蒸镀单元及具有该蒸镀单元的真空蒸镀装置的制作方法

技术特征：
1.一种具有收纳蒸镀物质的收纳箱以及加热收纳箱内的蒸镀物质的加热装置的蒸镀单元，在收纳箱的一面上形成有释放因加热而升华或气化了的蒸镀物质的释放开口，其特征在于：蒸镀单元还具有移动装置，其设置在一面开口的容置室内，以朝容置室开口的方向为上，在容置室内使蒸镀单元在上下方向上进退。2.根据权利要求1所述的蒸镀单元，其特征在于：所述收纳箱具有：上表面开口的外容器；固定在外容器的内壁面上的支撑架；配置在支撑架内侧并收纳蒸镀物质的内容器；以及覆盖外容器和内容器的上表面的开口的形成释放开口的盖体；在支撑架的规定位置上，朝其内侧突出设置多根支撑销，当将内容器容置于外容器内时，各支撑销支撑内容器。3.根据权利要求1或2所述的蒸镀单元，其特征在于：所述加热装置由采用所述支撑架保持并与所述内容器的外壁面相对配置的多个护套加热器构成，将所述内容器的外壁分成多个区域，可采用规定电流值对分别与各区域相对配置的各护套加热器通电。4.一种具有权利要求1
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3中任意一项记载的蒸镀单元的真空蒸镀装置，其特征在于：具有带辊筒的真空室，所述容置室从真空室上开设的安装开口的开口侧装配到该安装开口上，所述蒸镀单元以所述收纳箱的所述释放开口相对于辊筒的轴线正交的姿态安装。5.根据权利要求4记载的真空蒸镀装置，其特征在于：通过所述移动装置使所述释放开口和卷绕在所述辊筒上的片状基材的距离在蒸镀单元的上下移动的行程范围内变化，自由调节所述收纳箱内升华或气化了的蒸镀物质的飞散分布。

技术总结
本发明提供一种通用性好，维护性佳的蒸镀单元。本发明的蒸镀单元(VU)，其具有：收纳蒸镀物质(Vm)的收纳箱(3)；以及加热收纳箱内的蒸镀物质的加热装置(4)；在收纳箱的一面上形成释放因加热而升华或气化了的蒸镀物质的释放开口(34c)，蒸镀单元还具有移动装置(5)，其设置在一面开口的容置室(30)内，以朝容置室的开口的方向为上，以使释放开口的位相与该开口相一致的姿态将蒸镀单元设置在容置室内，所述移动装置使蒸镀单元在上下方向上进退。动装置使蒸镀单元在上下方向上进退。动装置使蒸镀单元在上下方向上进退。


技术研发人员：斋藤修司 横山礼宽
受保护的技术使用者：株式会社爱发科
技术研发日：2019.12.27
技术公布日：2021/10/29