一种镀膜设备的制作方法

技术特征：
1.一种镀膜设备，包括镀膜腔室和红外传感器，所述红外传感器的发射窗口上安装有透光玻璃，其特征在于，所述镀膜腔室内设有吹气管，所述吹气管的出气口朝向所述透光玻璃，用于对所述透光玻璃的表面进行吹扫。2.根据权利要求1所述的镀膜设备，其特征在于，所述吹气管的进气口连通有稀有气体的气源，所述吹气管的进气口设置于所述镀膜腔室的外部。3.根据权利要求2所述的镀膜设备，其特征在于，所述吹气管位于镀膜腔室的管体上安装有阀门，所述阀门用于控制所述吹气管的启闭。4.根据权利要求2所述的镀膜设备，其特征在于，所述吹气管的外周套设有密封圈和法兰，所述密封圈和所述吹气管的外壁贴合，所述法兰与所述镀膜腔室固定连接，所述法兰将所述密封圈压紧在所述镀膜腔室的腔壁上。5.根据权利要求1所述的镀膜设备，其特征在于，所述吹气管的出气口上连通有导气管，所述导气管与所述透光玻璃的夹角大于0
°
而小于90
°
，且所述导气管的出气口正对所述红外传感器的发射端。6.根据权利要求5所述的镀膜设备，其特征在于，所述吹气管和所述导气管为硬质管，所述镀膜腔室内的所述吹气管固定在所述镀膜腔室的内壁上，所述导气管与所述吹气管固定连接。7.根据权利要求1所述的镀膜设备，其特征在于，所述镀膜腔室内设有抽气管，所述抽气管的进气口设置于所述镀膜腔室内，且所述抽气管的进气口正对所述透光玻璃，用以收集从所述透光玻璃表面上脱离的物质。8.根据权利要求7所述的镀膜设备，其特征在于，所述镀膜腔室上连通有抽真空管，所述抽气管与所述抽真空管连通。9.根据权利要求1
‑
8任一项所述的镀膜设备，其特征在于，所述镀膜设备还包括红外反光板，所述红外反光板设置于与所述红外传感器相对的所述镀膜腔室的侧壁上，所述红外反光板用于将所述红外传感器发射的红外线返回至所述红外传感器。10.根据权利要求1
‑
8任一项所述的镀膜设备，其特征在于，所述吹气管设置于所述红外传感器的发射口和接收口的外侧。

技术总结
本申请实施例中提供了一种镀膜设备，属于太阳能电池制造技术领域，具体包括镀膜腔室和红外传感器，红外传感器的发射窗口上安装有透光玻璃，镀膜腔室内设有吹气管，吹气管的出气口朝向透光玻璃，用于对透光玻璃的表面进行吹扫。通过本申请的处理方案，解决了红外传感器接收异常信号的问题，提高设备利用率。提高设备利用率。提高设备利用率。


技术研发人员：ꢀ(74)专利代理机构
受保护的技术使用者：宣城睿晖宣晟企业管理中心合伙企业（有限合伙）
技术研发日：2020.12.04
技术公布日：2021/11/28