一种印制电路的激光直写成像曝光设备的制作方法

1.本实用新型属涉及一种曝光设备，尤其涉及一种印制电路的激光直写成像曝光设备。


背景技术：

2.激光直写式曝光机是用于在衬底表面上印刷具有特征的构图，相比于传统的掩膜版和菲林底片等曝光的影像直接转移技术，直写式曝光技术产能高，对位精度相对较高。在半导体及pcb生产领域有着非常重要的作用。
3.现有的pcb曝光机中虽然经过一段时间的发展定位精度有了很大的改善，但是还会经常会因为对位精度的误差造成pcb生产的不良，提高了工艺难度和要求及影响了工厂产能要求。在现有技术中通常通过工艺的控制或采用工艺补偿等方法来相对提高对位精度，但是该方法有一定的局限性往往无法满足多个对位点的补偿只能做到相对提高精度；或者通过结构的改善来提高精度，一般有通过调整吸盘的结构及优化其他结构的布局的精度来优化曝光的精度。


技术实现要素：

4.本实用新型提供的一种印制电路的激光直写成像曝光设备，目的在于解决现有pcb曝光机定位精度精度差的问题。
5.本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种印制电路的激光直写成像曝光设备，包括壳体，所述壳体的顶端设置有风机过滤机组，所述壳体内侧上部设置有曝光设备主体，所述曝光设备主体的一侧设置有可移动光头，所述曝光设备主体的下方设置有电控元器件组件，所述电控元器件组件的一侧设置有花岗岩平台，所述花岗岩平台顶端设置有扫描轴，所述扫描轴上配合设置有进步轴，所述进步轴上连接有z轴，所述z轴顶端配合设置有吸盘装置。
6.优选的，所述吸盘装置包括中空结构的吸附板，所述吸附板固定在支撑架上，所述支撑架固定在z轴上，所述吸附板的一侧设置有对位相机，所述吸附板底部设置有抽气装置，所述抽气装置连接至控制器。
7.优选的，所述吸附板由花岗岩构成。
8.优选的，所述吸附板的顶端开设有通气槽，所述通气槽上设置有若干通气孔。
9.优选的，所述z轴包括设于进步轴上的底座，所述底座顶端设置有第一滑轨，所述第一滑轨上设置有第一滑块，所述第一滑块的顶端开设有第二滑轨，所述第二滑轨上设置有第二滑块，所述第一滑块的一端设置有丝杆装置，所述丝杆装置连接至控制器。
10.优选的，所述第一滑轨水平设置，所述第二滑轨倾斜设置。
11.本实用新型的有益效果是：z轴采用电气控制丝杆运动的方式来调节吸附板的位置，控制系统可以通过设置的电路板的板厚来控制z轴的升降从而使得电路板始终处于焦面的位置，其中z轴采用斜坡升降的方式可以承受更大的承载力且节约了使用空间，另一方
面该升降结构可以更加精准的控制升降的精度；该优化的花岗岩吸盘结构及与z轴的配合双重精度控制下大大提高了焦面平坦度及对位的精度，提高了曝光机的精准度。
附图说明
12.图1为本实用新型的结构示意图；
13.图2为本实用新型中吸盘装置结构示意图；
14.图3为本实用新型中z轴结构示意图；
15.图4为本实用新型中吸附板结构示意图；
16.图中：1
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壳体、2
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风机过滤机组、3
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曝光设备主体、4
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可移动光头、5
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电控元器件组件、6
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花岗岩平台、7
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扫描轴、8
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进步轴、9
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z轴、91
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底座、 92
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第一滑轨、93
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第一滑块、94
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第二滑轨、95
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第二滑块、96
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丝杆装置、10
‑ꢀ
吸盘装置、101
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吸附板、102
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对位相机、103
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抽气装置、104
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通气槽、105
‑ꢀ
通气孔。
具体实施方式
17.下面结合实施例对本实用新型做进一步的详细描述，但本实用新型的保护范围并不限于此。
18.本实用新型涉及一种印制电路的激光直写成像曝光设备，包括壳体1，壳体1的顶端设置有风机过滤机组2，壳体1内侧上部设置有曝光设备主体3，曝光设备主体3的一侧设置有可移动光头4，曝光设备主体3的下方设置有电控元器件组件5，电控元器件组件5的一侧设置有花岗岩平台6，花岗岩平台6顶端设置有扫描轴7，扫描轴7上配合设置有进步轴8，进步轴8上连接有z轴9，z轴顶端配合设置有吸盘装置10。
19.在本实施方式中，壳体1的顶端连接有风机过滤机组2，壳体1的内部连接有曝光设备主体3，曝光设备主体3靠近吸盘装置10的一端连接有可移动光头4，曝光设备主体3底部连接有电控元器件组件5，电控元器件组件5的一侧连接有花岗岩平台6，花岗岩平台位于壳体1内部底端，花岗岩平台6的顶端连接有扫描轴7，扫描轴7顶端连接有进步轴8，进步轴 8的顶端连接有z轴9，z轴9的顶端连接有吸盘装置10，风机过滤机组2、曝光设备主体3、可移动光头4、电控元器件组件5、扫描轴7、进步轴8、 z轴9和吸盘装置10连接至控制器；通过z轴9可以进行方向水平和竖直方向上的调节，从而完成z轴方向上对焦面的调整，该z轴采用斜坡升降的方式可以承受更大的承载力且节约了使用空间，另一方面该升降结构可以更加精准的控制升降的精度，大大提高了曝光的精度。
20.进一步的，吸盘装置10包括中空结构的吸附板101，吸附板101固定在支撑架上，支撑架固定在z轴9上，吸附板101的一侧设置有对位相机 102，吸附板101底部设置有抽气装置103，抽气装置103连接至控制器。
21.进一步的，吸附板101由花岗岩构成。
22.进一步的，吸附板101的顶端开设有通气槽104，通气槽104上设置有若干通气孔105。
23.在本实施方式中，吸附板101上开设有通气槽104和通气孔105，吸附板102有花岗岩材料制成，且吸附板101为中空结构，吸附板101底部的气孔连接至抽气装置103，通过抽气装置103抽气从而在吸附板101的顶端形成吸附力，从而将pcb板吸附在吸附板101上，从
而方便pcb板的加工。
24.进一步的，z轴9包括设于进步轴8上的底座91，底座91顶端设置有第一滑轨92，第一滑轨92上设置有第一滑块93，第一滑块93的顶端开设有第二滑轨94，第二滑轨94上设置有第二滑块95，第一滑块93的一端设置有丝杆装置96，丝杆装置96连接至控制器。
25.进一步的，第一滑轨92水平设置，第二滑轨94倾斜设置。
26.在本实施方式中，底座91上开设有第一滑轨92，第一滑块93通过第一滑轨92与底座滑动连接，第二滑块95通过第二滑轨94与第一滑块93 滑动连接，第一滑块93与第二滑块95的一端分别与丝杆连接96连接，丝杆装置96连接至控制器；第一滑轨92水平设置，第二滑轨93倾斜设置；从而丝杆装置96通过工作带动第一滑块93和第二滑块95分别在导轨上滑动，从而实现第二滑块在水平和竖直方向上移动，从而完成对焦面的调整， z轴采用斜坡升降的方式可以承受更大的承载力且节约了使用空间，另一方面该升降结构可以更加精准的控制升降的精度，大大提高了曝光的精度。
27.在本实施方式中，将需要印刷的电路板放置于吸附板101上，打开抽气装置103，吸附板101上表面形成一定的负压，从而将电路板吸附在吸附板101上；该装置可以进一步将电路板的四周的边角固定于吸附板101 上，防止边角未形成负压或边角起翘等原因导致电路板未吸附到吸附板101 上从而产生曝光精度误差。将需要印刷的电路板料号输入系统中，系统则会根据料号的参数自动通过z轴9来调整高度参数；z轴的丝杆装置96推动第一滑块93在第一滑轨92上进行滑动，当第一滑块93滑动之后会带动第二滑块95在带有一定斜坡的第二滑轨94上滑动，从而实现第二滑块95 的升降实现了z轴方向的升降，从而完成z轴方向上对焦面的调整，大大提高了曝光的精度。
28.以上所述的实施例只是本实用新型的一种印制电路的激光直写成像曝光设备较佳的方案，并非对本实用新型作任何形式上的限制，在不超出权利要求所记载的技术方案的前提下还有其它的变体及改型。