一种MEMS衍射波导显示装置的制作方法

技术特征：
1.一种mems衍射波导显示装置，其特征在于，包括：衍射波导显示组件(500)、mems扫描镜(631)和激光发射器(610)；其中，所述mems扫描镜(631)与激光发射器(610)分设在所述衍射波导显示组件(500)的两侧组成mems激光扫描系统，该mems扫描镜(631)与激光发射器(610)的位置与所述衍射波导显示组件(500)的入射光栅(512)位置对应；所述入射光栅(512)上设有激光入射通孔(518)，所述激光发射器(610)的激光能通过所述激光入射通孔(518)直接入射到所述mems扫描镜(631)上；所述mems扫描镜(631)设置在所述衍射波导显示组件(500)的入射光栅(512)上方。2.根据权利要求1所述的mems衍射波导显示装置，其特征在于，所述mems扫描镜(631)水平设置在所述衍射波导显示组件(500)的入射光栅(512)上方。所述激光发射器(610)设置在所述入射光栅(512)底部的波导基板(501)的底面的下方。3.根据权利要求1所述的mems衍射波导显示装置，其特征在于，所述激光入射通孔(518)位于所述入射光栅(512)的中心处。4.根据权利要求1至3任一项所述的mems衍射波导显示装置，其特征在于，所述激光入射通孔(518)的直径不小于所述激光发射器(610)发射激光的直径。5.根据权利要求1至3任一项所述的mems衍射波导显示装置，其特征在于，所述激光发射器(610)采用红、绿、蓝三色激光器；或者激光发射器采用单色激光器；所述mems扫描镜(631)采用一个二维mems扫描镜，或者，所述mems扫描镜采用扫描轴互相垂直的两个一维mems扫描镜。6.根据权利要求1至3任一项所述的mems衍射波导显示装置，其特征在于，所述衍射波导显示组件(500)包括：与所述入射光栅(512)间隔设置的转折光栅(514)，以及与所述转折光栅(514)间隔设置的出射光栅(516)。7.根据权利要求1至3任一项所述的mems衍射波导显示装置，其特征在于，所述衍射波导显示组件(500)包括：与所述入射光栅(512)间隔设置的二维出射光栅。

技术总结
本发明公开了一种MEMS衍射波导显示装置，包括：衍射波导显示组件、MEMS扫描镜和激光发射器；其中，MEMS扫描镜与激光发射器分设在衍射波导显示组件的两侧，该MEMS扫描镜与激光发射器的位置与衍射波导显示组件的入射光栅位置对应；入射光栅上设有激光入射通孔，激光发射器的激光能通过激光入射通孔直接入射到MEMS扫描镜上；MEMS扫描镜设置在衍射波导显示组件的入射光栅上方。通过在衍射波导组件的入射光栅上设置激光入射通孔，实现了将激光发射器和MEMS扫描镜分开放置于衍射波导组件两侧的同时，不会产生杂散光影响显示，使得这种结构的衍射波导显示装置，不仅扫描角度更大，显示图像也可以更大，而且结构更紧凑、均衡。均衡。均衡。


技术研发人员：李会会 王丙杰 张威 李双龙 史晓刚
受保护的技术使用者：北京枭龙科技有限公司
技术研发日：2021.06.24
技术公布日：2021/9/24