多翻转半导体裸片分选器工具的制作方法

1.本发明实施例涉及多翻转半导体裸片分选器工具。


背景技术：

2.裸片是其上制造功能电路的半导体材料的小块。通常，通过例如光刻的过程在半导体材料的单个晶片上大批量生产集成电路。将半导体晶片切割(例如切块)成许多件(例如裸片)，每一件含有集成电路的复制。


技术实现要素：

3.根据本发明的实施例，一种裸片分选器工具包括：第一输送机；第一通道，其用于从一或多个装载口且经由所述第一输送机接收具有一组裸片的载体；裸片翻转模块，其用于从所述第一通道接收所述载体、通过改变所述一组裸片的一或多个裸片的定向来操纵所述一或多个裸片及在操纵所述一或多个裸片之后使所述一或多个裸片返回到所述载体且不改变所述一或多个裸片在所述载体内的位置；第二输送机；及第二通道，其用于经由所述第二输送机从所述裸片翻转模块接收所述载体及经由所述第一输送机将所述载体提供到所述一或多个装载口。
4.根据本发明的实施例，一种方法包括：经由裸片分选器工具的第一通道及第一输送机且从一或多个装载口接收具有一组裸片的载体；由所述裸片分选器工具的裸片翻转模块从所述第一通道接收所述载体；由所述裸片翻转模块通过改变所述一组裸片的一或多个裸片的定向来操纵所述一或多个裸片；在操纵所述一或多个裸片之后由所述裸片翻转模块使所述一或多个裸片返回到所述载体且不改变所述一或多个裸片在所述载体内的位置；经由所述裸片分选器工具的第二通道及第二输送机从所述裸片翻转模块接收所述载体；及经由所述第二通道及所述第一输送机将所述载体提供到所述一或多个装载口。
5.根据本发明的实施例，一种裸片分选器工具包括：第一输送机；第一通道，其用于从一或多个装载口且经由所述第一输送机接收具有第一组裸片的第一载体；第二通道，其用于从所述一或多个装载口且经由所述第一输送机接收具有第二组裸片的第二载体；第一裸片翻转模块，其用于从所述第一通道接收所述第一载体、从所述第一载体移除所述第一组裸片的一或多个第一裸片、改变所述一或多个第一裸片的定向及在改变所述一或多个第一裸片的所述定向之后使所述一或多个第一裸片返回到所述第一载体；第二裸片翻转模块，其用于从所述第二通道接收所述第二载体、从所述第二载体移除所述第二组裸片的一或多个第二裸片、改变所述一或多个第二裸片的定向及在改变所述一或多个第二裸片的所述定向之后使所述一或多个第二裸片返回到所述第二载体；第二输送机；及第三通道，其用于经由所述第二输送机从所述第一裸片翻转模块接收所述第一载体且从所述第二裸片翻转模块接收所述第二载体及经由所述第一输送机将所述第一载体及所述第二载体提供到所述一或多个装载口。
附图说明
6.从结合附图阅读的以下详细描述最好理解本发明实施例的方面。应注意，根据行业标准做法，各种构件未按比例绘制。实际上，为使讨论清楚，可任意增大或减小各种构件的尺寸。
7.图1a到图3是本文中所描述的多翻转半导体裸片分选器工具的实例实施方案的图式。
8.图4是多翻转半导体裸片分选器工具的实例组件的图式。
9.图5是用于使用多翻转半导体裸片分选器工具来操纵裸片的实例过程的流程图。
具体实施方式
10.以下揭露提供用于实施所提供主题的不同特征的许多不同实施例或实例。下文将描述组件及布置的特定实例以简化本揭露。当然，这些仅为实例且不意在限制。例如，在以下描述中，使第一构件形成于第二构件上方或第二构件上可包含其中形成直接接触的所述第一构件及所述第二构件的实施例，且还可包含其中额外构件可形成于所述第一构件与所述第二构件之间使得所述第一构件及所述第二构件可不直接接触的实施例。另外，本揭露可在各种实例中重复元件符号及/或字母。此重复是为了简单及清楚且其本身不指示所讨论的各种实施例及/或配置之间的关系。
11.此外，为便于描述，例如“下面”、“下方”、“下”、“上方”、“上”及其类似者的空间相对术语在本文中可用于描述元件或构件与另一元件或构件的关系，如图中所说明。空间相对术语除涵盖图中所描绘的定向之外，还希望涵盖装置在使用或操作中的不同定向。可以其它方式定向设备(旋转90度或以其它定向)且还可因此解释本文中所使用的空间相对描述词。
12.在一些例子中，裸片分选器用于测试及将来自半导体晶片的裸片分成不同质量或其它特性的类别。尽管半导体晶片上的所有裸片希望相同，但情况有时并非如此。需要根据裸片的特性来分选芯片以实现具成本效益、高良率裸片附着或接线生产操作。当前裸片分选器工具接收具有多个裸片的载体(例如舟皿、托盘及/或类似者)，但无法翻转(例如，倒置)相同载体上的一或多个裸片。因此，当前裸片分选器工具将裸片从第一载体翻转到第二空载体。然而，此布置要求操作者准备及装载大量空载体用于裸片分选器工具。当前裸片分选器工具包含将第一载体(例如具有裸片)提供到工具且在从第一载体移除裸片之后从工具移除第一载体的第一通道。当前裸片分选器工具还包含将空第二载体提供到工具且在将裸片提供到第二载体之后从工具移除第二载体的第二通道。第一通道及第二通道的布置(例如单进及单出设计)防止当前裸片分选器工具连续操作且引起低效率。
13.根据本文中所描述的一些实施方案，多翻转半导体裸片分选器工具可操纵相同载体上的裸片，且可包含用于接收具有多个裸片的载体的多个通道。例如，多翻转半导体裸片分选器工具可包含第一输送机及用于从一或多个装载口且经由第一输送机接收具有一组裸片的载体的第一通道。多翻转半导体裸片分选器工具可包含裸片翻转模块以从第一通道接收载体、通过改变裸片组的一或多个裸片的定向来操纵一或多个裸片及在操纵一或多个裸片之后使一或多个裸片返回到载体且不改变一或多个裸片在载体内的位置。多翻转半导体裸片分选器工具可包含第二输送机及用于经由第二输送机从裸片翻转模块接收载体且
经由第一输送机将载体提供到一或多个装载口的第二通道。
14.以此方式，多翻转半导体裸片分选器工具可操纵相同载体上的裸片。在一些实施方案中，多翻转半导体裸片分选器工具可包含用于接收具有多个裸片的载体的多个通道(例如两个或更多个通道)。例如，多翻转半导体裸片分选器工具可包含第一裸片翻转模块及第二裸片翻转模块。第一裸片翻转模块可从第一载体翻转裸片且可使经翻转裸片返回到第一载体。独立于第一裸片翻转模块及/或基本上与第一裸片翻转模块同时，第二裸片翻转模块可从第二载体翻转裸片且可使经翻转裸片返回到第二载体。第一裸片翻转模块及第二裸片翻转模块可执行裸片拾取、翻转及放置功能。多翻转半导体裸片分选器可包含将载体连续转移到裸片翻转模块的多个装载口。因此，多翻转半导体裸片分选器可防止由人为处置(例如翻转)裸片引起的裸片损坏，可提高裸片操纵功能的处理量及/或效率，及/或其类似者。
15.图1a及图1b是本文中所描述的多翻转半导体裸片分选器工具的图式100。如图1a中所展示，多个装载口105
‑
1、105
‑
2及105
‑
3(统称为若干装载口105，或以单数形式统称为装载口105)可与多翻转裸片分选器工具110及多个裸片载体115相关联。多翻转裸片分选器工具110可包含第一输送机120
‑
1、第二输送机120
‑
2、第一通道125
‑
1、第二通道125
‑
2、第三通道125
‑
3、第一裸片翻转模块130
‑
1、第二裸片翻转模块130
‑
2及光学系统135。下文描述将描述包含两个输送机、三个通道、两个裸片翻转模块及单个光学系统且与三个装载口相互作用的多翻转裸片分选器工具的实施方案。实际上，多翻转裸片分选器工具可包含额外或更少输送机、额外或更少通道、额外或更少裸片翻转模块及/或额外光学系统及/或可与额外或更少装载口相互作用。
16.装载口105包含存储一或多个裸片盒的外壳。每一裸片盒可包含存储多个裸片载体115的外壳。装载口105还可包含将裸片载体115提供到第一输送机120
‑
1的机构(例如输送机、机器人及/或其类似者)。在一些实施方案中，装载口105包含用于将裸片盒运输到第一输送机120
‑
1的高度以允许机构将裸片载体115提供到第一输送机120
‑
1的升降机。
17.裸片载体115包含托盘或承载多个裸片的其它支撑结构。例如，裸片载体115的托盘可经定大小及塑形以承载两个或更多个裸片，其取决于裸片的大小及/或托盘的大小。下文将结合图3描述裸片载体115的进一步细节。
18.第一输送机120
‑
1包含将裸片载体115从位置移动到另一位置的机械处置装置(例如由一或多个电动机控制的输送带及处置托盘)。例如，第一输送机120
‑
1的处置托盘可从第一装载口105
‑
1、第二装载口105
‑
2或第三装载口105
‑
3接收裸片载体115，且第一输送机120
‑
1的输送带可使裸片载体115与第一通道125
‑
1或第三通道125
‑
3对准。第一通道125
‑
1或第三通道125
‑
3可从第一输送机120
‑
1的处置托盘接收裸片载体115，且可将裸片载体115提供到第一裸片翻转模块130
‑
1(例如，与第一通道125
‑
1相关联)或第二裸片翻转模块130
‑
2(例如，与第三通道125
‑
3相关联)。如图1a中进一步所展示，第一输送机120
‑
1可包含垂直于第一通道125
‑
1、第二通道125
‑
2及第三通道125
‑
3的方向的运动范围。
19.第二输送机120
‑
2包含上文针对第一输送机120
‑
1所描述的特征。此外，第二输送机120
‑
2的处置托盘可从第一裸片翻转模块130
‑
1或第二裸片翻转模块130
‑
2接收经处理裸片载体115(例如，具有经操纵裸片)，且第二输送机120
‑
2的输送带可使经处理裸片载体115与第二通道125
‑
2对准。第二通道125
‑
2可从第二输送机120
‑
2的处置托盘接收经处理裸片
载体115，且可将经处理裸片载体115提供到第一输送机120
‑
1。第一输送机120
‑
1可将经处理裸片载体115提供到第一装载口105
‑
1、第二装载口105
‑
2或第三装载口105
‑
3。例如，第一输送机120
‑
1的处置托盘可从第二通道125
‑
2接收经处理裸片载体115，且第一输送机120
‑
1的输送带可使经处理裸片载体115与第一装载口105
‑
1、第二装载口105
‑
2或第三装载口105
‑
3对准用于接收。
20.第一通道125
‑
1、第二通道125
‑
2及第三通道125
‑
3(统称为若干通道125或以单数形式统称为通道125)包含用于运输载体115的机械处置装置(例如由电动机控制的输送带)。第一通道125
‑
1及第三通道125
‑
3可将载体115从装载口105(例如经由第一输送机120
‑
1)分别运输到第一裸片翻转模块130
‑
1及第二裸片翻转模块130
‑
2。第二通道125
‑
2可将载体115从第一裸片翻转模块130
‑
1及/或第二裸片翻转模块130
‑
2(例如经由第二输送机120
‑
2)运输到装载口105(例如经由第一输送机120
‑
1)。尽管第一通道125
‑
1及第三通道125
‑
3经展示为将载体115运输到第一裸片翻转模块130
‑
1及第二裸片翻转模块130
‑
2，但在一些实施方案中，第一通道125
‑
1及第二通道125
‑
2或第二通道125
‑
2及第三通道125
‑
3可将载体115运输到第一裸片翻转模块130
‑
1及第二裸片翻转模块130
‑
2。在此布置中，第一通道125
‑
1或第三通道125
‑
3可将载体115运输到装载口105(例如，从第一裸片翻转模块130
‑
1及/或第二裸片翻转模块130
‑
2且经由第二输送机120
‑
2及第一输送机120
‑
1)。
21.第一裸片翻转模块130
‑
1及第二裸片翻转模块130
‑
2(统称为若干裸片翻转模块130或以单数形式统称为裸片翻转模块130)接收载体115且操纵提供于载体115上的裸片。例如，裸片翻转模块130可从载体115选择或拾取裸片，可翻转裸片，可将裸片放回到载体115中，及/或其类似者。在一些实施方案中，裸片翻转模块130通过改变裸片载体115中的一或多个裸片的定向来操纵一或多个裸片，且在操纵一或多个裸片之后使一或多个裸片返回到裸片载体115且不改变一或多个裸片在裸片载体115内的位置。换句话说，裸片翻转模块130使一或多个裸片返回到相同于在被操纵之前一或多个裸片在裸片载体115中占据的位置的位置。在一些实施方案中，裸片翻转模块130可同时或基本上同时操纵两个或更多个裸片。实际上，第一裸片翻转模块130
‑
1及第二裸片翻转模块130
‑
2可独立及/或基本上同时操纵提供于单独载体115中的裸片。多翻转裸片分选器工具110可防止由人为处置(例如翻转)裸片引起的裸片损坏，可提高裸片操纵功能的处理量及/或效率，及/或其类似者。下文将结合图1b及图2描述裸片翻转模块130的进一步细节。
22.光学系统135包含包含垂直于第一通道125
‑
1、第二通道125
‑
2及第三通道125
‑
3的方向的运动范围的图像捕获设备(例如摄像机)。例如，摄像机可提供于位于通道125上方的臂上且可连接到沿臂且在通道125中的每一者上方移动摄像机的机构。在一些实施方案中，光学系统135将摄像机定位于第一通道125
‑
1中的裸片载体115上方，使用摄像机捕获裸片载体115的图像，且基于所捕获的图像识别裸片载体115中的裸片(例如，在将裸片载体115提供到第一裸片翻转模块130
‑
1之前或其之后)。光学系统135可将摄像机定位于第三通道125
‑
3中的裸片载体115上方，可使用摄像机捕获裸片载体115的图像，且可基于所捕获的图像识别裸片载体115中的裸片(例如，在将裸片载体115提供到第二裸片翻转模块130
‑
2之前或其之后)。光学系统135可将摄像机定位于第二通道125
‑
2中的裸片载体115上方，可使用摄像机捕获裸片载体115的图像，且可基于所捕获的图像识别裸片载体115中的裸片(例如，在经由第一输送机120
‑
1将裸片载体115提供到装载口105之前)。在一些实施方案中，光学
系统135可包含多个摄像机，例如每通道125一或多个摄像机。
23.图1b提供裸片翻转模块130(例如第一裸片翻转模块130
‑
1或第二裸片翻转模块130
‑
2)的分解图。如所展示，裸片翻转模块130可包含两个第一裸片翻转头140
‑
1及两个第二裸片翻转头140
‑
2。在一些实施方案中，裸片翻转模块130可包含两个第一裸片翻转头140
‑
1及两个第二裸片翻转头140
‑
2，因为裸片载体115包含两行裸片，其中第一组的第一裸片翻转头140
‑
1及第二裸片翻转头140
‑
2操纵第一列裸片载体115中的裸片且第二组的第一裸片翻转头140
‑
1及第二裸片翻转头140
‑
2操纵第二列裸片载体115中的裸片。在一些实施方案中，第一裸片翻转头140
‑
1及第二裸片翻转头140
‑
2的组可同时或基本上同时操纵裸片载体115的裸片，可独立操纵裸片载体115的裸片，及/或其类似者。关于图1b，裸片翻转模块130经展示为包含两个第一裸片翻转头140
‑
1及两个第二裸片翻转头140
‑
2。然而，实际上，裸片翻转模块130可包含小于或等于包含于裸片载体115中的裸片行的数量的第一裸片翻转头及/或第二裸片翻转头的数量，且因此可包含比图1b中所展示更多或更少的第一裸片翻转头及/或第二裸片翻转头。
24.第一裸片翻转头140
‑
1包含能够从裸片载体115中的位置拾取裸片、翻转裸片及将经翻转裸片提供到第二裸片翻转头140
‑
2的机构(例如机械臂)。如图1b中进一步所展示，第一裸片翻转头140
‑
1可包含相对于通道105及/或裸片载体115的水平运动范围、垂直运动范围及360度运动范围。
25.第二裸片翻转头140
‑
2包含能够从第一裸片翻转头140
‑
1接收经翻转裸片及使经翻转裸片返回到相同于在由第一裸片翻转头140
‑
1拾取之前裸片占据的位置的裸片载体115中的位置的机构(例如机械臂)。如图1b中进一步所展示，第二裸片翻转头140
‑
2可包含相对于通道105及/或裸片载体115的水平运动范围及垂直运动范围。在操作中，第一裸片翻转头140
‑
1可从裸片载体115中的位置选择裸片，可翻转裸片，且可将经翻转裸片提供到第二裸片翻转头140
‑
2。第二裸片翻转头140
‑
2可使经翻转裸片返回到裸片载体115中的位置。可对裸片载体115中的一或多个其它裸片重复此过程(例如，直到已操纵所有裸片，直到已操纵适当裸片子集，及/或其类似者)。
26.如上文所指示，图1a及图1b仅供为一或多个实例。其它实例可不同于关于图1a及图1b所描述的实例。
27.图2是本文中所描述的多翻转半导体裸片分选器工具的代表图200。如图2中所展示，第一装载口105
‑
1、第二装载口105
‑
2及/或第三装载口105
‑
3可将第一裸片载体115及第二裸片载体115提供到第一输送机120
‑
1。第一输送机120
‑
1可将第一裸片载体115运输到第一通道125
‑
1，且可将第二裸片载体115运输到第三通道125
‑
3。第一通道125
‑
1可将第一裸片载体115运输到第一裸片翻转模块130
‑
1，且第三通道125
‑
3可将第二裸片载体115运输到第二裸片翻转模块130
‑
2。第一裸片翻转模块130
‑
1可拾取、翻转及放置裸片于第一裸片载体115上，如由元件符号210所指示，且第二裸片翻转模块130
‑
2可拾取、翻转及放置裸片于第二裸片载体115上，如由元件符号210进一步所指示。
28.第一裸片载体115及第二裸片载体115的路径由图2中的箭头及元件符号220指示。例如，第一裸片翻转模块130
‑
1可引起第一裸片载体115经由第一通道125
‑
1提供到第二输送机120
‑
2，且第二裸片翻转模块130
‑
2可引起第二裸片载体115经由第三通道125
‑
3提供到第二输送机120
‑
2。第二输送机120
‑
2可将第一裸片载体115及第二裸片载体115(例如连续
地)提供到第二通道125
‑
2。第二通道125
‑
2可将第一裸片载体115及第二裸片载体115提供到第一输送机120
‑
1，且第一输送机120
‑
1可将第一裸片载体115及第二裸片载体115提供到第一装载口105
‑
1、第二装载口105
‑
2及/或第三装载口105
‑
3。
29.如上文所指示，图2仅供为一或多个实例。其它实例可不同于关于图2所描述的实例。
30.图3是与本文中所描述的多翻转半导体裸片分选器工具一起利用的裸片载体115的图式300。如图3中所展示，裸片载体115可包含用于支撑多个裸片(例如经翻转裸片320及/或未经翻转裸片330)的支撑结构310。支撑结构310可包含具有经定大小及塑形以接收及保持裸片的嵌件(例如，表示裸片载体115中的位置)的托盘。例如，支撑结构310可呈矩形以在支撑结构310中支撑裸片行。支撑结构310可由足够刚性以支撑裸片但不损坏裸片的材料(例如塑料、钢及/或其类似者)制成。支撑结构310中的未经翻转裸片330可在支撑结构310中翻转以提供经翻转裸片320。
31.关于图3，裸片载体115经展示为包含两行四个裸片。然而，实际上，裸片载体115可包含额外或更少行，每行具有比图3中所展示更多或更少的裸片数量。此外，裸片载体115经展示为具有矩形形状。在一些实施方案中，裸片载体115可具有不同形状。
32.如上文所指示，图3仅供为一或多个实例。其它实例可不同于关于图3所描述的实例。
33.图4是装置400的实例组件的图式。装置400可对应于多翻转半导体裸片分选器工具。在一些实施方案中，多翻转半导体裸片分选器工具可包含一或多个装置400及/或装置400的一或多个组件。如图4中所展示，装置400可包含总线410、处理器420、存储器430、存储组件440、输入组件450、输出组件460及通信接口470。
34.总线410包含允许装置400的组件之间的通信的组件。处理器420以硬件、固件或硬件及软件的组合实施。处理器420是中央处理单元(cpu)、图形处理单元(gpu)、加速处理单元(apu)、微处理器、微控制器、数字信号处理器(dsp)、现场可编程门阵列(fpga)、专用集成电路(asic)或另一类型的处理组件。在一些实施方案中，处理器420包含能够经编程以执行功能的一或多个处理器。存储器430包含随机存取存储器(ram)、只读存储器(rom)及/或存储信息及/或指令供处理器420使用的另一类型的动态或静态存储装置(例如闪存、磁性存储器及/或光学存储器)。
35.存储组件440存储与装置400的操作及使用有关的信息及/或软件。例如，存储组件440可包含硬盘(例如磁盘、光盘、磁光盘及/或固态硬盘)、光盘(cd)、数字多功能光盘(dvd)、软盘、盒式磁带、磁带及/或另一类型的非暂时性计算机可读媒体及对应驱动。
36.输入组件450包含允许装置400(例如)经由用户输入接收信息的组件(例如触控屏幕显示器、键盘、键区、鼠标、按钮、开关及/或麦克风)。另外或替代地，输入组件450可包含用于感测信息的传感器(例如全球定位系统(gps)组件、加速度计、陀螺仪及/或致动器)。输出组件460包含提供来自装置400的输出信息的组件(例如显示器、扬声器及/或一或多个led)。
37.通信接口470包含使装置400能够(例如)经由有线连接、无线连接或有线及无线连接的组合与其它装置通信的一类收发器组件(例如收发器及/或单独接收器及发射器)。通信接口470可允许装置400从另一装置接收信息及/或将信息提供到另一装置。例如，通信接
口470可包含以太网络接口、光学接口、同轴接口、红外线接口、rf接口、通用串行总线(usb)接口、无线区域接口、蜂窝式网络接口及/或其类似者。
38.装置400可执行本文中所描述的一或多个过程。装置400可基于处理器420执行由非暂时性计算机可读媒体(例如存储器430及/或存储组件440)存储的软件指令来执行此类过程。计算机可读媒体在本文中界定为非暂时性存储器装置。存储器装置包含单个物理存储装置内的存储器空间或跨多个物理存储装置散布的存储器空间。
39.软件指令可经由通信接口470从另一计算机可读媒体或另一装置读取到存储器430及/或存储组件440中。存储于存储器430及/或存储组件440中的软件指令可在被执行时引起处理器420执行本文中所描述的一或多个过程。另外或替代地，固线式电路系统可用于替代软件指令或与软件指令组合使用以执行本文中所描述的一或多个过程。因此，本文中所描述的实施方案不受限于硬件电路系统及软件的任何特定组合。
40.图4中所展示的组件的数目及布置仅供例示。实际上，装置400可包含相较于图4中所展示的组件的额外组件、更少组件、不同组件或不同布置组件。另外或替代地，装置400的一组组件(例如一或多个组件)可执行描述为由装置400的另一组组件执行的一或多个功能。
41.图5是用于经由拾取、翻转及/或放置来操纵裸片的实例过程500的流程图。在一些实施方案中，图5的一或多个过程框可由裸片分选器工具(例如图1a到图3的多翻转半导体裸片分选器工具)执行。在一些实施方案中，图5的一或多个过程框可由与裸片分选器工具分离或包含裸片分选器工具的另一装置或装置群组执行。另外或替代地，图5的一或多个过程框可由装置400的一或多个组件(例如处理器420、存储器430、存储组件440、输入组件450、输出组件460、通信接口470及/或其类似者)执行。
42.如图5中所展示，过程500可包含经由裸片分选器工具的第一通道及第一输送机且从一或多个装载口接收具有一组裸片的载体(框510)。例如，裸片分选器工具可经由第一通道及第一输送机且从一或多个装载口接收具有一组裸片的载体，如上文所描述。
43.如图5中进一步所展示，过程500可包含由裸片分选器工具的裸片翻转模块从第一通道接收载体(框520)。例如，裸片分选器工具可通过裸片翻转模块从第一通道接收载体，如上文所描述。
44.如图5中进一步所展示，过程500可包含由裸片翻转模块通过改变裸片组的一或多个裸片的定向来操纵一或多个裸片(框530)。例如，裸片分选器工具可通过裸片翻转模块通过改变裸片组的一或多个裸片的定向来操纵一或多个裸片，如上文所描述。
45.如图5中进一步所展示，过程500可包含在操纵一或多个裸片之后由裸片翻转模块使一或多个裸片返回到载体且不改变一或多个裸片在载体内的位置(框540)。例如，裸片分选器工具可在操纵一或多个裸片之后通过裸片翻转模块使一或多个裸片返回到载体且不改变一或多个裸片在载体内的位置，如上文所描述。
46.如图5中进一步所展示，过程500可包含经由裸片分选器工具的第二通道及第二输送机从裸片翻转模块接收载体(框550)。例如，裸片分选器工具可经由第二通道及第二输送机从裸片翻转模块接收载体，如上文所描述。
47.如图5中进一步所展示，过程500可包含经由第二通道及第一输送机将载体提供到一或多个装载口(框560)。例如，裸片分选器工具可经由第二通道及第一输送机将载体提供
到一或多个装载口，如上文所描述。
48.在第一实施方案中，通过改变裸片组的一或多个裸片的定向来操纵一或多个裸片包含由裸片翻转模块的一或多个第一裸片翻转头拾取及翻转来自载体的一或多个裸片。
49.在单独或与第一实施方案组合的第二实施方案中，使一或多个裸片返回到载体包含由裸片翻转模块的一或多个第二裸片翻转头从一或多个第一裸片翻转头接收一或多个裸片及由一或多个第二裸片翻转头使一或多个裸片返回到载体。
50.在单独或与第一实施方案及第二实施方案中的一或多者组合的第三实施方案中，过程500包含由裸片分选器工具的光学系统捕获载体或裸片组的图像及基于图像识别载体或裸片组。
51.在单独或与第一实施方案到第三实施方案中的一或多者组合的第四实施方案中，经由裸片分选器工具的第一通道及第一输送机且从一或多个装载口接收具有裸片组的载体包含从提供于一或多个装载口中的箱盒接收具有裸片组的载体，其中箱盒包含具有裸片组的多个载体。
52.在单独或与第一实施方案到第四实施方案中的一或多者组合的第五实施方案中，一或多个裸片包含多个裸片，且操纵一或多个裸片包含同时操纵多个裸片且不改变多个裸片在载体内的位置。
53.在单独或与第一实施方案到第五实施方案中的一或多者组合的第六实施方案中，从第一通道接收载体包含使载体从第一输送机通过第一通道运输到裸片翻转模块。
54.在单独或与第一实施方案到第六实施方案中的一或多者组合的第七实施方案中，通过改变裸片组的一或多个裸片的定向来操纵一或多个裸片包含从载体移除一或多个裸片及翻转一或多个裸片。
55.尽管图5展示过程500的实例框，但在一些实施方案中，过程500可包含相较于图5中所描绘的块的额外框、更少框、不同框或不同布置框。另外或替代地，可并行执行过程500的两个或更多个框。
56.以此方式，多翻转半导体裸片分选器工具可操纵相同裸片载体115上的裸片，且可包含用于接收具有多个裸片的载体115的多个通道125。例如，多翻转半导体裸片分选器工具可包含第一裸片翻转模块130
‑
1及第二裸片翻转模块130
‑
2。第一裸片翻转模块130
‑
1可从第一裸片载体115翻转裸片且可使经翻转裸片返回到第一裸片载体115。第二裸片翻转模块130
‑
2可独立及/或基本上与第一裸片翻转模块130
‑
2同时地从第二裸片载体115翻转裸片且使经翻转裸片返回到第二裸片载体115。第一裸片翻转模块130
‑
1及第二裸片翻转模块130
‑
2可执行裸片拾取、翻转及放置功能。多翻转半导体裸片分选器可包含将载体115连续转移到裸片翻转模块130
‑
1、130
‑
2的多个装载口105。因此，多翻转半导体裸片分选器可防止由人为处置(例如翻转)裸片引起的裸片损坏，可提高裸片操纵功能的处理量及/或效率，及/或其类似者。
57.如上文所更详细描述，本文中所描述的一些实施方案提供一种裸片分选器工具。所述裸片分选器工具可包含第一输送机及用于从一或多个装载口且经由所述第一输送机接收具有一组裸片的载体的第一通道。所述裸片分选器工具可包含裸片翻转模块以从所述第一通道接收所述载体、通过改变所述一组裸片的一或多个裸片的定向来操纵所述一或多个裸片及在操纵所述一或多个裸片之后使所述一或多个裸片返回到所述载体且不改变所
述一或多个裸片在所述载体内的位置。所述裸片分选器工具可包含第二输送机及用于经由所述第二输送机从所述裸片翻转模块接收所述载体及经由所述第一输送机将所述载体提供到所述一或多个装载口的第二通道。
58.如上文所更详细描述，本文中所描述的一些实施方案提供一种由裸片分选器工具执行的方法。所述方法可包含：经由裸片分选器工具的第一通道及第一输送机且从一或多个装载口接收具有一组裸片的载体；及由所述裸片分选器工具的裸片翻转模块从所述第一通道接收所述载体。所述方法可包含：由所述裸片翻转模块通过改变所述一组裸片的一或多个裸片的定向来操纵所述一或多个裸片；及在操纵所述一或多个裸片之后由所述裸片翻转模块使所述一或多个裸片返回到所述载体且不改变所述一或多个裸片在所述载体内的位置。所述方法可包含：经由所述裸片分选器工具的第二通道及第二输送机从所述裸片翻转模块接收所述载体；及经由所述第二通道及所述第一输送机将所述载体提供到所述一或多个装载口。
59.如上文所更详细描述，本文中所描述的一些实施方案提供一种裸片分选器工具。所述裸片分选器工具可包含：第一输送机；及第一通道，其用于从一或多个装载口且经由所述第一输送机接收具有第一组裸片的第一载体。所述裸片分选器工具可包含：第二通道，其用于从所述一或多个装载口且经由所述第一输送机接收具有第二组裸片的第二载体；及第一裸片翻转模块，其用于从所述第一通道接收所述第一载体、从所述第一载体移除所述第一组裸片的一或多个第一裸片、改变所述一或多个第一裸片的定向及在改变所述一或多个第一裸片的所述定向之后使所述一或多个第一裸片返回到所述第一载体。所述裸片分选器工具可包含第二裸片翻转模块，其用于从所述第二载体移除所述第二组裸片的一或多个第二裸片、改变所述一或多个第二裸片的定向及在改变所述一或多个第二裸片的所述定向之后使所述一或多个第二裸片返回到所述第二载体。所述裸片分选器工具可包含：第二输送机；及第三通道，其用于经由所述第二输送机从所述第一裸片翻转模块接收所述第一载体且从所述第二裸片翻转模块接收所述第二载体及经由所述第一输送机将所述第一载体及所述第二载体提供到所述一或多个装载口。
60.上文已概述若干实施例的特征，使得所属领域的技术人员可较好理解本揭露的方面。所属领域的技术人员应了解，其可易于将本揭露用作用于设计或修改用于实施相同目的及/或实现本文中所引入的实施例的相同优点的其它过程及结构的基础。所属领域的技术人员还应意识到，此类等效构造不应背离本揭露的精神及范围，且所属领域的技术人员可在不背离本揭露的精神及范围的情况下对本文作出各种改变、替代及更改。
61.符号说明
62.100:图式
63.105:装载口
64.105
‑
1:装载口
65.105
‑
2:装载口
66.105
‑
3:装载口
67.110:多翻转裸片分选器工具
68.115:裸片载体
69.120
‑
1:第一输送机
70.120
‑
2:第二输送机
71.125:通道
72.125
‑
1:第一通道
73.125
‑
2:第二通道
74.125
‑
3:第三通道
75.130:裸片翻转模块
76.130
‑
1:第一裸片翻转模块
77.130
‑
2:第二裸片翻转模块
78.135:光学系统
79.140
‑
1:第一裸片翻转头
80.140
‑
2:第二裸片翻转头
81.200:代表图
82.210:拾取、翻转及放置裸片
83.220:裸片载体的路径
84.300:图式
85.310:支撑结构
86.320:经翻转裸片
87.330:未经翻转裸片
88.400:装置
89.410:总线
90.420:处理器
91.430:存储器
92.440:存储组件
93.450:输入组件
94.460:输出组件
95.470:通信接口
96.500:过程
97.510:框
98.520:框
99.530:框
100.540:框
101.550:框
102.560:框。