一种光刻机用真空手臂的制作方法

1.本实用新型属于半导体生产设备领域，具体地涉及一种光刻机用真空手臂。


背景技术：

2.光刻机是芯片制造的核心设备之一，半导体制造工序中，需要光刻机上的真空手臂部件进行晶圆的拾取及传递动作，真空手臂通常由手臂及手臂上的两个吸盘和定位销组成，以往的真空手臂存在设计缺陷，真空进口的位置在吸盘的正上方，直接通向吸盘，使两个吸盘在吸取晶圆时，两处吸盘吸力不均衡，不能够同时作用，工作不稳定，且吸盘属于消耗件，其磨损后不易更换，更换吸盘后需要反复调整定位销，使手臂以水平位置接触晶圆，并且由于吸盘过于扁平，要调整到与晶圆的最佳接触位置非常困难并且浪费时间，此真空手臂为国外进口，交货期长，存在断货风险，价格昂贵。
3.因此，亟需一种新型的真空手臂，在吸取晶圆时，工作更稳定，调整便捷。


技术实现要素：

4.为克服上述现有技术的不足，本实用新型提供了一种光刻机用真空手臂，通过对其结构的设计，使得两个吸盘可以同时吸取晶圆，工作稳定，调整便捷，更换方便。
5.为了实现上述目的，本实用新型采用的技术方案是：
6.一种光刻机用真空手臂，包括手臂本体、真空吸盘、水平定位销组，所述手臂本体为长方体结构，其表面设有呈三角形分布的三个螺纹通孔，其中两个所述螺纹通孔位于手臂本体的左部，另外一个螺纹通孔位于手臂本体的右部，所述手臂本体中间位置镶嵌有一个钢丝螺套，所述手臂本体的表面还设有对称分布的两个螺纹盲孔，所述手臂本体的左侧面设有一个真空进口，所述真空进口与左部的螺纹盲孔贯通，所述手臂本体的左侧面还设有一个真空通道，所述真空通道沿轴向贯穿手臂本体，所述手臂本体的侧面还设有分别与两个螺纹盲孔相对应的两个导通孔，所述每个导通孔依次贯通真空通道、螺纹盲孔，每个所述螺纹盲孔均螺纹固定连接有一个真空吸盘，所述水平定位销组包括三个水平定位销，所述水平定位销为螺销，每个所述螺纹通孔均螺纹配合连接有一个水平定位销。
7.优选地，所述真空进口、真空通道、导通孔的端部均设有一定深度的内螺纹。
8.优选地，所述三个水平定位销的底端部在同一水平面上。
9.本实用新型的有益效果为：
10.1.本实用新型的水平定位销采用三点式设计，使得手臂本体更容易调整水平，真空吸盘与手臂本体螺纹连接，更换更便捷。
11.2.本实用新型的真空进口设置在手臂本体的侧面，两个真空吸盘通过真空通道导通，使两个真空吸盘在工作时，真空更加均衡，能够同时吸取晶圆，工作更加稳定。
12.3.本实用新型通过钢丝螺套与光刻机主体部分相连，拆卸方便，替换容易，真空吸盘采用螺纹安装固定方式，安装更换方便快捷，稳定牢靠，且此真空手臂，与原来进口的相比，成本低，质量好，能够实现国产化的替代。
附图说明
13.图1为本实用新型的示意图；
14.图2为本实用新型的a
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a处的剖面图；
15.图中所示附图标记为：1
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手臂本体、2
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真空吸盘、3
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水平定位销、4
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螺纹通孔、5
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钢丝螺套、6
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螺纹盲孔、7
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真空进口、8
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真空通道、9
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导通孔、10
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内螺纹。
具体实施方式
16.以下结合附图对本设计方案进行详细说明。
17.如图1
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图2所示，一种光刻机用真空手臂，包括手臂本体1、真空吸盘2、水平定位销组，其中手臂本体1为长方体结构，其表面设有呈三角形分布的三个螺纹通孔4，其中两个螺纹通孔4位于手臂本体1的左部，另外一个螺纹通孔4位于手臂本体1的右部，手臂本体1中间位置镶嵌有一个钢丝螺套5，手臂本体1的表面还设有对称分布的两个螺纹盲孔6，手臂本体1的左侧面设有一个真空进口7，真空进口7与左部的螺纹盲孔6贯通，手臂本体1的左侧面还设有一个真空通道8，真空通道8沿轴向贯穿手臂本体1，手臂本体1的侧面还设有分别与两个螺纹盲孔6相对应的两个导通孔9，每个导通孔9依次贯通真空通道8、螺纹盲孔6，每个螺纹盲孔6与真空吸盘2螺纹固定连接，水平定位销组包括三个水平定位销3，水平定位销3为螺销，每个螺纹通孔4均螺纹配合连接有一个水平定位销3。
18.其中，真空进口7、真空通道8、导通孔9的端部均设有一定深度的内螺纹10，应用时，真空进口7通过内螺纹10连接真空管路接头，真空通道8与导通孔9的端部均使用销轴拧紧密封。
19.其中，三个水平定位销3的底端部在同一水平面上。
20.实施例
21.本实用新型应用时，将真空吸盘2拧紧到螺纹盲孔6内，真空进口7通过内螺纹10连接真空管路接头，真空通道8与导通孔9的端部均使用销轴拧紧密封，将钢丝螺套5嵌入到手臂本体1的中间位置，通过钢丝螺套5与光刻机的机械手螺纹连接，将水平定位销3拧入螺纹通孔4内，调节三处水平定位销3的高度使得手臂本体1水平，手臂本体1能够以水平位置接触晶圆，真空管路形成负压，负压通过导通的真空进口7、真空通道8、螺纹盲孔6，直至真空吸盘2，使得两个真空吸盘2接触晶圆时，对晶圆产生吸附的作用。


技术特征：
1.一种光刻机用真空手臂，其特征在于，包括手臂本体、真空吸盘、水平定位销组，所述手臂本体为长方体结构，其表面设有呈三角形分布的三个螺纹通孔，其中两个所述螺纹通孔位于手臂本体的左部，另外一个螺纹通孔位于手臂本体的右部，所述手臂本体中间位置镶嵌有一个钢丝螺套，所述手臂本体的表面还设有对称分布的两个螺纹盲孔，所述手臂本体的左侧面设有一个真空进口，所述真空进口与左部的螺纹盲孔贯通，所述手臂本体的左侧面还设有一个真空通道，所述真空通道沿轴向贯穿手臂本体，所述手臂本体的侧面还设有分别与两个螺纹盲孔相对应的两个导通孔，所述每个导通孔依次贯通真空通道、螺纹盲孔，每个所述螺纹盲孔均螺纹固定连接有一个真空吸盘，所述水平定位销组包括三个水平定位销，所述水平定位销为螺销，每个所述螺纹通孔均螺纹配合连接有一个水平定位销。2.根据权利要求1所述的一种光刻机用真空手臂，其特征在于，所述真空进口、真空通道、导通孔的端部均设有一定深度的内螺纹。3.根据权利要求1所述的一种光刻机用真空手臂，其特征在于，所述三个水平定位销的底端部在同一水平面上。

技术总结
本实用新型公开了一种光刻机用真空手臂，包括手臂本体、真空吸盘、水平定位销组，其中手臂本体为长方体结构，其表面设有呈三角形分布的三个螺纹通孔，手臂本体中间位置镶嵌有一个钢丝螺套，手臂本体的表面还设有对称分布的两个螺纹盲孔，手臂本体的左侧面设有一个真空进口，真空进口与左部的螺纹盲孔贯通，手臂本体的左侧面还设有一个真空通道，手臂本体的侧面还设有分别与两个螺纹盲孔相对应的两个导通孔，每个螺纹盲孔均螺纹固定连接有一个真空吸盘，水平定位销组与螺纹通孔均配合连接，此真空手臂拆卸方便，两个真空吸盘在工作时，真空更加均衡，能够同时吸取晶圆，工作稳定，与原来进口的相比，成本低，性能好，能够实现国产化的替代。替代。替代。


技术研发人员：王僖
受保护的技术使用者：吉林瑞能半导体有限公司
技术研发日：2021.02.02
技术公布日：2021/9/24