垫圈及不锈钢标准型弹簧垫圈配合锁紧螺母锁紧。
56.根据另一示例实施例，还提供一种用于电镀金刚石线锯的自动化设备，利用如上所述的电镀金刚石线锯模块化滚筒装置的自动化设备。
57.通过上述电镀金刚石线锯模块化滚筒装置及自动化设备的描述，实现了对上砂工艺段的上砂滚筒的电流均匀性得到一定提升，滚筒旋转时的精度得到一定的提升。另外对在线更换多根导电杆的效率有显著的提升，且适应不同生产线的滚筒宽度变化。
58.最后应说明的是：以上所述仅为本公开的示例实施例而已，并不用于限制本公开，尽管参照前述实施例对本公开进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本公开的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本公开的保护范围之内。