偏振分离装置和包括该装置的差分干涉仪和差分对比度光学显微镜的制作方法

技术特征：
1.一种偏振分离装置(1)，用于接收入射光束(100)，所述装置(1)包括：第一几何相位透镜(l1)，所述第一几何相位透镜具有第一光学中心(o1)、第一光轴(z1)、用于第一圆偏振态的正第一焦距(f1)以及用于与第一圆偏振态正交的另一圆偏振态的相反焦距(
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f1)；以及第二几何相位透镜(l2)，所述第二几何相位透镜具有第二光学中心(o2)、第二光轴(z2)和用于所述第一圆偏振态的正第二焦距(f2)以及用于所述另一圆偏振态的相反焦距(
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f2)，所述第一光轴(z1)和所述第二光轴(z2)形成小于几度的角度，所述第一几何相位透镜和第二几何相位透镜根据所述第一光轴(z1)彼此分开第一距离(d)，所述装置(1)被配置和引导成使得所述第一光学中心(o1)根据所述第一光轴(z1)在所述第二几何相位光学透镜(l2)上的投影(p1)位于距所述第二光学中心(o2)非零第二距离(e)处，所述第一距离(d)小于所述第一焦距(f1)和所述第二焦距(f2)。2.根据权利要求1所述的偏振分离装置(1)，其中，所述第一焦距(f1)与所述第二焦距(f2)具有小于或等于10％的差值。3.根据权利要求1或2所述的偏振分离装置(1)，其中，所述第二光轴(z2)相对于所述第一光轴(z1)偏移所述第二距离(e)。4.根据权利要求3所述的偏振分离装置(1)，包括位于所述第一几何相位透镜与所述第二几何相位透镜之间的平移装置(5)，所述平移装置(5)适于根据横向于所述第一光轴(z1)的方向相对于所述第一光学中心(o1)偏移所述第二光学中心(z2)。5.根据权利要求1至4中任一项所述的偏振分离装置(1)，其中，所述第一光轴(z1)相对于所述装置(1)上的所述入射光束的传播轴形成角度(θ)。6.根据权利要求5所述的偏振分离装置(1)，包括用于旋转所述第一几何相位透镜和所述第二几何相位透镜的旋转装置(7)，所述第一几何相位透镜(l1)和所述第二几何相位透镜(l2)保持彼此平行，所述旋转装置(7)适于相对于所述入射光束(100)同时倾斜所述第一几何相位透镜和所述第二几何相位透镜。7.根据权利要求1至6中任一项所述的偏振分离装置(1)，其中，所述第一距离(d)小于所述第一焦距(f1)和所述第二焦距(f2)的20％。8.根据权利要求1至7中任一项所述的偏振分离装置(1)，其中，所述第一几何相位透镜(l1)和所述第二几何相位透镜(l2)具有球面或柱面光焦度。9.根据权利要求1至8中任一项所述的偏振分离装置(1)，包括发散光学透镜(9)。10.根据权利要求1至9中任一项所述的偏振分离装置(1)，包括四分之一波推迟板(11)。11.根据权利要求1至10中任一项所述的偏振分离装置(1)，包括具有第三光学中心(o3)、第三光轴(z3)和第三焦距(f3)的第三几何相位透镜(l3)和具有第四光学中心(o4)、第四光轴(z4)和第四焦距(f4)的第四几何相位透镜(l4)，所述第三几何相位透镜(l3)和所述第四几何相位透镜(l4)被设置成对于所述第一圆偏振态具有相同符号的光焦度，并且对于正交的所述另一圆偏振态具有相反符号的光焦度，所述第三光轴(z3)和所述第四光轴(z4)与所述第一光轴(z1)形成小于几度的角度，所述第三几何相位透镜和所述第四几何相位透镜根据所述第三光轴(z3)彼此分开第三距离(d’)，所述第三光学中心(o3)根据所述第三光轴(z3)在所述第四几何相位透镜(l4)上的投影位于距所述第四光学中心(o4)非零第四距离(e’)处，所述第三距离(d’)小于所述第三焦距(f3)和所述第四焦距(f4)。
12.一种差分干涉仪(50、52)，包括根据权利要求1至11中任一项所述的偏振分离装置(1)。13.一种差分对比度光学显微镜，包括根据权利要求1至11中任一项所述的偏振分离装置(1)。

技术总结
本发明涉及一种用于接收入射光束(100)的偏振分离装置。根据本发明，该装置包括具有第一光学中心(O1)、第一光轴(Z1)和第一焦距(F1)的第一几何相位透镜(L1)和具有第二光学中心(O2)、第二光轴(Z2)和第二焦距(F2)的第二几何相位透镜(L2)，第一几何相位透镜和第二几何相位透镜根据第一光轴(Z1)彼此分开第一距离(D)，第一几何相位透镜(L1)和第二几何相位透镜(L2)被设置成对于第一圆偏振态具有相同符号的光焦度，并且对于与第一圆偏振态正交的另一圆偏振态具有相反符号的光焦度，该装置被配置和引导成使得第一光学中心(O1)根据第一光轴(Z1)在第二几何相位光学透镜(L2)上的投影(P1)位于距第二光学中心(O2)非零第二距离(e)处。处。处。


技术研发人员：奥利维耶
受保护的技术使用者：堀场（法国）有限公司
技术研发日：2020.03.11
技术公布日：2021/10/29