用于工作台系统的载物台的制作方法

技术特征：
1.一种用于工作台系统的载物台，所述载物台包括：构件，设置有被布置为支撑所述物体的多个气体轴承装置；以及控制装置，其中每个气体轴承装置包括自由表面，所述自由表面具有在所述自由表面中的多个排放开口以及在所述自由表面中的入口开口，所述多个排放开口形成在多孔材料中，并且所述入口开口由所述多个排放开口包围，其中所述自由表面被布置为支撑所述物体并且被所述物体覆盖，其中所述排放开口被布置为提供加压气体，并且所述入口开口被布置为提供亚大气压，其中所述控制装置被布置为通过控制至少一个气体轴承装置的所述排放开口处的压力和/或气体流速来改变所述物体的形状。2.根据权利要求1所述的载物台，其中所述气体轴承装置是圆形的。3.根据权利要求1或2所述的载物台，包括测量系统，所述测量系统适于在所述气体轴承装置的激活期间，获得被布置在所述构件上或上方的所述物体的形状数据。4.根据权利要求3所述的载物台，其中所述测量系统的至少一部分被布置在所述构件上。5.根据权利要求3所述的载物台，其中所述测量系统包括电容传感器。6.根据权利要求3所述的载物台，其中所述控制装置适于从所述测量系统接收所述形状数据，以控制所述排放开口中的压力和/或气体流量。7.根据权利要求1
‑
2和4
‑
6中的一项所述的载物台，其中所述多个气体轴承装置包括多个气体轴承组，其中所述控制装置被布置为对至少一个气体轴承组中的所述排放开口处的压力和/或气体流速与至少一个其他气体轴承组的所述排放开口处的压力和/或气体流速单独地进行控制。8.根据权利要求7所述的载物台，其中所述控制装置被布置为控制相应气体轴承组的激活的定时。9.根据权利要求1所述的载物台，其中气体轴承装置包括围绕所述入口开口的多个排放开口。10.根据权利要求1或9所述的载物台，其中所述控制装置适于通过控制至少一个气体轴承装置的所述入口开口处的压力和/或气体流速来改变所述物体的形状。

技术总结
本发明涉及一种用于工作台系统的载物台。根据本发明，提供了多个空气轴承装置。每个空气轴承装置包括：空气轴承本体，所述空气轴承本体具有自由表面；主通道，所述主通道延伸穿过所述空气轴承本体并且具有在所述自由表面中的入口开口；辅通道系统，所述辅通道系统延伸穿过所述空气轴承本体并且具有在所述自由表面中的多个排放开口。所述辅通道系统中的流阻高于所述主通道中的流阻。阻高于所述主通道中的流阻。阻高于所述主通道中的流阻。


技术研发人员：S
受保护的技术使用者：ASML荷兰有限公司
技术研发日：2017.06.12
技术公布日：2021/10/8