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具有对键合进行保护的微机电器件和制造微机电器件的工艺的制作方法与工艺
本公开涉及具有对键合进行保护的微机电器件,以及涉及用于制造微机电器件的工艺。
标签:
微机
电器
用于
公开
保护
2021-10-26
制造mems装置的方法
制造mems装置的方法
【专利摘要】本发明涉及制造MEMS装置的方法。在所描述的实例中,微机电系统MEMS包含附接到半导体装置(602)的微镜装置(604)
标签:
2021-10-26
一种基于气致动的干粘附复合结构及制造工艺的制作方法
一种基于气致动的干粘附复合结构及制造工艺的制作方法
【专利摘要】一种基于气致动的干粘附复合结构及制造工艺,复合结构顶层为蘑菇状阵列结构
标签:
2021-10-26
一种热解碳/二硫化钼纳米片/石墨烯复合材料图案化微电极及其微加工工艺的制作方法
一种热解碳/二硫化钼纳米片/石墨烯复合材料图案化微电极及其微加工工艺的制作方法
【专利摘要】本发明涉及一种热解碳/二硫化钼纳米片/石墨烯
标签:
2021-10-26
形成具有蚀刻通道的mems装置的设备和方法
形成具有蚀刻通道的mems装置的设备和方法
【专利摘要】本公开涉及形成具有蚀刻通道的MEMS装置的设备和方法。一种制造MEMS装置的方法提供了一
标签:
2021-10-26
一种MEMS红外光源及其制作方法与流程
本发明涉及红外光源技术领域,尤其涉及一种MEMS(Micro Electro Mechanical Systems,微机电系统)红外光源及其制作方法。
标签:
光源
制作方法
微机
系统
mems
2021-10-26
基于聚焦离子束注入的脆性材料纳米切削方法与流程
本发明涉及一种纳米切削方法,更具体而言,涉及一种脆性材料纳米切削方法,该方法可用于微纳制造、光学和电子等领域。
标签:
切削
方法
纳米
脆性
光学
2021-10-26
一种具有极小孔径的阶梯孔阵列的加工方法与流程
本发明涉及纳米器件加工领域,尤其涉及一种具有极小孔径的阶梯孔阵列的加工方法。
标签:
加工
孔径
极小
阵列
阶梯
2021-10-26
多个纳米棒二聚体阵列结构、其制造方法、激发其Fano共振的方法以及包含其的光学传感器的制造方法
多个纳米棒二聚体阵列结构、其制造方法、激发其Fano共振的方法以及包含其的光学传感器的制造方法
【专利摘要】本发明通过公开一种多个纳米棒
标签:
2021-10-26
一体化多功能陶瓷封装管壳的制作方法
一体化多功能陶瓷封装管壳的制作方法
【专利摘要】本实用新型提供一种一体化多功能陶瓷封装管壳,包括陶瓷封装管壳、吸气剂模块、测温模块、控
标签:
2021-10-26
一种圆形芯片的加工方法及一种半导体晶圆的制作方法
一种圆形芯片的加工方法及一种半导体晶圆的制作方法
【专利摘要】本发明涉及半导体晶圆芯片的加工方法技术领域,尤其是涉及MEMS圆形芯片的划片
标签:
2021-10-26
一种楔形硅结构阵列的制作方法
一种楔形硅结构阵列的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明属于微加工技术领域,具体地讲,涉及一种楔形硅结构阵列的制作方法。
【背景技术】
[00
标签:
2021-10-26
压电驱动双臂式高速引线线夹的制作方法
压电驱动双臂式高速引线线夹的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明属于微器件封装领域,特别是涉及一种压电驱动双臂式高速引线线夹。
【背景技
标签:
2021-10-26
超高加速度位移灵敏度的敏感结构、加速度计及制造方法
超高加速度位移灵敏度的敏感结构、加速度计及制造方法
【专利摘要】本发明公开了一种超高加速度位移灵敏度的敏感结构、加速度计及制造方法。
标签:
2021-10-26
运动传感器的形成方法
运动传感器的形成方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及半导体制造领域,尤其涉及一种运动传感器的形成方法。
【背景技术】
[0002]MEMS (Micro-E
标签:
2021-10-26
一种封装结构及其应用
一种封装结构及其应用
【专利摘要】一种封装结构,包括:封装盖片,配置为覆盖欲封装的器件;封装环,设置在封装盖片欲进行封装的一侧,用于实现欲封装的
标签:
2021-10-26
具有多层隔膜的微机电系统结构的制作方法
具有多层隔膜的微机电系统结构的制作方法
【技术领域】
[0001 ]本发明涉及微机电系统(MEMS),尤其涉及包括多层隔膜的射频MEMS开关。
【背景技
标签:
2021-10-26
在微机电系统感测器中黏滞力减少的方法
在微机电系统感测器中黏滞力减少的方法
【技术领域】
[0001]无
【背景技术】
[0002]本发明的各种实施例和方法大体上涉及微机电系统(MEMS)装
标签:
2021-10-26
一种mems横向刻蚀工艺的监测方法
一种mems横向刻蚀工艺的监测方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及半导体制造领域,特别涉及一种MEMS横向刻蚀工艺的监测方法。
【背景技术】
[00
标签:
2021-10-26
用于高灵敏生化检测的微型双端固支梁传感器的制造方法
用于高灵敏生化检测的微型双端固支梁传感器的制造方法
【专利摘要】一种用于高灵敏生化检测的微型双端固支梁传感器的制造方法,包括:对SOI片进
标签:
2021-10-26
具有多功能盖板的芯片级封装的mems芯片及其制造方法
具有多功能盖板的芯片级封装的mems芯片及其制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及MEMS芯片的制造领域,特别涉及一种具有多功能盖板的芯片级
标签:
2021-10-26
纳米粒子-抗体偶联物的纯化的制作方法
纳米粒子-抗体偶联物的纯化的制作方法
【专利说明】纳米粒子-抗体偶联物的纯化 相关专利申请是交叉引用
[0001] 本申请要求基于2014年6月25日
标签:
2021-10-26
一种基于mems工艺的电磁力喷头的制作方法
一种基于mems工艺的电磁力喷头的制作方法
【技术领域】
[0001] 本发明设及一种基于MEMS工艺的电磁力喷头,无噪音、无热量、无振动、无驱动机
标签:
2021-10-26
一种半导体器件的制作方法
一种半导体器件的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及半导体技术领域,具体而言涉及特别涉及一种半导体器件的制作方法。
【背景技术】
[00
标签:
2021-10-26
钢结构的表面加工方法
钢结构的表面加工方法
【专利摘要】本发明涉及钢结构的表面加工方法,其包括以下步骤:提供一轴承钢,在轴承钢表面通过胶体自组装的方法形成一SiO2
标签:
2021-10-26
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