技术特征:
1.一种裸片分选器工具,其包括:第一输送机;第一通道,其用于从一或多个装载口且经由所述第一输送机接收具有一组裸片的载体;裸片翻转模块,其用于:从所述第一通道接收所述载体,通过改变所述一组裸片的一或多个裸片的定向来操纵所述一或多个裸片,及在操纵所述一或多个裸片之后使所述一或多个裸片返回到所述载体且不改变所述一或多个裸片在所述载体内的位置;第二输送机;及第二通道,其用于:经由所述第二输送机从所述裸片翻转模块接收所述载体,及经由所述第一输送机将所述载体提供到所述一或多个装载口。
技术总结
本发明实施例涉及多翻转半导体裸片分选器工具。一种裸片分选器工具可包含:第一输送机;及第一通道,其用于从一或多个装载口且经由所述第一输送机接收具有一组裸片的载体。所述裸片分选器工具可包含裸片翻转模块,其用于:从所述第一通道接收所述载体;通过改变所述一组裸片的一或多个裸片的定向来操纵所述一或多个裸片;及在操纵所述一或多个裸片之后使所述一或多个裸片返回到所述载体且不改变所述一或多个裸片在所述载体内的位置。所述裸片分选器工具可包含:第二输送机;及第二通道,其用于经由所述第二输送机从所述裸片翻转模块接收所述载体及经由所述第一输送机将所述载体提供到所述一或多个装载口。载体提供到所述一或多个装载口。载体提供到所述一或多个装载口。
技术研发人员:黄志宏 吴政隆 何政霖 朱延安 白峻荣 李瑄
受保护的技术使用者:台湾积体电路制造股份有限公司
技术研发日:2021.01.27
技术公布日:2021/10/7
再多了解一些
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