一种防护性能好的半导体生产加工用液态气储罐的制作方法

本实用新型涉及液态气储罐技术领域，具体为一种防护性能好的半导体生产加工用液态气储罐。

背景技术：

半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料，半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用，如二极管就是采用半导体制作的器件，在半导体生产加工的时候需要用到液态气储罐储存加工所需要的气体。

现有的液态气储罐为单独的罐体，当液态气储罐反生泄漏时，不能够及时的阻止泄露，造成液态气的流失，直接影响半导体的加工，降低半导体的加工效率，并且由于没有设置防护装置，在液态气储罐压力不够稳定时，容易造成液态气储罐爆炸，造成财产损失和人员受伤，为此我们提出了一种防护性能好的半导体生产加工用液态气储罐。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种防护性能好的半导体生产加工用液态气储罐，以解决上述背景技术中提出了现有的液态气储罐为单独的罐体，当液态气储罐反生泄漏时，不能够及时的阻止泄露，造成液态气的流失，并且由于没有设置防护装置，在液态气储罐压力不够稳定时的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种防护性能好的半导体生产加工用液态气储罐，包括支撑机构、外壳、罐体、防护机构、输送机构、监测机构和控制装置，所述外壳通过螺栓固定连接在所述支撑机构的顶部，所述罐体内嵌在所述外壳的内腔，所述防护机构焊接在所述罐体的内腔壁左右两侧，所述输送机构通过螺栓固定连接在所述罐体的内腔底部右侧，所述监测机构固定连接在所述罐体的前侧壁上侧中间处，所述控制装置通过螺栓固定连接在所述外壳的前侧壁中间处，所述罐体的顶部中间处焊接有加注管，所述加注管的底部焊接有连通管，所述加注管的顶端贯穿所述外壳并延伸至所述外壳的顶部，所述罐体的顶部焊接有泄压阀，所述泄压阀的顶端贯穿所述外壳并延伸至所述外壳的顶部，所述控制装置通过电线与所述泄压阀、所述防护机构、所述输送机构和所述监测机构电性连接。

优选的，所述支撑机构包括底座和支撑板，所述底座的顶部四角开有安装孔，所述支撑板焊接在所述底座的顶部前后两侧。

优选的，所述防护机构包括隔板、感应浮漂和电磁阀，所述隔板的右侧壁中间处竖向开有滑槽，所述感应浮漂滑动连接在所述滑槽的内腔，所述电磁阀镶嵌在所述隔板的顶部中间处。

优选的，所述输送机构包括泵体、吸料管和出料管，所述吸料管螺接在所述泵体的左侧壁，所述出料管螺接在所述泵体的顶部，所述出料管的右端贯穿所述罐体和外壳并延伸至所述外壳的外侧。

优选的，所述监测机构包括连接管、压力表和压力感应器，所述压力表螺接在所述连接管的顶部前侧，所述压力感应器固定连接在所述罐体的内腔顶部，且从左至右依次排列。

优选的，所述控制装置的前侧壁上侧镶嵌有显示屏，所述控制装置的前侧壁下侧镶嵌有控制按钮。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、该防护性能好的半导体生产加工用液态气储罐，通过防护机构的使用，在液态气储罐发生泄露时，由于隔板将罐体分隔成三个单独的密封腔室，当一个腔室发生泄露时，其它两个腔室内的液态气不会泄露，从而不会使罐体内的液态气流失完，在对罐体进行修补后，半导体的加工还能够继续进行，不会影响半导体的加工效率。

2、该防护性能好的半导体生产加工用液态气储罐，通过监测机构和泄压阀的配合使用，当罐体内的压力过高时，通过压力感应器将信号传递给压力表和控制装置，通过控制装置的设定，控制装置打开泄压阀将罐体内压力过高腔室内的压力进行泄压，保证罐体内每个腔室的压力处于正常值，从而能够防止罐体的压力过高而造成罐体的爆炸，避免财产损失和人员伤亡。

附图说明

图1为本实用新型整体结构示意图；

图2为本实用新型主视剖视图；

图3为本实用新型右视剖视图；

图4为本实用新型俯视剖视图。

图中：100、支撑机构；110、底座；111、安装孔；120、支撑板；200、外壳；300、罐体；310、加注管；311、连通管；320、泄压阀；400、防护机构；410、隔板；411、滑槽；420、感应浮漂；430、电磁阀；500、输送机构；510、泵体；520、吸料管；530、出料管；600、监测机构；610、连接管；620、压力表；630、压力感应器；700、控制装置；710、显示屏；720、控制按钮。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

本实用新型提供一种防护性能好的半导体生产加工用液态气储罐，提高半导体加工效率，保证人身安全，请参阅图1-4，包括支撑机构100、外壳200、罐体300、防护机构400、输送机构500、监测机构600和控制装置700；

请参阅图2，支撑机构100用于支撑安装外壳200、罐体300、防护机构400、输送机构500、监测机构600和控制装置700；

请再次参阅图1-4，外壳200通过螺栓固定连接在支撑机构100的顶部，外壳200用于防护罐体300；

请参阅图2-4，罐体300的顶部中间处焊接有加注管310，加注管310的底部焊接有连通管311，加注管310的顶端贯穿外壳200并延伸至外壳200的顶部，罐体300的顶部焊接有泄压阀320，泄压阀320的顶端贯穿外壳200并延伸至外壳200的顶部，罐体300内嵌在外壳200的内腔，罐体300用于储存液态气，加注管310用于向罐体300内加注液态气，连通管311用于连通罐体300内的三个腔室，泄压阀320用于罐体300内三个腔室的泄压；

请再次参阅图2，防护机构400焊接在罐体300的内腔壁左右两侧，防护机构400用于将罐体300分隔成三个腔室；

请参阅图4，输送机构500通过螺栓固定连接在罐体300的内腔底部右侧，输送机构500用于将罐体300内的液态气输送；

请参阅图3，监测机构600固定连接在罐体300的前侧壁上侧中间处，监测机构600用于监测罐体300内部的压力情况；

请参阅图1和图3，控制装置700通过电线与泄压阀320、防护机构400、输送机构500和监测机构600电性连接，控制装置700通过螺栓固定连接在外壳200的前侧壁中间处，控制装置700用于控制泄压阀320、防护机构400、输送机构500和监测机构600的启停。

请再次参阅图2，为了能够稳定的对罐体300进行支撑安装，支撑机构100包括底座110和支撑板120，底座110的顶部四角开有安装孔111，支撑板120焊接在底座110的顶部前后两侧。

请再次参阅图2，为了能够将罐体300分隔进行防护，防护机构400包括隔板410、感应浮漂420和电磁阀430，隔板410的右侧壁中间处竖向开有滑槽411，感应浮漂420滑动连接在滑槽411的内腔，电磁阀430镶嵌在隔板410的顶部中间处。

请再次参阅图4，为了能够将罐体300内的液态气输送出罐体300，输送机构500包括泵体510、吸料管520和出料管530，吸料管520螺接在泵体510的左侧壁，出料管530螺接在泵体510的顶部，出料管530的右端贯穿罐体300和外壳200并延伸至外壳200的外侧。

请再次参阅图3，为了能够实时监测罐体300内部的情况，监测机构600包括连接管610、压力表620和压力感应器630，压力表620螺接在连接管610的顶部前侧，压力感应器630固定连接在罐体300的内腔顶部，且从左至右依次排列。

请再次参阅图1和图3，为了便于控制装置700随时控制泄压阀320、防护机构400、输送机构500和监测机构600，控制装置700的前侧壁上侧镶嵌有显示屏710，控制装置700的前侧壁下侧镶嵌有控制按钮720。

在具体的使用时，本技术领域人员使用加工半导体使用液态气储罐时，通过底座110上的安装孔111将底座110安装到指定的位置，在使用液态气储罐时，通过控制装置700启动泵体510，泵体510通过吸料管520进行吸取液态气，再通过出料管530将液态气输送出罐体300，当罐体300右侧的腔室液态气输送完后，通过右侧隔板410上感应浮漂420的下降，右侧隔板410下侧的电磁阀430自动开启，中间腔室内的液态气流入到右侧的腔室内，依次类推，能够依次的将三个腔室内的液态气进行输送，当罐体300内的压力过高时，通过压力感应器630将信号传递给压力表620和控制装置700，通过控制装置700的设定，控制装置700打开泄压阀320将罐体300内压力过高腔室内的压力进行泄压，保证罐体300内每个腔室的压力处于正常值，在液态气储罐发生泄露时，由于隔板410将罐体300分隔成三个单独的密封腔室，当一个腔室发生泄露时，其它两个腔室内的液态气不会泄露，从而不会使罐体300内的液态气流失完，在对罐体300进行修补后，半导体的加工还能够继续进行。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

虽然在上文中已经参考实施例对本实用新型进行了描述，然而在不脱离本实用新型的范围的情况下，可以对其进行各种改进并且可以用等效物替换其中的部件。尤其是，只要不存在结构冲突，本实用新型所披露的实施例中的各项特征均可通过任意方式相互结合起来使用，在本说明书中未对这些组合的情况进行穷举性的描述仅仅是出于省略篇幅和节约资源的考虑。因此，本实用新型并不局限于文中公开的特定实施例，而是包括落入权利要求的范围内的所有技术方案。