技术特征：
1.一种磁控溅射阴极磁轭，包括第二定位端头(1)、不锈钢外壳(2)、螺纹端头(3)、第一定位端头(4)和中心管(12)，其特征在于：所述中心管(12)的两端分别焊接有第一定位端头(4)和螺纹端头(3)，所述中心管(12)的一端位于第一定位端头(4)的外侧焊接有第二定位端头(1)，所述中心管(12)上位于螺纹端头(3)和第一定位端头(4)之间套接有第一轭铁片(10)和第二轭铁片(11)，所述第一轭铁片(10)上开设有第一卡槽(13)，所述第一轭铁片(10)通过第一卡槽(13)限位安装有扇形磁铁(5)，所述第二轭铁片(11)上开设有第二卡槽(14)，所述第二轭铁片(11)通过第二卡槽(14)限位安装有内侧磁铁(6)和外侧磁铁(7)，所述内侧磁铁(6)的两端位于内侧磁铁(6)和扇形磁铁(5)之间安装有磁铁限位件(8)，所述内侧磁铁(6)、外侧磁铁(7)、第一轭铁片(10)和第二轭铁片(11)的外侧套接有不锈钢外壳(2)。2.根据权利要求1所述的一种磁控溅射阴极磁轭，其特征在于：所述磁铁限位件(8)朝向内侧磁铁(6)的一端开设有凹槽，且凹槽内安装有小磁铁。3.根据权利要求1所述的一种磁控溅射阴极磁轭，其特征在于：所述第一卡槽(13)位于第一轭铁片(10)的顶部表面，且所述第一卡槽(13)的形状及大小与扇形磁铁(5)的形状及大小相适配。4.根据权利要求1所述的一种磁控溅射阴极磁轭，其特征在于：所述第二轭铁片(11)上共设有三个第二卡槽(14)，且所述第二卡槽(14)在第二轭铁片(11)的顶端表面均匀分布。5.根据权利要求1所述的一种磁控溅射阴极磁轭，其特征在于：所述不锈钢外壳(2)与螺纹端头(3)和第一定位端头(4)之间的缝隙通过硅胶填充密封。6.根据权利要求1所述的一种磁控溅射阴极磁轭，其特征在于：所述螺纹端头(3)和第一定位端头(4)上均贯穿开设有螺丝孔(9)，所述不锈钢外壳(2)的内部通过螺丝孔(9)填充环氧树脂。
技术总结
本实用新型公开了一种磁控溅射阴极磁轭，包括第二定位端头、不锈钢外壳、螺纹端头、第一定位端头和中心管，所述中心管的一端位于第一定位端头的外侧焊接有第二定位端头，所述中心管上位于螺纹端头和第一定位端头之间套接有第一轭铁片和第二轭铁片，所述第一轭铁片上开设有第一卡槽，所述第一轭铁片通过第一卡槽限位安装有扇形磁铁，所述第二轭铁片上开设有第二卡槽，所述第二轭铁片通过第二卡槽限位安装有内侧磁铁和外侧磁铁，所述内侧磁铁的两端位于内侧磁铁和扇形磁铁之间安装有磁铁限位件，所述内侧磁铁、外侧磁铁、第一轭铁片和第二轭铁片的外侧套接有不锈钢外壳。本实用新型具备结构简单，便于加工，进而降低生产成本的优点。进而降低生产成本的优点。进而降低生产成本的优点。
技术研发人员：黄毓彬
受保护的技术使用者：深圳市三钛科技有限公司
技术研发日：2021.03.31
技术公布日：2021/10/8
再多了解一些
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