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一种印制电路的激光直写成像曝光设备的制作方法

2021-10-09 12:47:00 来源:中国专利 TAG:曝光 设备 成像 印制 电路

技术特征:
1.一种印制电路的激光直写成像曝光设备,包括壳体(1),所述壳体(1)的顶端设置有风机过滤机组(2),所述壳体(1)内侧上部设置有曝光设备主体(3),所述曝光设备主体(3)的一侧设置有可移动光头(4),所述曝光设备主体(3)的下方设置有电控元器件组件(5),所述电控元器件组件(5)的一侧设置有花岗岩平台(6),其特征在于:所述花岗岩平台(6)顶端设置有扫描轴(7),所述扫描轴(7)上配合设置有进步轴(8),所述进步轴(8)上连接有z轴(9),所述z轴顶端配合设置有吸盘装置(10)。2.根据权利要求1所述的一种印制电路的激光直写成像曝光设备,其特征在于:所述吸盘装置(10)包括中空结构的吸附板(101),所述吸附板(101)固定在支撑架上,所述支撑架固定在z轴(9)上,所述吸附板(101)的一侧设置有对位相机(102),所述吸附板(101)底部设置有抽气装置(103),所述抽气装置(103)连接至控制器。3.根据权利要求2所述的一种印制电路的激光直写成像曝光设备,其特征在于:所述吸附板(101)由花岗岩构成。4.根据权利要求2所述的一种印制电路的激光直写成像曝光设备,其特征在于:所述吸附板(101)的顶端开设有通气槽(104),所述通气槽(104)上设置有若干通气孔(105)。5.根据权利要求1所述的一种印制电路的激光直写成像曝光设备,其特征在于:所述z轴(9)包括设于进步轴(8)上的底座(91),所述底座(91)顶端设置有第一滑轨(92),所述第一滑轨(92)上设置有第一滑块(93),所述第一滑块(93)的顶端开设有第二滑轨(94),所述第二滑轨(94)上设置有第二滑块(95),所述第一滑块(93)的一端设置有丝杆装置(96),所述丝杆装置(96)连接至控制器。6.根据权利要求5所述的一种印制电路的激光直写成像曝光设备,其特征在于:所述第一滑轨(92)水平设置,所述第二滑轨(94)倾斜设置。

技术总结
本实用新型提供了一种印制电路的激光直写成像曝光设备,包括壳体,所述壳体的顶端设置有风机过滤机组,所述壳体内侧上部设置有曝光设备主体,所述曝光设备主体的一侧设置有可移动光头,所述曝光设备主体的下方设置有电控元器件组件,所述电控元器件组件的一侧设置有花岗岩平台,所述花岗岩平台顶端设置有扫描轴;Z轴采用电气控制丝杆运动的方式来调节吸附板的位置,控制系统可以通过设置的电路板的板厚来控制Z轴的升降从而使得电路板始终处于焦面的位置,其中Z轴采用斜坡升降的方式可以承受更大的承载力且节约了使用空间,另一方面该升降结构可以更加精准的控制升降的精度,提高了曝光机的精准度。高了曝光机的精准度。高了曝光机的精准度。


技术研发人员:李荣桥 楼红卫 陈良佳 匡真安 艾才虎 黄腾辉 张茗
受保护的技术使用者:浙江罗奇泰克科技股份有限公司
技术研发日:2021.06.09
技术公布日:2021/10/8
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