晶体管的制造方法、晶体管、基本存储单元、以及动态随机存取存储器与流程

技术特征：
1.一种晶体管的制造方法，其特征在于，包括如下步骤：形成柱状导电沟道；形成环绕所述柱状导电沟道的栅绝缘层，并暴露所述柱状导电沟道两端；形成环绕所述栅绝缘层的栅电极；在所述柱状导电沟道两端形成源电极和漏电极。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述柱状导电沟道的柱状结构选自于圆柱和棱柱中的任意一种。3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述栅绝缘层的材料选自于氧化硅、氮化硅、以及氮氧化硅中的任意一种。4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述栅电极、源电极、以及漏电极均采用金属材料制作。5.一种晶体管，其特征在于，包括：柱状导电沟道；环绕所述柱状导电沟道的栅绝缘层；环绕所述栅绝缘层的栅电极；以及所述柱状导电沟道两端的源电极和漏电极。6.根据权利要求5所述的晶体管，其特征在于，所述柱状导电沟道的柱状结构选自于圆柱和棱柱中的任意一种。7.根据权利要求5所述的晶体管，其特征在于，所述栅绝缘层的材料选自于氧化硅、氮化硅、以及氮氧化硅中的任意一种。8.根据权利要求5所述的晶体管，其特征在于，所述栅电极、源电极、以及漏电极均采用金属材料制作。9.一种动态随机存取存储器的基本存储单元，包括一晶体管和一电容，其特征在于，所述晶体管包括：柱状导电沟道；环绕所述柱状导电沟道的栅绝缘层；环绕所述栅绝缘层的栅电极；以及所述柱状导电沟道两端的源电极和漏电极。10.一种动态随机存取存储器，包括多个基本存储单元，所述基本存储单元包括一晶体管和一电容，其特征在于，所述晶体管包括：柱状导电沟道；环绕所述柱状导电沟道的栅绝缘层；环绕所述栅绝缘层的栅电极；以及所述柱状导电沟道两端的源电极和漏电极。

技术总结
本发明提供一种晶体管的制造方法、晶体管、基本存储单元、以及动态随机存取存储器。所述方法包括如下步骤：形成柱状导电沟道；形成环绕所述柱状导电沟道的栅绝缘层，并暴露所述柱状导电沟道两端；形成环绕所述栅绝缘层的栅电极；在所述柱状导电沟道两端形成源电极和漏电极。上述晶体管是从现有技术的水平方向的晶体管改进为垂直方向，从而使得单个晶体管在水平方向上所占的面积减少，单位面积的晶体管数量增加，提高了晶体管密度。提高了晶体管密度。提高了晶体管密度。


技术研发人员：华文宇 薛迎飞
受保护的技术使用者：芯盟科技有限公司
技术研发日：2021.04.16
技术公布日：2021/10/19