一种用于立式双面镀膜的基板夹具的制作方法

1.本实用新型涉及半导体器件生产技术领域，特别是涉及一种用于立式双面镀膜的基板夹具。


背景技术：

2.太阳能是人类取之不尽用之不竭的可再生能源.也是清洁能源，不产生任何的环境污染，在太阳能的有效利用当中，太阳能光电利用是近些年来发展最快，最具活力的研究领域，是其中最受瞩目的项目之一，为此，人们研制和开发了太阳能电池，近年来perc太阳能电池进入发展的瓶颈期，异质结太阳能电池与topcon太阳能电池作为新型技术，效率提升潜力大。
3.无论是常规perc电池还是topcon结构、hit结构，都需要等离子体镀膜工艺制备薄膜，目前常规镀膜设备基本为卧式结构，载板采用板式滚轮传动，这种传动方式使用的载板结构常为与硅片尺寸对应的凹槽结构，硅片由于自重被凹槽限制在内，而这种镀膜结构常存在掉渣、需要翻片等缺点，立式镀膜设备也逐渐成为考虑的设计方案，这种方案所需的载板为接近竖直方向传动，则常规载板直接使用则会存在极大几率掉片破片的风险，基于以上缺陷和不足，有必要对现有的技术予以改进，设计出一种用于立式双面镀膜的基板夹具。


技术实现要素：

4.本实用新型主要解决的技术问题是提供一种用于立式双面镀膜的基板夹具，不易出现掉片及歪片现象；便于最大面积的双面镀膜；减小了镀膜遮挡区域，有利于减小基片镀膜无效区；弹簧加挡板的夹紧设计便于实现量产自动化操作。
5.为解决上述技术问题，本实用新型采用的一个技术方案是：提供一种用于立式双面镀膜的基板夹具，该种用于立式双面镀膜的基板夹具包括下托盘、上托盘、基片、夹紧装置和主体支架，所述夹紧装置的锁在主体支架上，所述主体支架用于放置下托盘，下托盘上设有与之配合上托盘，下托盘和上托盘之间装夹有基片，下托盘和上托盘通过夹紧装置夹紧贴合，主体框架有利于加固整个基板夹具减小变形，所述下托盘和上托盘上设有便于镀膜的镂空片位，镂空片位的边缘处向外延伸设置有边缘挡块，镂空片位的四角处设置有四角挡块，上托盘四周框架边缘设置有梯形凸台，下托盘上设置有与梯形凸台配合的梯形凹槽，梯形凸台与梯形凹槽的设计可保证上下托盘合拢时的准确度，同时也可以起到保护边缘挡块和四角挡块的作用，基片被边缘挡块和四角挡块限制在中间狭小的空间，盘立起来后也可保持稳定，便于立式镀膜。
6.优选的是，所述夹紧装置包括锁紧螺柱、弹簧和挡板，所述锁紧螺柱锁附在主体支架上，锁紧螺柱上从上到下依次套有弹簧和挡板，所述挡板延伸部位于下托盘和上托盘上方。
7.优选的是，所述边缘挡块设计为矩形、半圆、三角形或组合，镂空片位边缘垂直尺寸为0.1mm～10mm，镂空片位边缘平行尺寸为0.1mm～10mm，所述边缘挡块数量不限。
8.优选的是，所述四角挡块设计为直倒角、圆倒角或镂空片位的四角处不设挡块，倒角尺寸为0.1mm～10mm。
9.优选的是，所述梯形凸台与梯形凹槽相对应，梯形凸台可完全置于梯形凹槽中并贴合，贴合后梯形面间隙小于0.01mm。
10.优选的是，所述镂空片位设计为单个片位或设计为多个片位。
11.优选的是，所述主体支架上设有与上托盘上镂空片位相对的镂空。
12.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
13.设计为上下托盘对锁夹紧，用于立式镀膜，基片被上下托盘的边缘挡块和四角挡块固定在中间，不易出现掉片及歪片现象；
14.上下托盘都是全开口镂空设计，便于最大面积的双面镀膜；
15.边缘挡块及四角挡块的设计相较于常规的窄连续边缘支撑，大大减小了镀膜遮挡区域，有利于减小基片镀膜无效区；
16.弹簧加挡板的夹紧设计便于实现量产自动化操作。
附图说明
17.图1为一种用于立式双面镀膜的基板夹具的俯视图。
18.图2为一种用于立式双面镀膜的基板夹具的部分侧视图。
19.图3为一种用于立式双面镀膜的基板夹具的测试局部放大图。
20.图4为单个镂空片位上托盘的俯视图。
21.图5为单个镂空片位下托盘的俯视图。
22.图6为多个镂空片位上托盘的俯视图。
23.图7为多个镂空片位下托盘的俯视图。
24.图8为边缘挡块的设计实例。
25.图9为四角挡块的设计实例。
26.图10为主体框架的设计实例。
具体实施方式
27.下面结合附图对本实用新型较佳实施例进行详细阐述，以使实用新型的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本实用新型的保护范围做出更为清楚明确的界定。
28.请参阅图1至图10，本实用新型实施例包括：
29.一种用于立式双面镀膜的基板夹具，该种用于立式双面镀膜的基板夹具包括下托盘01、上托盘02、基片03、夹紧装置04和主体支架05，所述夹紧装置04的锁在主体支架05上，所述主体支架05用于放置下托盘01，下托盘01上设有与之配合上托盘02，下托盘01和上托盘02之间装夹有基片03，下托盘01和上托盘02通过夹紧装置04夹紧贴合，主体框架05有利于加固整个基板夹具减小变形，所述下托盘01和上托盘02上设有便于镀膜的镂空片位，所述主体支架05上设有与上托盘02上镂空片位相对的镂空，镂空片位的边缘处向外延伸设置有边缘挡块012和021，镂空片位的四角处设置有四角挡块，上托盘02四周框架边缘设置有梯形凸台021，下托盘01上设置有与梯形凸台021配合的梯形凹槽011，梯形凸台021与梯形
凹槽011的设计可保证上下托盘合拢时的准确度，同时也可以起到保护边缘挡块和四角挡块的作用，基片03被边缘挡块和四角挡块限制在中间狭小的空间，托盘立起来后也可保持稳定，便于立式镀膜。
30.所述夹紧装置04包括锁紧螺柱041、弹簧042和挡板043，所述锁紧螺柱041锁附在主体支架05上，锁紧螺柱041上从上到下依次套有弹簧042和挡板043，所述挡板043延伸部位于下托盘01和上托盘02上方。
31.所述边缘挡块012和021设计为矩形、半圆、三角形或组合，镂空片位边缘垂直尺寸为0.1mm～10mm，镂空片位边缘平行尺寸为0.1mm～10mm，所述边缘挡块数量不限。
32.所述四角挡块设计为直倒角、圆倒角或镂空片位的四角处不设挡块，倒角尺寸为0.1mm～10mm。
33.所述梯形凸台与梯形凹槽相对应，梯形凸台可完全置于梯形凹槽中并贴合，贴合后梯形面间隙小于0.01mm。
34.具体实施例一：
35.上托盘02上设计有单个镂空片位，如图3所示，镂空片位为全开口镂空，便于双面镀膜，相应的下托盘01设计如图4所示，下托盘01中间设计为全开口镂空。
36.具体实施例二：
37.上托盘02上设计有多个镂空片位，镂空片位呈规则排列的全开口镂空状，如图5所示，相应的下托盘01设计如图6所示，下托盘01中间设计为有规则排列的全开口镂空。
38.本实用新型一种用于立式双面镀膜的基板夹具工作时，基片03放置到下托盘01放置完毕后，施加力到夹紧装置04的挡板043，上压缩弹簧042留出空位，上托盘02可平行移入对应位置，梯形凸台021与梯形凹槽011贴合放置，上托盘02与下托盘01贴合，基板03被两托盘的边缘挡块和四角挡块固定在中间位置，抽去施加在挡板043上的力，挡板043在弹簧042的弹力作用下将上托盘02与下托盘01夹紧，基片03被边缘挡块和四角挡块限制在中间狭小的空间，托盘立起来后也可保持稳定，便于立式镀膜，基片03从基板夹具上取片时，同样施加力到夹紧装置0的挡板043上，上压缩弹簧042留出空位，上托盘02沿锁紧螺柱041上移平行移开，基片03则裸露出来可取片。
39.本实用新型一种用于立式双面镀膜的基板夹具，不易出现掉片及歪片现象；便于最大面积的双面镀膜；减小了镀膜遮挡区域，有利于减小基片镀膜无效区；弹簧加挡板的夹紧设计便于实现量产自动化操作。
40.以上所述仅为本实用新型的实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。