一种镀膜设备的制作方法

1.本技术涉及太阳能电池制造的技术领域，尤其是涉及一种镀膜设备。


背景技术：

2.目前，一类先进高效的晶体硅太阳电池是基于非晶硅/晶体硅异质结结构。其生产技术中非常关键的两个步骤是非晶硅基薄膜的沉积以及透明导电层的沉积。比较常用的非晶硅基薄膜的沉积方法是低温化学气相沉积法，包括等离子体化学气相沉积和热丝化学气相沉积两种；而透明导电层的制备一般采用物理气相沉积(physical vapor deposition，简称pvd)法。
3.物理气相沉积法使用的pvd设备中设有镀膜腔室，在镀膜腔室中有检测载板的红外传感器，用来检测载板的位置，然后传输相应的信号，pvd设备的红外传感器包括红外传感器、第一透光玻璃、第二透光玻璃和红外反光板，当腔室内靶材的粉尘掉到下透光玻璃，红外光发射到粉尘，粉尘对红外光线的传播形成阻碍，红外传感器接收异常信号，此时需要打开镀膜腔室进行清理和维修，降低设备利用率。


技术实现要素：

4.有鉴于此，本技术提供一种镀膜设备，解决了现有技术中红外传感器接收异常信号的问题，提高设备利用率。
5.本技术提供的一种镀膜设备采用如下的技术方案：
6.一种镀膜设备，包括镀膜腔室和红外传感器，所述红外传感器的发射窗口上安装有透光玻璃，所述镀膜腔室内设有吹气管，所述吹气管的出气口朝向所述透光玻璃，用于对所述透光玻璃的表面进行吹扫。
7.通过采用上述技术方案，腔室内靶材的粉尘或其他杂质落到透光玻璃上之后，红外传感器发射的红外光会被粉尘阻挡，不论有没有载板通过，红外传感器均接收不到信号，导致红外传感器接收信号异常，吹气管对透光玻璃进行吹扫，将透光玻璃上粉尘清除，减少透光玻璃上粉尘对红外光的阻挡，减少红外传感器接收信号的异常。不用打开镀膜腔室进行清理，减少停机时间，提高设备利用率。
8.可选的，所述吹气管的进气口连通有稀有气体的气源，所述吹气管的进气口设置于镀膜腔室的外部。
9.通过采用上述技术方案，稀有气体比较稳定，进入镀膜腔室中，对镀膜腔室中的气相沉积影响较小。吹气管穿过镀膜腔室的侧壁，气源设置在镀膜腔室的外侧，方便更换气源，同时减少对原有镀膜腔室的改变，容易加工。
10.可选的，所述吹气管位于镀膜腔室的管体上安装有阀门，所述阀门用于控制吹气管的启闭。
11.通过采用上述技术方案，阀门的开关来控制吹气管出气口是否吹气，在镀膜设备运行正常的时候关闭阀门，节约气源。
12.可选的，所述吹气管的外周套设有密封圈和法兰，所述密封圈和吹气管的外壁贴合，所述法兰与镀膜腔室固定连接，所述法兰将所述密封圈压紧在镀膜腔室的腔壁上。
13.通过采用上述技术方案，被法兰压紧的密封圈将吹气管和镀膜腔室的侧壁之间的缝隙进行封闭，保证镀膜设备的密封性。
14.可选的，所述吹气管的出气口上连通有导气管，所述导气管与所述透光玻璃的夹角大于0
°
而小于90
°
，且所述导气管的出气口正对所述红外传感器的发射端。
15.通过采用上述技术方案，导气管在避开红外传感器发射区和接收区的同时正对红外线的发射端，提高对透光玻璃正对发射端位置上的粉尘的清理效果。
16.可选的，所述吹气管和所述导气管为硬质管，所述镀膜腔室内的所述吹气管固定在所述镀膜腔室的内壁上，所述导气管与所述吹气管固定连接。
17.通过采用上述技术方案，硬质管固定在镀膜腔室中，吹气管和导气管进行吹气时，吹气管和导气管的晃动较小，使吹气管和导气管稳定的对透光玻璃进行清除，提高真空投光玻璃上粉尘的清除效率。
18.可选的，所述镀膜腔室内设有抽气管，所述抽气管的进气口设置于所述镀膜腔室内，且所述抽气管的进气口正对所述透光玻璃，用以收集从所述透光玻璃表面上脱离的物质。
19.通过采用上述技术方案，从透光玻璃表面上脱离的粉尘等其他杂质通过抽气管收集，减少从透光玻璃表面上脱离的粉尘在镀膜腔室中的飘散，减少附着到镀膜腔室其他位置的粉尘，减少粉尘遮挡透光玻璃的情况，从而减少红外传感器接收信号接收异常的情况。
20.可选的，所述镀膜腔室上连通有抽真空管，所述抽气管与抽真空管连通。
21.通过采用上述技术方案，抽气管与抽真空管连通，收集的粉尘经过抽气管和抽真空管排出镀膜腔室。同时抽气管的动力源也来源于抽真空管。
22.可选的，所述镀膜设备还包括红外反光板，所述红外反光板和所述红外传感器分别安装在所述镀膜腔室相对的侧壁上，所述红外反光板用于将所述红外传感器发射的红外线返回至红外传感器。
23.可选的，所述吹气管设置于红外传感器的发射口和接收口的外侧。
24.综上所述，本技术包括以下有益技术效果：
25.腔室内靶材的粉尘落到透光玻璃上之后，红外传感器发射的红外光会被粉尘阻挡，造成红外传感器接收信号异常；吹气管对透光玻璃进行吹扫，将透光玻璃上粉尘清除，减少透光玻璃上粉尘对红外光的阻挡，减少红外传感器接收信号的异常。不用打开镀膜腔室进行清理，减少停机时间，提高设备利用率。
附图说明
26.为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
27.图1为本技术实施例的镀膜设备的结构示意图。
28.附图标记说明：1、镀膜腔室；2、红外传感器；21、透光玻璃；3、红外反光板；4、吹气管；41、导气管；5、法兰；51、密封圈；6、阀门；7、抽气管；71、抽真空管。
具体实施方式
29.下面结合附图对本技术实施例进行详细描述。
30.以下通过特定的具体实例说明本技术的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本技术的其他优点与功效。显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。本技术还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本技术的精神下进行各种修饰或改变。需说明的是，在不冲突的情况下，以下实施例及实施例中的特征可以相互组合。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
31.要说明的是，下文描述在所附权利要求书的范围内的实施例的各种方面。应显而易见，本文中所描述的方面可体现于广泛多种形式中，且本文中所描述的任何特定结构及/或功能仅为说明性的。基于本技术，所属领域的技术人员应了解，本文中所描述的一个方面可与任何其它方面独立地实施，且可以各种方式组合这些方面中的两者或两者以上。举例来说，可使用本文中所阐述的任何数目个方面来实施设备及/或实践方法。另外，可使用除了本文中所阐述的方面中的一或多者之外的其它结构及/或功能性实施此设备及/或实践此方法。
32.还需要说明的是，以下实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本技术的基本构想，图式中仅显示与本技术中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。
33.另外，在以下描述中，提供具体细节是为了便于透彻理解实例。然而，所属领域的技术人员将理解，可在没有这些特定细节的情况下实践所述方面。
34.如图1所示，本技术实施例提供一种镀膜设备，包括镀膜腔室1、红外传感器2和红外反光板3，红外传感器2和红外反光板3分别安装在镀膜腔室1相对的侧壁上，红外传感器2的发射口发射红外线到达红外反光板3上，红外反光板3将红外线反射回红外传感器2的接收口，使红外传感器2接收到信号；红外传感器2的发射窗口上安装有透光玻璃21，镀膜腔室1内设有吹气管4，吹气管4的出气口朝向透光玻璃21，用于对透光玻璃21表面进行吹扫，将透光玻璃21表面的粉尘和其他杂质吹扫离开透光玻璃21。
35.吹气管4设置于红外传感器2的发射口和接收口的外侧，使吹气管4避开红外线，保证吹气管4不对红外线的传播造成阻碍。
36.吹气管4的进气口连通有稀有气体的气源。稀有气体也称惰性气体，本实施例中包括氩气。在其他实施方式中，稀有气体还可以是氦气。吹气管4的进气口设置于镀膜腔室1的外部。
37.吹气管4位于镀膜腔室1的管体上安装有阀门6。阀门用于控制吹气管的启闭，从而通过阀门6的开关来控制吹气管4出气口是否吹气。阀门6安装于吹气管4在镀膜腔室1外的管体上。
38.设备运行正常时，在镀膜设备运行正常的时候关闭阀门6，节约气源。红外传感器2接收信号异常时，打开阀门6，吹扫透光玻璃21，直到红外传感器2接收正确信号。
39.吹气管4的外周套设有密封圈51和法兰5，密封圈51和吹气管4的外壁贴合，法兰5
通过螺栓与镀膜腔室1的外侧壁固定连接，法兰5将密封圈51压紧在镀膜腔室1的腔壁上，密封圈51将吹气管4和镀膜腔室1的侧壁之间的缝隙进行封闭，保证镀膜设备的密封性。本实施例中，密封圈51设置于镀膜腔室1的外壁。
40.吹气管4的出气口上连通有导气管41，导气管41与透光玻璃21的夹角大于0
°
而小于90
°
，本实施例中，优选夹角为45
°
；且导气管41的出气口正对红外传感器2的发射端。
41.吹气管4和导气管41为硬质管，镀膜腔室1内的吹气管4固定在镀膜腔室1的内壁上，吹气管4通过多个管卡固定在镀膜腔室1的侧壁上，导气管41与吹气管4固定连接，导气管41和吹气管4一体设置，且为吹气管4和导气管41均为玻璃管。
42.镀膜腔室1内设有抽气管7，抽气管7的进气口设置于镀膜腔室1内，且抽气管7的进气口正对透光玻璃21，用以收集吹气管4吹气时从透光玻璃21表面上脱离的粉尘、杂质等其他物质。
43.镀膜腔室1上连通有抽真空管71，抽气管7与抽真空管71连通，抽真空管71上连通有抽真空泵，抽真空泵作为镀膜腔室1的抽真空动力源，以及抽气管7的动力源。
44.本技术实施例提供一种镀膜设备的实施原理，设备运行正常时，镀膜腔室1没有载板传动时，红外传感器2发射的红外光经过透光玻璃21，由红外反光板3反射回去，红外传感器2接收信号；当有载板传动时，红外传感器2发射的红外光经过透光玻璃21，红外光发射到载板表面，红外传感器2接收不到信号。
45.当腔室内靶材的粉尘落到透光玻璃21上之后，红外传感器2发射的红外光会被粉尘阻挡，不论有没有载板通过，红外传感器2均接收不到反射回的信号，导致红外传感器2接收信号异常，吹气管4对透光玻璃21进行吹扫，将透光玻璃21上粉尘清除；从透光玻璃21表面上脱离的粉尘通过抽气管7和抽真空管71排出镀膜腔室1。减少透光玻璃21上粉尘对红外光的阻挡，减少红外传感器2接收信号的异常。
46.本实施例的镀膜设备，尤其适用于异质结电池片生产过程中采用物理气相沉积法形成透明导电层的工艺，其不用打开镀膜腔室1进行清理，减少停机时间，提高设备利用率。
47.以上所述，仅为本技术的具体实施方式，但本技术的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本技术揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本技术的保护范围之内。因此，本技术的保护范围应以权利要求的保护范围为准。