谐振器以及谐振装置的制作方法

技术特征：
1.一种谐振器，具备：振动部，包括基板、形成于上述基板的一个主面的第一电极、以及配置于上述基板与上述第一电极之间的压电体层，上述振动部以轮廓振动为主振动而振动；保持部，形成为包围上述振动部的至少一部分；以及支承部，连接上述振动部和上述保持部，上述振动部具有在上述一个主面去除上述压电体层而成的凹部。2.根据权利要求1所述的谐振器，其中，上述凹部露出上述一个主面。3.根据权利要求1所述的谐振器，其中，上述振动部还包括第二电极，上述第二电极配置于上述基板与上述压电体层之间，上述凹部露出上述第二电极。4.根据权利要求1～3中任一项所述的谐振器，其中，上述振动部以沿着第一方向的伸缩振动为主振动而振动，在俯视上述一个主面时，上述凹部形成在偏离上述基板中的与上述第一方向正交的第二方向的中心线的位置。5.根据权利要求4所述的谐振器，其中，上述振动部包括多个上述凹部，上述多个凹部中的一个上述凹部和其它上述凹部分别形成在关于上述基板中的上述第一方向和/或上述第二方向的中心线对称的位置。6.根据权利要求4或5所述的谐振器，其中，上述支承部与上述振动部中的上述第一方向的端部连接。7.根据权利要求1～6中任一项所述的谐振器，其中，上述基板的材料是硅。8.根据权利要求1～6中任一项所述的谐振器，其中，上述基板的材料是简并硅。9.根据权利要求1～8中任一项所述的谐振器，其中，上述振动部还包括保护层，上述保护层形成为覆盖上述第一电极。10.根据权利要求1～9中任一项所述的谐振器，其中，上述振动部还包括修正层，上述修正层形成于上述基板的另一个主面。11.一种谐振装置，具备：权利要求1～10中任一项所述的谐振器；以及盖体。

技术总结
本发明提供一种谐振器以及谐振装置，提高振动的限制性。谐振器(10)具备：振动部(120)，包括Si基板(F2)、形成于Si基板(F2)的一个主面的金属层(E1)、以及配置于Si基板(F2)与金属层(E1)之间的压电薄膜(F3)，振动部(120)以轮廓振动为主振动而振动；保持部(140)，形成为包围振动部(120)的至少一部分；以及支承单元(110)，连接振动部(120)和保持部(140)，振动部(120)具有在一个主面去除压电薄膜(F3)而成的凹部(121)。凹部(121)。凹部(121)。


技术研发人员：西村俊雄 维莱
受保护的技术使用者：株式会社村田制作所
技术研发日：2019.12.12
技术公布日：2021/10/29