一种用于特殊气体超高流量输送的设备的制作方法

技术特征：
1.一种用于特殊气体超高流量输送的设备，其特征在于，包括：主柜体(100)、工艺气体供应单元(200)、吹扫单元(300)、排放单元(400)、深度吹扫箱(500)、控制显示操作单元(600)和报警单元(700)，所述工艺气体供应单元(200)、吹扫单元(300)和排放单元(400)设置于主柜体(100)内部，所述深度吹扫箱(500)和控制显示操作单元(600)与主柜体(100)外部连接，所述报警单元(700)与主柜体(100)连接；其中，所述工艺气体供应单元(200)包括：入口隔离阀(210)、缓冲套管(220)、支路隔离阀(230)、支路气动隔离阀(240)、加热模块(250)、过流量开关(260)、调压阀(270)、过滤器(280)、第一气动隔离阀(290)、手动隔离阀(2100)、出口隔离阀(2200)和第一压力传感器(2300)，所述入口隔离阀(210)与工艺气体入口端连接，所述缓冲套管(220)前端与入口隔离阀(210)连接，所述缓冲套管(220)后端与支路隔离阀(230)连接，所述支路隔离阀(230)后端与支路气动隔离阀(240)连接，所述支路气动隔离阀(240)后端与加热模块(250)连接，所述加热模块(250)后端与过流量开关(260)连接，所述过流量开关(260)后端与调压阀(270)连接，所述调压阀(270)后端与过滤器(280)连接，所述过滤器(280)后端与第一气动隔离阀(290)连接，所述第一气动隔离阀(290)后端与手动隔离阀(2100)连接，所述手动隔离阀(2100)后端与出口隔离阀(2200)连接，所述出口隔离阀(2200)后端与机台连接，所述第一压力传感器(2300)与调压阀(270)和过滤器(280)中间连接。2.根据权利要求1所述的一种用于特殊气体超高流量输送的设备，其特征在于：所述吹扫单元(300)包括：微漏阀(310)、第一单向阀(320)、第二气动隔离阀(330)、第二压力传感器(340)、吹扫隔离阀(350)、第二单向阀(360)和吹扫过滤器(370)，所述微漏阀(310)前端与吹扫气连接，所述微漏阀(310)后端与第一单向阀(320)连接，所述第一单向阀(320)后端与第二气动隔离阀(330)连接，所述第二气动隔离阀(330)后端通过管路分支与吹扫隔离阀(350)连接，所述第二压力传感器(340)与第二气动隔离阀(330)和吹扫隔离阀(350)中间连接，所述吹扫隔离阀(350)后端与支路气动隔离阀(240)后端连接，所述吹扫隔离阀(350)后端与加热模块(250)前端连接，所述第二单向阀(360)与吹扫隔离阀(350)前端连接，所述吹扫过滤器(370)与微漏阀(310)后端连接。3.根据权利要求1所述的一种用于特殊气体超高流量输送的设备，其特征在于：所述排放单元(400)包括：排放气动隔离阀(410)、第三气动隔离阀(420)、第三压力传感器(430)、真空发生器(440)、第三单向阀(450)、测试阀(460)和流量孔板(470)，所述排放气动隔离阀(410)前端与第一气动隔离阀(290)前端连接，所述排放气动隔离阀(410)后端与第三气动隔离阀(420)连接，所述第三压力传感器(430)与排放气动隔离阀(410)和第三气动隔离阀(420)中间连接，所述第三气动隔离阀(420)后端与真空发生器(440)连接，所述真空发生器(440)后端与外部排放点连接，所述第三单向阀(450)与排放气动隔离阀(410)后端连接，所述测试阀(460)前端与排放气动隔离阀(410)后端连接，所述测试阀(460)后端与测试管路连接，所述流量孔板(470)与第三气动隔离阀(420)后端连接。4.根据权利要求1所述的一种用于特殊气体超高流量输送的设备，其特征在于：所述深度吹扫箱(500)的数量为2～3个。5.根据权利要求1所述的一种用于特殊气体超高流量输送的设备，其特征在于：所述控制显示操作单元(600)包括：微处理器(610)和触摸屏(620)，所述微处理器(610)与触摸屏(620)连接。
6.根据权利要求5所述的一种用于特殊气体超高流量输送的设备，其特征在于：所述报警单元(700)包括：气体泄漏传感器(710)、火焰探测器(720)和声光报警器(730)，所述气体泄漏传感器(710)和声光报警器(730)与主柜体(100)内部连接，所述火焰探测器(720)与主柜体(100)外部连接，所述气体泄漏传感器(710)和声光报警器(730)与微处理器(610)连接。

技术总结
一种用于特殊气体超高流量输送的设备，包括：主柜体、工艺气体供应单元、吹扫单元、排放单元、深度吹扫箱、控制显示操作单元和报警单元，工艺气体供应单元、吹扫单元和排放单元设置于主柜体内部，深度吹扫箱和控制显示操作单元与主柜体外部连接，报警单元与主柜体连接。其中，工艺气体供应单元包括：入口隔离阀、缓冲套管、支路隔离阀、支路气动隔离阀、加热模块、过流量开关、调压阀、过滤器、第一气动隔离阀、手动隔离阀、出口隔离阀和第一压力传感器。本实用新型与传统技术相比，通过设计增设工艺气体供应单元，实现切换供应和换瓶流程，通过程式控制气动阀自己完成工作，从而避免因人为误操作引起的设备损害和人身危害。操作引起的设备损害和人身危害。操作引起的设备损害和人身危害。


技术研发人员：甘万 杨欣 江福荣
受保护的技术使用者：上海盛韬半导体科技有限公司
技术研发日：2021.01.29
技术公布日：2021/10/8