光源装置、照明装置以及曝光装置的制作方法

技术特征：
1.一种光源装置，其特征在于，上述光源装置具有：led阵列，该led阵列具备基板、配置在上述基板上的第一led芯片和发光效率比上述第一led芯片高的第二led芯片；以及冷却器，该冷却器用于利用从制冷剂入口流向制冷剂出口的制冷剂来冷却上述led阵列，上述第一led芯片相比上述第二led芯片配置在上述冷却器的制冷剂入口侧。2.如权利要求1所述的光源装置，其特征在于，上述冷却器配置成跟上述基板中与配置有上述第一led芯片以及第二led芯片的面相反侧的面接触，上述冷却器的冷却能力对应于上述基板的区域而有所不同。3.如权利要求1所述的光源装置，其特征在于，上述冷却器的制冷剂入口侧的冷却能力比上述冷却器的制冷剂出口侧的冷却能力大。4.如权利要求1所述的光源装置，其特征在于，上述led阵列包括多个芯片列，该芯片列串联连接有多个led芯片，上述制冷剂流动的方向包括相对于上述芯片列中的led芯片的排列方向水平的分量。5.如权利要求1所述的光源装置，其特征在于，上述led阵列包括多个芯片列，该芯片列串联连接有多个led芯片，上述制冷剂流动的方向包括相对于上述芯片列中的led芯片的排列方向垂直的分量。6.如权利要求5所述的光源装置，其特征在于，在上述led阵列中，配置有基于发光效率而分类成至少2个等级的led芯片，上述芯片列由分类成相同等级的led芯片构成。7.如权利要求6所述的光源装置，其特征在于，配置在上述上述冷却器的制冷剂入口侧的芯片列的led芯片的发光效率比配置在上述冷却器的制冷剂出口侧的芯片列的led芯片的发光效率低。8.如权利要求1所述的光源装置，其特征在于，在上述基板上二维地排列有多个led芯片。9.如权利要求1所述的光源装置，其特征在于，上述发光效率是光输出的大小相对于施加于led芯片的电力的比例。10.如权利要求1所述的光源装置，其特征在于，上述光源装置还具有包括电源的控制部，上述控制部对流向上述第一led芯片及上述第二led芯片的电流以及施加于电源的电压中的至少一方进行控制，以便上述照明面成为目标光照强度。11.如权利要求1所述的光源装置，其特征在于，上述制冷剂的主成分是油。12.如权利要求1所述的光源装置，其特征在于，上述制冷剂的主成分是水。13.一种照明装置，其特征在于，上述照明装置具有：权利要求1～12中任一项所述的光源装置；以及
聚光透镜，使分别来自上述光源装置中的多个led芯片的照明光经由上述聚光透镜重合。14.一种曝光装置，该曝光装置对基板进行曝光，其特征在于，上述曝光装置具有：权利要求13所述的照明装置，该照明装置对掩模进行照明；以及曝光机构，该曝光机构将上述掩模的图案曝光到基板上。15.一种物品制造方法，其特征在于，上述物品制造方法具有：使用权利要求14所述的曝光装置对基板进行曝光的工序；以及对经受过曝光的基板进行显影的工序，从经受过显影的基板制造物品。

技术总结
本发明提供光源装置、照明装置以及曝光装置。在以LED为光源的光源装置中抑制光的总输出降低。光源装置具有LED阵列和冷却器，该LED阵列具备基板、配置在上述基板上的第一LED芯片和发光效率比上述第一LED芯片高的第二LED芯片，该冷却器用于利用从制冷剂入口流向制冷剂出口的制冷剂来冷却上述LED阵列，上述第一LED芯片相比上述第二LED芯片配置在上述冷却器的制冷剂入口侧。器的制冷剂入口侧。器的制冷剂入口侧。


技术研发人员：安永大辅 昼间健太郎
受保护的技术使用者：佳能株式会社
技术研发日：2021.03.03
技术公布日：2021/10/7