光功能器件的制作方法

1.本发明涉及发挥光调制等光功能的光功能器件，特别是涉及在壳体的一个面上配置输入光纤和输出光纤这两者的光功能器件。


背景技术：

2.在高速/大容量光纤通信系统中，多使用装入有进行光调制的波导型光元件(以下，称为光调制元件)的光发送装置。其中，将具有电光效应的linbo3(以下，也称为ln)使用于基板的光调制元件与使用了磷化铟(inp)、硅(si)或砷化镓(gaas)等半导体系材料的调制元件相比，能实现光的损失少且宽带的光调制特性，因此广泛使用于高速/大容量光纤通信系统。
3.光纤通信系统中的调制方式受到近年来的传输容量的增大化的潮流的影响而qpsk(quadrature phase shift keying，四相相移键控)、dp
‑
qpsk(dual polarization
‑
quadrature phase shift keying，双极化四相相移键控)等多级调制、在多级调制中采用了偏振复用的传输形式成为主流。
4.近年来的互联网服务的普及加速导致通信信息量的进一步的增大，关于光通信系统的继续的高速大容量化的研讨如今也不断推进。在超过400gbps那样的光通信系统中，调制信号的符号率会达到64gbaud、96gbaud、或其以上，因此由于经由dsp、调制器驱动器、调制器间的高频接口的连接而会产生调制信号较大地劣化这样的问题。另一方面，对于装置的小型化的要求不变，除了光调制元件其本身的小型化之外，将电子电路和光调制元件收容于一个壳体并作为光调制器件进行集成化等的相适也不断进展。
5.例如，提出了将光调制元件和对该光调制元件进行驱动的高频驱动器放大器集成地收容于一个壳体内，将光输入输出部并列配置于该壳体的一个面，由此减少高频连接引起的调制信号的劣化并实现了小型、集成化的光调制器件的方案。
6.作为这样的光调制器件，以往，已知有将输入光向壳体内导入的输入光纤和将来自收容于壳体内的光调制元件的输出光向该壳体的外部引导的输出光纤分别经由独立的机构构件(保持构件)的组而并列配置于该壳体的一个面的两个位置的结构(参照专利文献1)。
7.在专利文献1记载的光调制模块中，在收容光调制元件的壳体的一个面上配置的输入光纤及输出光纤与该光调制元件之间分别通过经由透镜的空间光学系统而光学耦合。并且，在该光调制模块中，对壳体内部的结构要素的配置想办法而有效地确保在壳体内部的空间中传播的光的路径，由此实现内置光调制元件和电子电路的壳体的小型化。
8.然而，在该光调制模块中，输入光纤和输出光纤配置于壳体的一个面，另一方面，在壳体内部使用的光调制元件在构成该光调制元件的俯视观察矩形的基板的不同的两个端面具有光输入部及光输出部，因此例如从输入光纤至上述光输入部的输入光路径的长度比从上述光输出部至输出光纤的光路径变长。因此，减少从输入光纤向光输入部的光的耦合损失的情况稍稍变得困难。在更长的光路径部分，由于温度变动等引起的壳体的变形等，
也会产生由于光的传播轴从最佳位置倾斜或偏离而容易产生损失变动这样的问题。
9.作为减少上述耦合损失的对策，可考虑在构成光调制元件的基板的一个端面上设置该光调制元件的光输入部和光输出部这双方的结构。然而，在该情况下，在设置有上述光输入部及光输出部的上述基板的一个端面与设置于壳体的一个面上的输入光纤及输出光纤之间的狭窄的空间之中混杂有来自输入光纤的输入光的空间传播路径和向输出光纤的输出光的空间传播路径。其结果是，在上述结构中，输入光与输出光之间的串扰恶化。
10.作为与上述的现有技术关联的结构，专利文献2记载了配置于壳体的一个面上的两个输出光纤和配置在与该两个光纤相对的位置上的两个光调制元件的各自的光输出端光学耦合的结构。在专利文献2记载的光发送装置中，使用两个光束偏移棱镜使从上述两个光调制元件的光输出端分别射出的输出光的光轴相互向不同的方向平移，由此扩大该光轴间的距离。由此，通过提高两个输出光的空间上的分离度而抑制输出光间的串扰的恶化，并且扩大在壳体的一个面上配置的两个光纤的相互的距离而提高上述光纤的调整、向壳体的固定的作业性。
11.然而，专利文献2记载的结构是在壳体的一个面上配置两个输出光纤而来自两个光调制元件的两个输出光朝向该一个面的相同方向传播的结构，在如上所述输入光纤与输出光纤配置于壳体的一个面的结构，即，输入光与输出光能够相对于该一个面相互向反方向传播的结构中，并未给出关于输入光对输出光纤的串扰的改善对策。输入光未产生调制元件中的光损失、调制损失，因此与输出光相比，光的强度高出10db以上，无法忽视其影响。
12.专利文献1：日本特开2014
‑
167546号公报
13.专利文献2：日本特开2015
‑
172 630号公报


技术实现要素：

14.发明要解决的课题
15.从上述背景出发，在收容光波导元件的壳体的一个面上配置输入光纤及输出光纤这双方的光功能器件中，要求将来自输入光纤的输入光与向输出光纤耦合的输出光之间的串扰确保得低而实现良好的光学特性。
16.用于解决课题的方案
17.本发明的一个方式具备：光功能元件；壳体，收容所述光功能元件；输入光纤，将向所述光功能元件输入的输入光向所述壳体内引导；及输出光纤，将由来自所述光功能元件的出射光构成的输出光向所述壳体外引导，其中，所述输入光纤和所述输出光纤都固定于所述壳体的一个面上，所述光功能器件具备：第一反射面，将从所述输入光纤射出的输入光向所述出射光的光路径所在的方向反射；第二反射面，将由所述第一反射面反射的所述输入光朝向所述光功能元件反射；及第三反射面，将来自所述光功能元件的所述出射光向从所述输入光纤的光轴离开的方向反射，由所述第一反射面反射之后透过所述第二反射面的泄漏光的光轴或者将该光轴在该泄漏光能够传播的光传播介质内延长而得到的延长线不包含与由所述第三反射面反射的所述出射光的光轴一致的部分。
18.根据本发明的另一个方式，其中，在由所述第一反射面反射之后透过所述第二反射面的泄漏光的光轴上的所述第二反射面与所述第三反射面之间的位置，设置有遮挡所述泄漏光的遮挡体。
19.根据本发明的另一个方式，其中，由所述第一反射面反射之后透过所述第二反射面的泄漏光的光轴或者该光轴的所述延长线与由所述第三反射面反射的所述出射光的光轴以比所述泄漏光的光束直径的值大的值的距离分隔。
20.根据本发明的另一个方式，其中，由所述第一反射面反射之后透过所述第二反射面的泄漏光的光轴与由所述第三反射面反射的所述出射光的光轴相互不平行。
21.根据本发明的另一个方式，其中，所述第三反射面不配置在由所述第一反射面反射之后透过所述第二反射面的泄漏光的光轴的所述延长线上。
22.根据本发明的另一个方式，其中，所述光功能元件由形成在基板上的光波导构成，接受所述输入光的输入波导的端部与射出所述出射光的输出波导的端部配置在所述基板的同一端面上。
23.发明效果
24.根据本发明，在收容光波导元件的壳体的一个面上配置输入光纤及输出光纤这双方的光功能器件中，能够将来自输入光纤的输入光与向输出光纤耦合的输出光之间的串扰保持得低而实现良好的光学特性。
附图说明
25.图1是表示本发明的第一实施方式的光调制器件的结构的图。
26.图2是图1所示的光调制器件的a部的局部详情图。
27.图3是第一实施方式的第一变形例的光调制器件的局部详情图。
28.图4是第一实施方式的第二变形例的光调制器件的局部详情图。
29.图5是第一实施方式的第三变形例的光调制器件的局部详情图。
30.图6是第一实施方式的第四变形例的光调制器件的局部详情图。
31.图7是表示本发明的第二实施方式的光调制器件的结构的图。
32.图8是图7所示的光调制器件的b部的局部详情图。
33.图9是图8所示的b部的ix
‑
ix剖面向视图。
34.图10是第二实施方式的第一变形例的光调制器件的局部详情图。
35.图11是第二实施方式的第二变形例的光调制器件的局部详情图。
36.标号说明
37.100、100
‑
1、100
‑
2、100
‑
3、100
‑
4、500、500
‑
1、500
‑2…
光调制器件，102
…
光调制元件，104
…
壳体，105
…
面，106
…
输入光纤，107
…
底面，108
…
输出光纤，110
…
驱动电路，112
…
电路基板，114、120、122
…
引脚，116、118
…
中继基板，124、126
…
终端器，128
…
光入射出射面，130
…
微型透镜阵列，132
…
偏振波合成器，134、134
‑
1、134
‑
2、134
‑
3、134
‑
4、136、534、536、536
‑
1、536
‑2…
光束偏移棱镜，140、148
…
套圈，142、150
…
套筒，144、152、200a、200b、200c
…
透镜，146、154
…
透镜支架，202
…
输入波导，204a、204b
…
输出波导，210、210
‑
1、210
‑
2、210
‑
3、210
‑
4、212、212
‑
1、212
‑
2、212
‑
3、212
‑
4、220、222、224、610、612、620、620
‑
1、620
‑
2、622、622
‑
1、622
‑
2、920、922、924
…
反射面，214、216、218、314、414、614、616、816、914、916、918、1016
…
光轴，400
…
遮挡体，932
…
半波长板，936
…
棱镜。
具体实施方式
38.以下，关于本发明的实施方式，参照附图进行说明。
39.[第一实施方式]
[0040]
首先，说明本发明的第一实施方式。图1是表示本发明的第一实施方式的光功能器件即光调制器件的结构的图。在图1中，图示右侧及左侧的图分别是光调制器件100的俯视图及侧视图。而且，图2是图1右侧的俯视图的a部的局部详情图。
[0041]
光调制器件100包括例如进行光调制的光功能元件即光调制元件102、收容该光调制元件102的壳体104、导入向光调制元件102输入的输入光的输入光纤106、将从光调制元件102射出的调制后的光(调制光)向壳体104的外部引导的输出光纤108。
[0042]
壳体104例如是俯视观察呈长边长30mm左右且短边长12mm左右的大致长方形的六面体，在以图示左侧的短边为一条边的一个面105上配置输入光纤106及输出光纤108。而且，输入光纤106及输出光纤108分别经由设置于壳体104的面105上的窗(未图示)而与光调制元件102光学耦合。
[0043]
输入光纤106与输出光纤108分别通过不同的两组保持构件而并列地配置在壳体104的一个面105的两个独立的位置。输入光纤106通过构成一方的一组保持构件的套圈140、带有凸缘的套筒142及在其内部固定有透镜144的透镜支架146而固定于壳体104。同样，输出光纤108通过构成另一方的一组保持构件的套圈148、带有凸缘的套筒150及在其内部固定有透镜152的透镜支架154而固定于壳体104。
[0044]
在壳体104还收容有电路基板112，该电路基板112搭载有用于使光调制元件102动作的驱动电路(驱动器电路)110。驱动电路110由用于放大调制信号的放大器构成，但是除此之外可以还包含信号处理ic(dsp，数字信号处理)。驱动电路未必非要搭载于基板上，可以在驱动电路的ic的周围配置、连接电路基板，ic为了散热而可以直接或者经由散热构件搭载于壳体。而且，可以是将电路基板与壳体一体化的陶瓷封装那样的方式。在壳体104还设置有接受从外部供给的调制信号的多个引脚114。驱动电路的电源、控制信号连接于在壳体104的侧壁设置的引脚120、122。在壳体104收容有对光调制元件102具有的监视器用受光元件(未图示)输出的电信号进行中继的中继基板116、118，在壳体104的侧壁设置有将该电信号向壳体104的外部输出的引脚120、122。上述的引脚120、122可以仅配置于任一单侧的面。
[0045]
光调制元件102例如由形成在ln基板上的光波导(图示虚线)和控制在该光波导中传播的光波的多个电极(未图示)构成。上述的电极构成高频的传输线路，向上述电极的一端输入由驱动电路110输出的高频信号，在另一端分别连接具有与该传输线路大致相同的阻抗的终端器124及126。由此，在上述电极中，上述高频信号成为行波而传播，通过该高频信号，调制向光调制元件102输入的光。
[0046]
上述的两个中继基板116、118为了与在壳体104的相对的图示上侧及下侧的侧壁设置的引脚120、122的连接而隔着光调制元件102分别配置于图示上侧及下侧。而且，上述的两个终端器124、126也为了例如上述ln基板上的上述电极的配置的容易度等而隔着光调制元件102分别配置于图示上侧及下侧。除此之外，为了防止高频信号的劣化、减衰，抑制端口间的特性差，从引脚114至调制元件的多个高频的配线优选大致中心对称地以短配线配置。其结果是，为了在光调制元件102的图示上侧及下侧确保配置中继基板116、118的每一
个及终端器124、126的每一个的空间，而将光调制元件102例如配置在壳体104的宽度方向(图示上下方向)的中心。
[0047]
光调制元件102是例如进行dp
‑
qpsk调制的调制元件，从图示左侧的端面即光入射出射面128被输入单一的直线偏振光的输入光。该输入光入射到端部配置于光入射出射面128的输入波导202(图2)之后，在光调制元件102内折返并分支成两个光波而分别被调制，调制后的直线偏振光即两个出射光分别从端部设置于光入射出射面128的两个输出波导204a、204b射出。即，光调制元件102在形成有光波导的基板的同一端面上(具体而言，光入射出射面128)配置接受输入光的输入波导202的端部和使出射光射出的输出波导204a、204b的端部。在光调制元件102的光入射出射面128还配设置有具备三个透镜200a、200b、200c(图2)的微型透镜阵列130。
[0048]
在如光调制元件102那样由形成在基板上的光波导构成的光功能元件中，通常，光入射出射面128的输入波导202、输出波导204a、204b的相互的波导间隔为几百μm～几mm左右以下，难以以与之相同的间隔在壳体104的面105上配置输入光纤106和输出光纤108。另外，通常，如上所述光调制元件102配置在壳体104的宽度方向的中央部。另一方面，输入光纤106及输出光纤108对于透镜支架、套圈的固定，通过yag焊接等手段，在其外周的多个点与壳体进行焊接固定，因此其间隔宽的话容易进行焊接。此外，为了避免以环境温度的变动等为起因而产生的壳体104的变形的影响，通常，相对于壳体104的宽度方向中心线而配置在对称的位置。
[0049]
因此，在光调制器件100中，将输入光纤106的光轴及输出光纤108的光轴沿平移方向偏移，为了使上述的光轴的间隔接近至与上述波导间隔相同程度而使用两个光束偏移棱镜134、136。上述的光束偏移棱镜134、136例如在与壳体104的底面107(图1左图)平行的平面内以来自输入光纤106的输入光及向输出光纤108的输出光沿平移方向偏移的方式配置。
[0050]
参照图2，从输入光纤106入射的输入光由透镜144准直之后，通过光束偏移棱镜134使其光路朝向输出光纤108的光轴所在的方向沿平移方向偏移，由微型透镜阵列130的透镜200a聚光，向输入波导202入射。在此，光束偏移棱镜134由两个反射面210、212构成。反射面210对应于将从输入光纤106射出的输入光向输出光的光路径所在的方向反射的第一反射面，反射面212对应于将由反射面210反射后的输入光朝向作为光功能元件的光调制元件102反射的第二反射面。
[0051]
另外，从光调制元件102的输出波导204a、204b分别射出的作为直线偏振光的两个出射光由微型透镜阵列130的两个透镜200b、200c准直之后，通过偏振波合成器132进行合成而成为一个输出光。偏振波合成器132由例如半波长板和偏振波合成棱镜构成。
[0052]
从偏振波合成器132输出的输出光通过光束偏移棱镜136将其光路朝向输出光纤108的光轴所在的方向沿平移方向偏移之后，由透镜152聚光而与输出光纤108耦合。在此，光束偏移棱镜136由两个反射面220、222构成。反射面220对应于将来自作为光功能元件的光调制元件102的出射光向从输入光纤106的光轴离开的方向反射的第三反射面。
[0053]
并且，特别是本实施方式的光调制器件100构成为，使得通过光束偏移棱镜134的一方的反射面210向出射光的光路径所在的方向反射的输入光中的透过光束偏移棱镜134的另一方的反射面212的泄漏光的光轴214或者将光轴214在该泄漏光可传播的光传播介质内(以下，简称为光传播介质内)延长而得到的线不包含与由光束偏移棱镜136的反射面220
反射的出射光的光轴一致的部分。在此，上述光传播介质包括上述泄漏光可传播的玻璃等固体介质、气体介质及真空空间，不包括金属等不使上述泄漏光透过的物体。
[0054]
通常，在光传播的两个不同介质的交界面(例如光反射面、光透过面)处，由于该交界面的些许的污垢、平滑性的紊乱等，向该交界面的入射光的一部分被分支而向与其他的部分不同的方向传播。因此，在反射面210、212、220、222等反射面中，例如透过该反射面的泄漏光产生，该泄漏光成为杂散光而使输入光与输出光之间的串扰劣化。
[0055]
与此相对，在具有上述的结构的光调制器件100中，透过反射面212而朝向输出光的路径所在的方向的泄漏光不包含其光轴214与通过反射面220朝向从输入光纤106离开的方向生成的输出光的光轴216一致的部分。因此，上述泄漏光不会与由反射面220反射的输出光混合。因此，在光调制器件100中，能够有效地抑制以导入光束偏移棱镜134及/或136的情况为起因的、输入光对于输出光的串扰(以下，简称为串扰)的恶化。
[0056]
需要说明的是，从有效地抑制串扰的增加的观点出发，输入光中的透过反射面212的泄漏光的光轴214或者将该光轴214在光传播介质内延长而得到的线和在朝向与上述的方向相同的方向的反射面220进行了反射的输出光的光轴216的距离d1优选为比上述泄漏光的光束直径大的值。即，由作为第一反射面的反射面210反射之后透过作为第二反射面的反射面212的泄漏光的光轴214优选为该光轴214或者将光轴214在光传播介质内延长而得到的线与由作为第三反射面的反射面220反射的出射光的光轴216以比上述泄漏光的光束直径的值大的值的距离d1分隔。需要说明的是，以下，为了避免记载的冗长，“作为第一反射面的反射面210”等的标记简化地表示为“第一反射面210”等。
[0057]
接下来，说明上述的实施方式的光调制器件100的变形例。
[0058]
<第一实施方式的第一变形例>
[0059]
接下来，说明光调制器件100的第一变形例。图3是表示第一变形例的光调制器件100
‑
1的结构的图，是相当于表示光调制器件100的a部的结构的图2的图。需要说明的是，关于光调制器件100
‑
1中的图3未记载的部分，具有与图1所示的光调制器件100同样的结构，援引上述的关于图1的说明。而且，在图3中，关于与图2所示的光调制器件100的结构要素相同的结构要素，使用与图2中的标号相同的标号，援引上述的关于图2的说明。
[0060]
图3所示的光调制器件100
‑
1具有与图1及图2所示的光调制器件100同样的结构，但是取代光束偏移棱镜134、136而使用光束偏移棱镜134
‑
1、136
‑
1的点不同。光束偏移棱镜134
‑
1、136
‑
1具有与光束偏移棱镜134、136同样的结构，但是图示左右方向的尺寸(在图示左右相对的光入射出射面间的距离)比光束偏移棱镜134、136短。
[0061]
光束偏移棱镜134
‑
1分别具有与光束偏移棱镜134的反射面210、212同样的、相当于第一反射面及第二反射面的反射面210
‑
1、212
‑
1。同样，光束偏移棱镜136
‑
1分别具有与光束偏移棱镜136的反射面220、222同样的、反射面220
‑
1、222
‑
1。在此，反射面220
‑
1相当于第三反射面。
[0062]
图3所示的光调制器件100
‑
1中的入射光的路径及出射光的路径与图2所示的光调制器件100相同。但是，如上所述，光束偏移棱镜134
‑
1、136
‑
1的光入射出射面间的距离分别比光束偏移棱镜134、136小，因此光束偏移棱镜134
‑
1、136
‑
1在壳体104中以图示左右的位置互不相同的方式配置。
[0063]
由此，在光调制器件100
‑
1中，与光调制器件100同样，输入光中的透过反射面212
‑
1的泄漏光不会与在反射面220
‑
1进行了反射的输出光混合，能够有效地抑制串扰的恶化。
[0064]
除此之外，在光调制器件100
‑
1中，光束偏移棱镜134
‑
1、136
‑
1相互沿图示左右方向错开配置，因此在透过反射面212
‑
1的泄漏光的光轴214的延长线上不存在光束偏移棱镜136
‑
1，其他的光学部件也不存在。因此，在光调制器件100
‑
1中，也能避免以泄漏光向其他的光学部件入射或反射的情况为起因的散射光的发生等，与光调制器件100相比更能抑制串扰。
[0065]
<第一实施方式的第二变形例>
[0066]
接下来，说明光调制器件100的第二变形例。图4是表示第二变形例的光调制器件100
‑
2的结构的图，是相当于表示光调制器件100的a部的结构的图2的图。需要说明的是，关于光调制器件100
‑
2中的图4未记载的部分，具有与图1所示的光调制器件100同样的结构，援引上述的关于图1的说明。而且，在图4中，关于与图2所示的光调制器件100的结构要素相同的结构要素，使用与图2中的标号相同的标号，援引上述的关于图2的说明。
[0067]
图4所示的光调制器件100
‑
2具有与图1及图2所示的光调制器件100同样的结构，但是取代光束偏移棱镜134而使用光束偏移棱镜134
‑
2的点不同。光束偏移棱镜134
‑
2具有与光束偏移棱镜134同样的结构，分别具有与反射面210、212同样的相当于第一反射面及第二反射面的反射面210
‑
2、212
‑
2。
[0068]
但是，光束偏移棱镜134
‑
2与光束偏移棱镜134不同，相对于光束偏移棱镜136向顺时针方向倾斜配置。即，光调制器件100
‑
2构成为，由第一反射面210反射之后透过第二反射面212的泄漏光的光轴314相对于第三反射面220的光轴相互不平行而具有不为0的某角度θ。由此，在光调制器件100
‑
2中，与光调制器件100同样地构成为，通过第一反射面210
‑
2向出射光的光路径所在的方向反射的输入光中的透过第二反射面212
‑
2的泄漏光的光轴314或者将该光轴314在光传播介质内延长而得到的线不包含与由第三反射面220反射的出射光的光轴216一致的部分。
[0069]
通过上述结构，在光调制器件100
‑
2中，与光调制器件100同样，上述泄漏光不会与由反射面220
‑
1反射的输出光混合，因此，能够有效地抑制以导入了光束偏移棱镜134及/或136的情况为起因的串扰的恶化。
[0070]
<第一实施方式的第三变形例>
[0071]
接下来，说明光调制器件100的第三变形例。在图2所示的光调制器件100中，作为第一反射面及第二反射面的反射面210、212构成一方的光束偏移棱镜134，作为第三反射面的反射面220构成另一方的光束偏移棱镜136。但是，第一反射面、第二反射面及第三反射面未必非要如本实施方式那样构成光束偏移棱镜，上述的反射面构成何种光学部件任意，这样的光学部件的配置也任意。而且，在从光功能元件(例如，光调制元件102)射出的出射光存在多个的情况下，第三反射面可以对应于各个出射光而存在多个。
[0072]
以下所示的第三变形例的光调制器件100
‑
3是其一例，多个第三反射面构成同时具有光束偏移功能和偏振波合成功能的复合功能棱镜。
[0073]
图5是表示第三变形例的光调制器件100
‑
3的结构的图，是相当于表示光调制器件100的a部的结构的图2的图。需要说明的是，关于光调制器件100
‑
3中的图5未记载的部分，具有与图1所示的光调制器件100同样的结构，援引上述的关于图1的说明。而且，在图5中，关于与图2所示的光调制器件100的结构要素相同的结构要素，使用与图2中的标号相同的
标号，援引上述的关于图2的说明。
[0074]
图5所示的光调制器件100
‑
3具有与图1及图2所示的光调制器件100同样的结构，但是取代光束偏移棱镜134而使用光束偏移棱镜134
‑
3且取代光束偏移棱镜136而使用棱镜936的点不同。光束偏移棱镜134
‑
3具有与光束偏移棱镜136相同的结构，分别具有与光束偏移棱镜134的反射面210、212同样的相当于第一反射面及第二反射面的反射面210
‑
3、212
‑
3。但是，光束偏移棱镜134
‑
3在壳体104内的位置与光束偏移棱镜134相比向图示上方移动。
[0075]
棱镜936与光束偏移棱镜136不同，同时具有光束偏移功能和偏振波合成功能。具体而言，棱镜936具备相当于第三反射面的两个反射面920、反射面924。反射面920为全反射面，反射面924由例如在两个玻璃之间的交界面上形成的偏振波合成膜构成。并且，上述的反射面920、924对构成出射光的两个直线偏振光分别进行反射。即，反射面920对于从输出波导204a射出的一方的直线偏振光进行反射，反射面924使该一方的直线偏振光透过，并对于在输出波导204b射出经由半波长板932而偏振波方向旋转90度的另一方的直线偏振光进行反射。由此，棱镜936作为偏振波合成器发挥功能。而且，棱镜936具有将偏振波合成的输出光朝向输出光纤108反射的反射面922。由此，棱镜936也作为光束偏移棱镜发挥功能。
[0076]
并且，光调制器件100
‑
3构成为，输入光中的透过作为第二反射面的反射面212
‑
3的泄漏光的光轴914相对于在相当于第三反射面的两个反射面920、924分别进行了反射的出射光的光轴916、918而分离距离d3。
[0077]
由此，在光调制器件100
‑
3中，与光调制器件100同样，透过第二反射面212
‑
3的泄漏光不会与在第三反射面920、924分别进行了反射的出射光混合，能够有效地抑制串扰的恶化。
[0078]
<第一实施方式的第四变形例>
[0079]
首先，说明光调制器件100的第四变形例。图6是表示第四变形例的光调制器件100
‑
4的结构的图，是相当于表示光调制器件100的a部的结构的图2的图。需要说明的是，关于光调制器件100
‑
4中的图6未记载的部分，具有与图1所示的光调制器件100同样的结构，援引上述的关于图1的说明。而且，在图6中，关于与图2所示的光调制器件100的结构要素相同的结构要素，使用与图2中的标号相同的标号，援引上述的关于图2的说明。
[0080]
图6所示的光调制器件100
‑
4具有与图1及图2所示的光调制器件100同样的结构，但是取代光束偏移棱镜134而使用光束偏移棱镜134
‑
4的点不同。光束偏移棱镜134
‑
4具有与光束偏移棱镜134同样的结构，分别具有与反射面210、212同样的相当于第一反射面及第二反射面的反射面210
‑
4、212
‑
4。
[0081]
但是，光束偏移棱镜134
‑
4与光束偏移棱镜134不同，可以是透过第二反射面212
‑
4的泄漏光的光轴414或者将该光轴414在光传播介质内延长而得到的线与在光束偏移棱镜136的第三反射面220反射的出射光的光轴216一致。并且，在光调制器件100
‑
4中，在由第一反射面210
‑
4反射之后透过第二反射面212
‑
4的泄漏光的光轴414上的、第二反射面212
‑
4与第三反射面220之间的位置，设置有遮挡上述泄漏光的遮挡体400。由此，在光调制器件100
‑
4中，通过第一反射面210
‑
4向出射光的光路径所在的方向反射的输入光中的透过第二反射面212
‑
4的泄漏光的光轴414或者将该光轴414在光传播介质内延长而得到的线不包含与由第三反射面220反射的出射光的光轴216一致的部分。
[0082]
在此，遮挡体400可以设为例如镀黑的铝板等。而且，该遮挡体400例如固定于将光
束偏移棱镜136固定的底座(未图示)而将该底座固定于壳体104的底面，由此能够与光束偏移棱镜136一起配置在壳体104内。
[0083]
通过上述结构，在光调制器件100
‑
4中，与光调制器件100同样，上述泄漏光不会与由反射面220反射的输出光混合，因此，能够有效地抑制以导入了光束偏移棱镜134
‑
4及/或136的情况为起因的串扰的恶化。
[0084]
[第二实施方式]
[0085]
接下来，说明本发明的第二实施方式。图7是表示第二实施方式的光功能器件即光调制器件500的结构的图。在图7中，图示右侧及左侧的图分别是光调制器件500的俯视图及侧视图。而且，图8是图7右侧的俯视图中的b部的局部详情图，图9是图8中的vi
‑
vi剖面的向视图。需要说明的是，为了避免冗长的记载并容易理解，在图9中，省略偏振波合成器132的记载及将光调制元件102等光学部件固定的底座等的记载。
[0086]
需要说明的是，在图7、图8中，关于与图1、图2所示的第一实施方式的光调制器件100的结构要素相同的结构要素，使用与图1、图2中的标号相同的标号，分别援引上述的关于图1、图2的说明。
[0087]
光调制器件500具有与图1、图2所示的光调制器件100同样的结构，但是取代光束偏移棱镜134、136而使用光束偏移棱镜534、536的点不同。如图8所示，光束偏移棱镜534具有与光束偏移棱镜134同样的结构，具有与反射面210、212同样的分别对应于第一反射面及第二反射面的反射面610、612。而且，光束偏移棱镜536具有与光束偏移棱镜136同样的结构，具有与反射面220、222同样的反射面620、622。在此，反射面620与反射面220同样地对应于第三反射面。
[0088]
特别是在光调制器件500中，如图9所示，使来自输入光纤106的输入光偏移的光束偏移棱镜534相对于与壳体104的底面107平行地配置的光束偏移棱镜536倾斜(即，相对于底面107具有角度)地配置。在这一点上，光调制器件500与光束偏移棱镜134、136这双方在与壳体104的底面107平行的平面内以来自输入光纤106的输入光及向输出光纤108的输出光沿平移方向偏移的方式配置的第一实施方式的光调制器件100不同。需要说明的是，在图9中，通过标号700及702分别表示从输入光纤106向光束偏移棱镜534入射的输入光的入射点的位置及从光束偏移棱镜536向输出光纤108射出的输出光的出射点的位置。
[0089]
通过上述结构，在光调制器件500中，由光束偏移棱镜534的第一反射面610反射之后透过第二反射面612的泄漏光的光轴614相对于由光束偏移棱镜536的第三反射面620反射的出射光的光轴616，不平行，具有不为0的规定的角度ψ1。因此，在光调制器件500中，与图1所示的光调制器件100同样，由第一反射面610反射之后透过第二反射面612的泄漏光的光轴614或者将该光轴614在光传播介质内延长而得到的线不包含与由第三反射面620反射的出射光的光轴616一致的部分。其结果是，在光调制器件500中，与第一实施方式的光调制器件100同样，防止上述泄漏光与由反射面620反射的输出光的混合，能够有效地抑制以导入了光束偏移棱镜534及/或536的情况为起因的串扰的恶化。
[0090]
接下来，说明第二实施方式的光调制器件500的变形例。
[0091]
<第二实施方式的第一变形例>
[0092]
首先，说明光调制器件500的第一变形例。图10是表示第一变形例的光调制器件500
‑
1的结构的图，是相当于表示光调制器件500的ix
‑
ix剖面的结构的图9的图。需要说明
的是，关于光调制器件500
‑
1中的图10未记载的部分，具有与图7及图8所示的光调制器件500同样的结构，援引上述的关于图7及图8的说明。而且，在图10中，关于与图9所示的光调制器件500的结构要素相同的结构要素，使用与图9中的标号相同的标号，援引上述的关于图9的说明。
[0093]
光调制器件500
‑
1具有与图9所示的光调制器件500同样的结构，但是取代光束偏移棱镜536而使用光束偏移棱镜536
‑
1的点不同。光束偏移棱镜536
‑
1具有与光束偏移棱镜536同样的结构，具有与反射面620、622同样的反射面620
‑
1及622
‑
1。在此，反射面620
‑
1与反射面620同样对应于第三反射面。
[0094]
但是，在光调制器件500
‑
1中，光束偏移棱镜536
‑
1相对于壳体104的底面107而向光束偏移棱镜534的反方向倾斜配置。由此，在光调制器件500
‑
1中，透过光束偏移棱镜534的第二反射面612的泄漏光的光轴614相对于在光束偏移棱镜536
‑
1的第三反射面620
‑
1进行了反射的输出光的光轴816，具有比图9所示的角度ψ1大的角度ψ2。其结果是，在光调制器件500
‑
1中，与图9所示的光调制器件500相比，能够更有效地抑制串扰的恶化。
[0095]
另外，在光调制器件500
‑
1中，通过调整光束偏移棱镜536
‑
1的倾斜角，能够调整在图10中由标号802表示的来自光束偏移棱镜536
‑
1的输出光的出射点的位置。因此，在光调制器件500
‑
1中，能够使来自壳体104的底面107的输入光纤106的光轴位置(对应于由标号700表示的点的位置)的高度与来自底面107的输出光纤108的光轴位置(对应于由标号802表示的点的位置)的高度相同。由此，在光调制器件500
‑
1中，能够将壳体104的面105中的输入光纤106及输出光纤108的固定位置配置在关于壳体104的宽度方向中心线(即，在图7左图中将面105沿图示左右方向横切的单点划线)对称的位置，相对于以环境温度变动等为起因的壳体104的变形能够更稳定地维持输入光纤106及输出光纤108与光调制元件102之间的光的耦合效率。
[0096]
<第二实施方式的第二变形例>
[0097]
接下来，说明光调制器件500的第二变形例。图11是表示第二变形例的光调制器件500
‑
2的结构的图，是相当于表示光调制器件500的ix
‑
ix剖面的结构的图9的图。需要说明的是，关于光调制器件500
‑
2中的图11未记载的部分，具有与图7及图8所示的光调制器件500同样的结构，援引上述的关于图7及图8的说明。而且，在图11中，关于与图9所示的光调制器件500的结构要素相同的结构要素，使用与图9中的标号相同的标号，援引上述的关于图9的说明。
[0098]
光调制器件500
‑
2具有与图9所示的光调制器件500同样的结构，但是取代光束偏移棱镜536而使用光束偏移棱镜536
‑
2的点不同。光束偏移棱镜536
‑
2具有与光束偏移棱镜536同样的结构，具有与反射面620、622同样的620
‑
2及622
‑
2。在此，反射面620
‑
2对应于第三反射面。
[0099]
但是，在光调制器件500
‑
2中，光束偏移棱镜536
‑
2相对于壳体104的底面107向光束偏移棱镜534的相同方向倾斜配置。由此，在光调制器件500
‑
2中，透过光束偏移棱镜534的第二反射面612的泄漏光的光轴614配置在相对于在光束偏移棱镜536
‑
2的第三反射面620
‑
1进行了反射的输出光的光轴1016平行且分离了距离d4的位置。需要说明的是，在该情况下，距离d4优选为上述泄漏光的光束直径的值以上。
[0100]
通过上述结构，在光调制器件500
‑
2中，与光调制器件500同样，防止透过第二反射
面612的泄漏光混入于由第三反射面620
‑
2反射的输出光的情况，能够抑制以导入了光束偏移棱镜534及536
‑
2的情况为起因的串扰的增加。需要说明的是，在上述的结构中，来自光束偏移棱镜536
‑
2的输出光的出射位置如图11中标号902所示比图9中标号702所示的出射位置向图示上方移动，因此壳体104的面105中的输出光纤108的固定位置也需要向与之对应的位置移动。
[0101]
需要说明的是，本发明并不局限于上述实施方式及其变形例的结构，在不脱离其主旨的范围内能够以各种方式实施。
[0102]
例如，在光调制器件100、500及其变形例的光调制器件中，将来自作为光功能元件的光调制元件102的出射光向离开输入光纤106的光轴的方向反射的第三反射面设为了构成使输出光的光轴沿平移方向偏移的光束偏移棱镜136等或536等的反射面220等或620等，但是并不局限于此。
[0103]
例如，在图2中，除了使输出光沿平移方向偏移的光束偏移棱镜136的反射面220之外，构成偏振波合成器132的反射面224也可以成为将来自光调制元件102的出射光向离开输入光纤106的光轴的方向反射的第三反射面。因此，透过反射面212朝向输出光路径所在的方向的输入光的泄漏光的光轴214构成为，该光轴214或者将光轴214在光传播介质内延长而得到的线不包含与由反射面224反射的出射光的光轴218一致的部分。而且，在该情况下，输入光中的透过反射面212的泄漏光的光轴214或者光传播介质内的其延长线与在反射面224进行了反射的出射光的光轴218的距离d2(参照图2)也与上述的距离d1同样地优选为上述泄漏光的光束直径以上。
[0104]
另外，在第一实施方式的光调制器件100中，输入光的泄漏光的光轴214在图2中位于由反射面220反射的出射光的光轴216的图示左侧且由反射面224反射的出射光的光轴218的图示左侧，但是光轴214的位置并不局限于此。输入光的泄漏光的光轴214只要是该光轴214或者将光轴214在光传播介质内延长而得到的线不包含与由反射面220及244分别反射的出射光的光轴216及218都一致的部分，则既可以位于由反射面220及224分别反射的两个出射光的光轴216、218的图示右侧，也可以位于这两个出射光的光轴216、218之间。
[0105]
另外，在第一实施方式及第二实施方式中，作为光功能器件的一例，示出了通过在由ln组成的基板上形成的光波导构成的、具备进行光调制的光调制元件102作为光功能元件的光调制器件100、500，但是光功能器件并不局限于此。本发明的光功能器件可以是具备具有基于任意的方式的任意的功能的光功能元件而实现该功能的光功能器件。
[0106]
这样的功能不仅是光调制，可以设为光开关、偏振光旋转、光路由等。而且，光功能元件并不局限于ln，可以是使用了si等的半导体其他的材料的波导型或整体的元件。而且，或者，上述的实施方式中的光调制元件102将构成在基板上的光波导中的接受输入光的输入波导202的端部及射出输出光的输出波导204a、204b的端部配置于该基板的一个面即光入射出射面128，但是并不局限于此。本发明的光功能器件具备的光功能元件可以是将任意数的光输入及任意数的光输出在该光功能元件的不同的面上接收及射出的结构。
[0107]
如以上说明所述，本实施方式的光功能器件即光调制器件100具备：作为光功能元件的光调制元件102；收容光调制元件102的壳体104；将向光调制元件102输入的输入光向壳体104内引导的输入光纤106；及将由来自光调制元件的出射光构成的输出光向壳体104外引导的输出光纤108。在此，输入光纤106和输出光纤108分别固定于壳体104的一个面105
上。而且，光调制器件100具备：将从输入光纤106射出的输入光向上述出射光的光路径所在的方向反射的第一反射面210；将由第一反射面210反射的输入光朝向光调制元件102反射的第二反射面212；将来自光调制元件102的出射光向离开输入光纤106的光轴的方向反射的第三反射面220。并且，在光调制器件100中，由第一反射面210反射之后透过第二反射面212的泄漏光的光轴214或者将该光轴214在该泄漏光能够传播的光传播介质内延长而得到的延长线不包含与由第三反射面220反射的出射光的光轴216一致的部分。
[0108]
根据该结构，在壳体104的一个面上配置输入光纤106及输出光纤108这双方的光功能器件中，能够将来自输入光纤106的输入光与向输出光纤108的输出光之间的串扰保持得低而实现良好的光学特性。
[0109]
另外，在光调制器件100
‑
4中，在由第一反射面210
‑
4反射之后透过第二反射面212
‑
4的泄漏光的光轴414上且第二反射面212
‑
4与第三反射面220之间的位置设置遮挡上述泄漏光的遮挡体400。根据该结构，不会对第一反射面210
‑
4、第二反射面212
‑
4及第三反射面220之间的相对位置施加限制，能够将输入光对于输出光的串扰维持得低而实现良好的光学特性。
[0110]
另外，在光调制器件100(或500
‑
2)中，由第一反射面210(或610)反射之后透过第二反射面212(或612)的泄漏光的光轴214(或614)构成为，该光轴214(614)或者光轴214(614)的在上述光传播介质内的上述延长线与由第三反射面220(或620
‑
2)反射的出射光的光轴216(或1016)分隔了比上述泄漏光的光束直径的值大的值的距离d1(或d4)。
[0111]
另外，在光调制器件100
‑
2(或者500或500
‑
1)中，由第一反射面210
‑
2(或610)反射之后透过第二反射面212
‑
2(612)的泄漏光的光轴314(或614)与由第三反射面220(或者620或620
‑
1)反射的出射光的光轴216(或者616或816)相互不平行。
[0112]
根据上述的结构，能够将输入光的泄漏光的光轴与输出光的光轴有效地分离而实现串扰小的良好的光学特性。
[0113]
另外，例如在光调制器件100中，第三反射面220能够不配置在由第一反射面210反射之后透过第二反射面212的泄漏光的光轴214的在上述光传播介质内的上述延长线上。根据该结构，能够进一步减少输入光对输出光的串扰，实现更良好的光学特性。
[0114]
另外，在上述实施方式中，作为光调制元件102的一例而示出的光功能元件由形成在基板上的光波导构成，接受输入光的输入波导202的端部和射出出射光的输出波导204a、204b的端部配置在上述基板的一个端面即光入射出射面128上。根据该结构，在光调制元件102的一个光入射出射面128与配设置有输入光纤106及输出光纤108的壳体104的一个面105之间密集地配置光学部件的光功能器件中，能够减少输入光对输出光的串扰而实现良好的光学特性。