溅射石英轴压力传感器芯体的制作方法

1.本实用新型涉及仪器仪表类压力传感器技术领域，尤其涉及溅射石英轴压力传感器芯体。


背景技术：

2.压力传感器是工业实践中最为常用的一种传感器，其广泛应用于各种工业自控环境，涉及水利水电、铁路交通、智能建筑、生产自控、航空航天、军工、石化、油井、电力、船舶、机床、管道等众多行业，而压力传感器中必不可少的组件之一则为压力传感器膜片。
3.当前压力传感器膜片多采用金属片作为敏感芯体，德国、瑞士等国已用陶瓷膜片上印制厚膜片电路制成压力传感器替代传统结构，固然制造工艺简便，取材广泛，但膜片控测时产生迟滞现象，以及测得数值重复性差。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的是为了解决现有技术中当前压力传感器膜片多采用金属片作为敏感芯体，德国、瑞士等国已用陶瓷膜片上印制厚膜片电路制成压力传感器替代传统结构，固然制造工艺简便，取材广泛，但膜片控测时产生迟滞现象，以及测得数值重复性差的问题，而提出的溅射石英轴压力传感器芯体。
5.为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：
6.溅射石英轴压力传感器芯体，包括石英膜片，所述石英膜片下表面均匀溅射有应变电阻，石英膜片底部对称固定连接有连接块，且连接块一侧卡接有卡紧球，且卡紧球一侧面固定连接有竖直杆，竖直杆底部固定连接有水平杆，水平杆一端转动连接有倾斜杆，且倾斜杆中间位置转动连接有连接杆，连接杆一端焊接在石英环内壁上，倾斜杆底部转动连接有连接耳，且连接耳一端固定连接有夹持环。
7.可选地，所述连接块侧面开设有半圆孔，且半圆孔的直径等于卡紧球的直径。
8.可选地，所述石英环靠水平杆位置开设有容纳腔，且水平杆一端延伸至容纳腔一侧。
9.可选地，所述水平杆靠容纳腔一侧外壁固定连接有固定弹簧，且固定弹簧另一端固定连接在容纳腔内壁上。
10.可选地，所述夹持环侧面中间位置转动连接有夹持螺栓，且夹持螺栓沿石英环螺纹旋入。
11.可选地，所述石英环靠夹持环上方焊接有限位导轨，且夹持环顶部沿限位导轨滑动。
12.与现有技术相比，本实用新型具备以下优点：
13.1、本实用新型采用非金属材料石英制成圆膜片以及石英环，较德国、瑞士等国已用陶瓷膜片上印制厚膜片电路制成压力传感器替代传统结构的方式简化了压力传感器芯体结构，同时于圆膜片底部均匀溅射有应变电阻，解决了膜片控测时产生的迟滞现象。
14.2、石英膜片由于质地较脆常常在使用时发生皲裂，需要将石英膜片进行修补，仅仅通过旋转夹持螺栓带动竖直杆顶部的卡紧球与连接块脱离，便可使得石英膜片与石英环脱离，十分便于对石英膜片进行修补。
附图说明
15.图1为本实用新型整体结构示意图；
16.图2为图1中a处的局部结构示意图；
17.图3为夹持环的俯视结构示意图。
18.图中：1、半圆孔；2、石英环；3、应变电阻；4、石英膜片；5、卡紧球；6、连接块；7、限位导轨；8、夹持环；9、夹持螺栓；10、竖直杆；11、倾斜杆；12、固定弹簧；13、水平杆；14、连接杆；15、容纳腔；16、连接耳。
具体实施方式
19.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
20.参照图1
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3，溅射石英轴压力传感器芯体，包括石英膜片4，石英膜片4下表面均匀溅射有应变电阻3，应变电阻3的作用是解决了膜片控测时产生的迟滞现象；石英膜片4底部对称固定连接有连接块6，连接块6与石英膜片4之间采用玻璃胶粘接，且连接块6一侧卡接有卡紧球5，连接块6侧面开设有半圆孔1，且半圆孔1的直径等于卡紧球5的直径，卡紧球5可在下述结构下与半圆孔1便于石英膜片4与石英环2的拆卸与安装。
21.卡紧球5一侧面固定连接有竖直杆10，竖直杆10底部固定连接有水平杆13，石英环2靠水平杆13位置开设有容纳腔15，且水平杆13一端延伸至容纳腔15一侧，容纳腔15的宽度大于水平杆13伸入容纳腔15的长度，可防止水平杆13在移动时伸出容纳腔15，另外水平杆13靠容纳腔15一侧外壁固定连接有固定弹簧12。
22.固定弹簧12另一端固定连接在容纳腔15内壁上，固定弹簧12可使得水平杆13无外力作用下恢复初始位置，水平杆13一端转动连接有倾斜杆11，且倾斜杆11中间位置转动连接有连接杆14，连接杆14一端焊接在石英环2内壁上，倾斜杆11底部转动连接有连接耳16，且连接耳16一端固定连接有夹持环8，夹持环8侧面中间位置转动连接有夹持螺栓9，且夹持螺栓9沿石英环2螺纹旋入，通过旋转夹螺栓9可使得石英环2底部对称设置的夹持环8相互配合将石英环2夹持在待检测轴上，石英环2靠夹持环8上方焊接有限位导轨7，且夹持环8顶部沿限位导轨7滑动，限位导轨7的作用是限制夹持环8沿限位导轨7方向移动。
23.工作原理如下：
24.本实用新型在使用时，石英膜片4底部溅射应变电阻3，将石英环2顶部与石英膜片4的连接块6对齐，将石英环2底部套接在待检测的轴上，通过旋转夹持螺栓9，夹持螺栓9带动夹持环8沿限位导轨7滑动，石英环2底部两侧设置的夹持环8相互配合将石英环2夹持在待检测轴上，继续旋转夹持螺栓9带动倾斜杆11迫使竖直杆10顶部的卡紧球5逐渐卡入连接块6的半圆孔1内，此时石英膜片4被安装在石英环2上，当石英膜片4发生皲裂时，反向旋转夹持螺栓9，夹持9通过倾斜杆带动水平杆12移动，水平杆12带动竖直杆10顶部的卡紧球5从
连接块6所开设的半圆孔1内脱离，此时将石英膜片4从石英环2上拆卸下来，石英膜片4等待维修。
25.以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。


技术特征：
1.一种溅射石英轴压力传感器芯体，包括石英膜片（4），其特征在于，所述石英膜片（4）下表面均匀溅射有应变电阻（3），石英膜片（4）底部对称固定连接有连接块（6），且连接块（6）一侧卡接有卡紧球（5），且卡紧球（5）一侧面固定连接有竖直杆（10），竖直杆（10）底部固定连接有水平杆（13），水平杆（13）一端转动连接有倾斜杆（11），且倾斜杆（11）中间位置转动连接有连接杆（14），连接杆（14）一端焊接在石英环（2）内壁上，倾斜杆（11）底部转动连接有连接耳（16），且连接耳（16）一端固定连接有夹持环（8）。2.根据权利要求1所述的溅射石英轴压力传感器芯体，其特征在于，所述连接块（6）侧面开设有半圆孔（1），且半圆孔（1）的直径等于卡紧球（5）的直径。3.根据权利要求1所述的溅射石英轴压力传感器芯体，其特征在于，所述石英环（2）靠水平杆（13）位置开设有容纳腔（15），且水平杆（13）一端延伸至容纳腔（15）一侧。4.根据权利要求1所述的溅射石英轴压力传感器芯体，其特征在于，所述水平杆（13）靠容纳腔（15）一侧外壁固定连接有固定弹簧（12），且固定弹簧（12）另一端固定连接在容纳腔（15）内壁上。5.根据权利要求1所述的溅射石英轴压力传感器芯体，其特征在于，所述夹持环（8）侧面中间位置转动连接有夹持螺栓（9），且夹持螺栓（9）沿石英环（2）螺纹旋入。6.根据权利要求1所述的溅射石英轴压力传感器芯体，其特征在于，所述石英环（2）靠夹持环（8）上方焊接有限位导轨（7），且夹持环（8）顶部沿限位导轨（7）滑动。

技术总结
本实用新型公开了溅射石英轴压力传感器芯体，涉及仪器仪表类压力传感器技术领域，包括石英膜片，所述石英膜片下表面均匀溅射有应变电阻，石英膜片底部对称固定连接有连接块，且连接块一侧卡接有卡紧球，且卡紧球一侧面固定连接有竖直杆，竖直杆底部固定连接有水平杆，水平杆一端转动连接有倾斜杆，且倾斜杆中间位置转动连接有连接杆，连接杆一端焊接在石英环内壁上。本实用新型采用非金属材料石英制成圆膜片以及石英环，较德国、瑞士等国已用陶瓷膜片上印制厚膜片电路制成压力传感器替代传统结构的方式简化了压力传感器芯体结构，同时于圆膜片底部均匀溅射有应变电阻，解决了膜片控测时产生的迟滞现象。片控测时产生的迟滞现象。片控测时产生的迟滞现象。


技术研发人员：刘运来 汪晓亭 柳海瑞 刘晓东 汪莹 牟宗伟 邹曰东
受保护的技术使用者：山东凯帝斯工业系统有限公司
技术研发日：2021.05.14
技术公布日：2021/10/23