一种850nm波段的光纤与波导耦合模斑转换器的制作方法

技术特征：
1.一种850nm波段的光纤与波导耦合模斑转换器，其特征在于，包括下包层(1)，所述下包层(1)的上端面依次覆有三端口y分支下包层(2)和su
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8锥形结构(3)，所述三端口y分支下包层(2)的上端面覆有波导组件，所述波导组件的一侧连接su
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8锥形结构(3)、另一侧连接波导组，所述波导组件的上端面对应三端口y分支下包层(2)覆有三端口y分支上包层(9)；其中，沿所述下包层(1)的长度方向：所述下包层(1)和su
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8锥形结构(3)形成第一级模斑转换模块，所述下包层(1)、三端口y分支下包层(2)以及三端口y分支上包层(9)、通过与波导组件和波导组分别依次形成第二级模斑转换模块和第三级模斑转换模块，所述光纤与波导耦合模斑转换器的整体结构一体成型；在光纤传输的光场进入光纤与波导耦合模斑转换器的情形下，所述第一级模斑转换模块、第二级模斑转换模块以及第三级模斑转换模块对光场进行过渡压缩，转换为单模后输出。2.根据权利要求1所述的一种850nm波段的光纤与波导耦合模斑转换器，其特征在于，所述波导组件包括第一弯曲波导(4)、直波导(5)以及第二弯曲波导(6)，所述第一弯曲波导(4)和第二弯曲波导(6)对应直波导(5)排布为y型，所述y型的开口端与su
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8锥形结构(3)连接，所述y型的聚拢端连接波导组。3.根据权利要求2所述的一种850nm波段的光纤与波导耦合模斑转换器，其特征在于，所述第一弯曲波导(4)、直波导(5)、第二弯曲波导(6)以及波导组的材料均采用氮化硅。4.根据权利要求2所述的一种850nm波段的光纤与波导耦合模斑转换器，其特征在于，所述波导组包括连接y型的聚拢端依次设置的第一波导(7)和第二波导(8)，所述第一波导(7)设置为梯形结构，所述梯形结构的下底连接y型的聚拢端，所述梯形结构的上底连接第二波导(8)，所述第二波导(8)设置为矩形结构。5.根据权利要求2所述的一种850nm波段的光纤与波导耦合模斑转换器，其特征在于，所述su
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8锥形结构(3)为棱台结构，所述棱台结构的上底与y型的开口端连接。6.根据权利要求1所述的一种850nm波段的光纤与波导耦合模斑转换器，其特征在于，所述下包层(1)、三端口y分支下包层(2)以及三端口y分支上包层(9)的材料均采用二氧化硅。7.根据权利要求1所述的一种850nm波段的光纤与波导耦合模斑转换器，其特征在于，所述三端口y分支上包层(9)的厚度尺寸大于三端口y分支下包层(2)的厚度尺寸。

技术总结
本发明一种850nm波段的光纤与波导耦合模斑转换器，包括下包层，三端口Y分支下包层、SU


技术研发人员：雷思琛 韩笑笑 吴鹏飞 谭振坤 王姣 刘涵颖
受保护的技术使用者：西安理工大学
技术研发日：2021.05.31
技术公布日：2021/9/16