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压力传感器封装结构及电子设备的制作方法
本发明涉及压力传感器封装领域,尤其涉及一种压力传感器封装结构及电子设备。
标签:
封装
压力传感器
电子设备
结构
2021-11-03
MEMS传感器及其微机电结构的制作方法
mems传感器及其微机电结构技术领域本技术涉及半导体器件制造领域,更具体地,涉及mems传感器及其微机电结构。
标签:
微机
传感器
结构
制造
半导体器件
2021-11-03
平凹谐振腔型硅光加速度计的制备方法与流程
本技术涉及加速度计技术领域,尤其涉及平凹谐振腔型硅光加速度计的制备方法。
标签:
加速度计
谐振
制备方法
平凹
腔型硅光
2021-10-30
一种MEMS器件的盲孔结构的制作方法
一种mems器件的盲孔结构技术领域本发明属于微机电系统技术领域,尤其涉及一种mems器件的盲孔结构。
标签:
器件
结构
微机
系统
mems
2021-10-30
微机电系统封装结构的制作方法
本发明属于芯片封装技术领域,具体是一种微机电系统封装结构。
标签:
封装
微机
芯片
结构
系统
2021-10-29
纳米操纵器的制作方法
本发明涉及一种纳米操纵器,尤其涉及一种基于碳纳米管的纳米操纵器。
标签:
操纵
纳米
碳纳米管
2021-10-29
一种片上连续可控间隙的石墨烯纳米电极对阵列的制备方法与流程
本发明属于一种片上连续可控间隙的石墨烯纳米电极对阵列的制备方法,涉及分子电子学、纳米材料、化学等诸多领域。
标签:
电子学
电极
石墨
阵列
间隙
2021-10-27
MEMS驱动器件及其形成方法与流程
mems驱动器件及其形成方法技术领域本发明涉及半导体技术领域,特别涉及一种mems驱动器件及其形成方法。
标签:
器件
驱动
方法
半导体
特别
2021-10-27
具有增强拉曼信号的纳米银衬底的制作方法
具有增强拉曼信号的纳米银衬底的制作方法
【专利摘要】本实用新型提供一种具有增强拉曼信号的纳米银衬底,解决传统的衬底均一性和拉曼增强活性
标签:
2021-10-27
一种基于调控纳米颗粒空间分布的光子晶体制备方法
一种基于调控纳米颗粒空间分布的光子晶体制备方法
【专利摘要】本发明公开了一种基于调控纳米颗粒空间分布的光子晶体制备方法,利用多光束干涉
标签:
2021-10-26
具有增强拉曼信号的纳米银衬底的制作方法
具有增强拉曼信号的纳米银衬底的制作方法
【专利摘要】本实用新型提供一种具有增强拉曼信号的纳米银衬底,解决传统的衬底均一性和拉曼增强活性
标签:
2021-10-26
用于制造构件的方法和构件的制作方法
用于制造构件的方法和构件的制作方法
【专利摘要】本发明涉及一种用于制造构件的方法,首先制造第一层复合体,其包括由导电材料制成的第一基底和
标签:
2021-10-26
一种基于气致动的干粘附复合结构及制造工艺的制作方法
一种基于气致动的干粘附复合结构及制造工艺的制作方法
【专利摘要】一种基于气致动的干粘附复合结构及制造工艺,复合结构顶层为蘑菇状阵列结构
标签:
2021-10-26
利用垂直馈穿部进行的晶片级气密包装方法
利用垂直馈穿部进行的晶片级气密包装方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及微结构的晶片级包装领域,这种微结构需要被封装在气密空腔中,并且具有
标签:
2021-10-26
纳米微结构的制作方法与流程
本发明涉及光学器件制作领域,特别是涉及一种纳米微结构的制作方法。
标签:
微结构
制作方法
纳米
光学
器件
2021-10-26
一种基于介电润湿效应的液体场效应管的制作方法
本实用新型涉及液体场效应管技术领域,具体为一种基于介电润湿效应的液体场效应管。
标签:
液体
场效应管
润湿
效应
2021-10-26
一种几何形状可控的Pt圆盘次微米电极的制备方法与流程
本发明涉及一种几何形状可控Pt圆盘次微米电极的制备方法,该Pt圆盘次微米电极可广泛适用于电化学基础动力学,生物电化学和电催化以及超高分辨率扫描电化学显微镜(HighSolutionScanningElectrochemicalMicroscopy,HS-SECM)研究。
标签:
电化学
圆盘
电极
适用于
动力学
2021-10-26
一种适合表面贴装工艺的压阻式加速度传感器及其制造方法与流程
本发明涉及传感器技术领域,具体涉及一种适合表面贴装工艺的压阻式加速度传感器及其制造方法。
标签:
传感器
加速度
表面
适合
工艺
2021-10-26
一种高效环保的纳米材料纯化装置的制作方法
本实用新型涉及纳米材料加工技术领域,具体为一种高效环保的纳米材料纯化装置。
标签:
纯化
高效
纳米
装置
纳米材料
2021-10-26
一种稀土掺杂TiO2的杂化太阳电池的制作方法
本发明涉及太阳能电池的技术领域,具体涉及一种稀土掺杂TiO2的杂化太阳电池。
标签:
太阳能电池
稀土
掺杂
tio2
2021-10-26
用于避免激光再封装结构突出晶片表面的结构和工艺的制作方法
本发明基于一种根据权利要求1的前序部分的方法。
标签:
权利
方法
2021-10-26
一种熔融石英微半球陀螺敏感结构的制作方法
本发明属于惯性测量技术领域,涉及一种微半球陀螺,具体涉及一种熔融石英微半球陀螺敏感结构。
标签:
陀螺
半球
熔融
惯性
测量
2021-10-26
单晶硅压力敏感膜片结构及其制作方法与流程
本发明属于硅微机械传感器技术领域,涉及一种新型的单晶硅压力敏感膜片结构及其制作方法,属于硅微机械传感器技术领域。
标签:
微机
传感器
单晶硅
膜片
制作方法
2021-10-26
一种质子能母岩非晶态纳米复合材料的制作方法
本发明涉及复合材料技术领域,尤其是涉及一种非晶态纳米复合材料。
标签:
复合材料
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纳米
2021-10-26
用机械突起来使膜偏转以实现致动和触觉反馈的制作方法
背景技术:本发明的方面涉及改进的微致动器。触觉反馈系统可在多种应用中使用,来向用户提供物理感觉和/或指示。触觉反馈装置的一个常见实例是针
标签:
2021-10-26
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