一种半导体石英部件清洗设备的制作方法

技术特征：
1.一种半导体石英部件清洗设备，其特征在于：包括机架(1)、转动安装于机架(1)上且中心带有升降口(9)的摆放台(2)、设置于机架(1)上且位于摆放台(2)一侧的外管壁清洗装置(3)以及升降设置于机架(1)内且位于升降口(9)下方的内管壁清洗装置(4)，所述内管壁清洗装置(4)包括升降台(41)、安装于升降台(41)上的顶喷头(42)和侧喷头(43)，所述顶喷头(42)的出水方向朝向机架(1)上方，所述侧喷头(43)的出水方向朝向机架(1)侧方，且所述侧喷头(43)分布于顶喷头(42)的两侧。2.根据权利要求1所述的一种半导体石英部件清洗设备，其特征在于：所述外管壁清洗装置(3)包括固定于机架(1)上的供水管(31)、安装于供水管(31)上且沿供水管(31)长度方向分布的外喷头(32)，所述外喷头(32)的出水方向朝向摆放台(2)的中心。3.根据权利要求1所述的一种半导体石英部件清洗设备，其特征在于：所述升降台(41)通过升降机构(10)安装于机架(1)上，所述升降机构(10)包括转动安装于机架(1)上且围绕升降台(41)分布的升降螺杆(101)、固定于机架(1)下方且输出轴穿过机架(1)的底板进入机架(1)内的升降电机(102)、固定于升降电机(102)的输出轴上的主动齿轮(103)、转动安装于机架(1)内且围绕主动齿轮(103)分布的从动齿轮(104)，所述升降螺杆(101)的侧壁上设置有升降啮合齿(105)，所述从动齿轮(104)位于升降螺杆(101)和主动齿轮(103)之间并通过齿形啮合将主动齿轮(103)的动力转递至升降螺杆(101)，所述升降台(41)的侧壁上固定有连接耳(411)，所述连接耳(411)套设于升降螺杆(101)上并与升降螺杆(101)形成螺纹配合。4.根据权利要求1所述的一种半导体石英部件清洗设备，其特征在于：所述机架(1)上开设有安装槽(11)，所述摆放台(2)放置于安装槽(11)内，所述机架(1)的侧壁上固定有旋转电机(12)，所述旋转电机(12)的输出轴上固定有旋转蜗杆(13)，所述摆放台(2)的圆周侧壁上设置有旋转啮合齿(21)，所述旋转蜗杆(13)穿过机架(1)的侧壁进入安装槽(11)并与摆放台(2)圆周侧壁上的旋转啮合齿(21)形成啮合。5.根据权利要求1至3中任一所述的一种半导体石英部件清洗设备，其特征在于：所述摆放台(2)上开设有若干围绕摆放台(2)中心的升降口(9)分布的滑移槽(22)，各所述滑移槽(22)的长度方向的延长线交汇于摆放台(2)中心，且滑移槽(22)内安装有定位块(5)。6.根据权利要求5所述的一种半导体石英部件清洗设备，其特征在于：所述摆放台(2)上设置有用于调整定位块(5)在摆放台(2)上位置的调节机构(8)，所述调节机构(8)包括固定于摆放台(2)背对定位块(5)一侧表面且与摆放台(2)之间形成转动腔(811)的扣盖(81)、转动安装于扣盖(81)和摆放台(2)之间的转动腔(811)内的调节盘(82)，所述调节盘(82)上开设有与摆放台(2)相同的升降口(9)以及若干围绕调节盘(82)中心分布的弧形槽(822)，各所述弧形槽(822)之间同时朝向调节盘(82)中心倾斜，所述定位块(5)上固定有导向柱(512)，所述导向柱(512)穿过滑移槽(22)后嵌入弧形槽(822)内，且在扣盖(81)上设置有用于驱使调节盘(82)旋转的调节组件(83)。7.根据权利要求6所述的一种半导体石英部件清洗设备，其特征在于：所述调节组件(83)包括固定于扣盖(81)上且输出轴穿过扣盖(81)后进入转动腔(811)内的调节电机(831)、固定于调节电机(831)的输出轴上的调节齿轮(832)，所述调节盘(82)的圆周侧壁上开设有调节啮合齿(821)，所述调节齿轮(832)与调节盘(82)上的调节啮合齿(821)相互啮合。
8.根据权利要求5所述的一种半导体石英部件清洗设备，其特征在于：所述定位块(5)包括与摆放台(2)形成滑移连接的底块(51)、升降设置于底块(51)上的升块(52)，所述底块(51)上开设有上下贯穿的导向孔(515)，所述升块(52)上固定有升降杆(521)，所述升降杆(521)穿设于导向孔(515)内，且在底块(51)上设置有用于固定升降杆(521)的锁止机构(6)。9.根据权利要求8所述的一种半导体石英部件清洗设备，其特征在于：所述底块(51)朝向摆放台(2)的一侧开设有锁件槽(513)，所述锁止机构(6)包括铰接于底块(51)上且位于锁件槽(513)内的锁止拨片(61)、套设于升降杆(521)上且位于锁止拨片(61)和底块(51)之间的锁止弹簧(62)，所述锁止拨片(61)上开设有锁止孔(611)，所述升降杆(521)穿设于锁止孔(611)内，且所述锁止拨片(61)在锁止弹簧(62)的推动下向下倾斜并使锁止孔(611)的口沿抵紧在升降杆(521)的侧壁上。10.根据权利要求9所述的一种半导体石英部件清洗设备，其特征在于：所述底块(51)背对摆放台(2)中心的一侧开设有调高槽(514)，所述底块(51)上且位于调高槽(514)内设置有用于驱使升块(52)上升的调高机构(7)，所述调高机构(7)包括铰接于底块(51)上且位于调高槽(514)内的调高拨片(71)、套设于升降杆(521)上且两端分别抵触在调高槽(514)内顶壁和调高拨片(71)上的调高弹簧(72)、铰接于底块(51)上且位于调高槽(514)开口处的调高压板(73)，所述调高压板(73)朝向调高槽(514)内延伸形成有抵接部(731)，所述调高拨片(71)上开设有用于供升降杆(521)穿过的调高孔(711)，且所述调高拨片(71)在调高弹簧(72)的推动下抵触在调高压板(73)的抵接部(731)上。

技术总结
本发明涉及半导体加工设备，公开了一种半导体石英部件清洗设备，包括机架、转动安装于机架上且中心带有升降口的摆放台、设置于机架上且位于摆放台一侧的外管壁清洗装置以及升降设置于机架内且位于升降口下方的内管壁清洗装置，所述内管壁清洗装置包括升降台、安装于升降台上的顶喷头和侧喷头，所述顶喷头的出水方向朝向机架上方，所述侧喷头的出水方向朝向机架侧方，且所述侧喷头分布于顶喷头的两侧；本发明顶喷出水的冲洗方式能够让将石英部件上残留的脏污随水流被带走，从而大大提高石英部件的清洗效果，减少水渍的产生。减少水渍的产生。减少水渍的产生。


技术研发人员：王卫良 李士昌 刘超平 林保璋 姜永峰
受保护的技术使用者：盛吉盛精密制造（绍兴）有限公司
技术研发日：2021.09.14
技术公布日：2021/10/23