具有非对称金属合金薄膜结构的高温传感器及制作方法与流程

技术特征：
1.具有非对称金属合金薄膜结构的高温传感器，其特征在于，包括：铂金属传感器本体，所述铂金属传感器本体上涂覆有非对称金属合金薄膜结构，所述非对称金属合金薄膜结构具有薄膜层以及厚膜层，所述薄膜层覆盖部分的面积为所述铂金属传感器本体面积的一半，所述厚膜层覆盖部分的面积为所述铂金属传感器本体面积的另一半；所述薄膜层的厚度为100
‑
300nm，所述厚膜层的厚度为50
‑
100um。2.根据权利要求1所述的具有非对称金属合金薄膜结构的高温传感器，其特征在于：所述非对称金属合金薄膜结构为非对称镍锰合金薄膜结构，所述薄膜层是厚度为100
‑
300nm的镍锰合金薄膜，所述厚膜层是厚度为50
‑
100um的镍锰合金薄膜。3.根据权利要求2所述的具有非对称金属合金薄膜结构的高温传感器，其特征在于：所述薄膜层的厚度为200nm，所述厚膜层的厚度为100um。4.根据权利要求2所述的具有非对称金属合金薄膜结构的高温传感器，其特征在于：所述薄膜层与所述厚膜层位置不在同一水平高度上，并形成非对称位置结构，所述薄膜层靠近于所述铂金属传感器本体的接线端设置，所述厚膜层相对于所述薄膜层远离于所述铂金属传感器本体的接线端设置。5.根据权利要求1至4任一项所述的具有非对称金属合金薄膜结构的高温传感器，其特征在于：在所述铂金属传感器本体的接线端涂覆有薄膜绝缘层。6.根据权利要求5所述的具有非对称金属合金薄膜结构的高温传感器，其特征在于：所述薄膜绝缘层是厚度为100
‑
300nm的镍锰合金薄膜。7.根据权利要求5所述的具有非对称金属合金薄膜结构的高温传感器，其特征在于：所述薄膜绝缘层是厚度为200nm的镍锰合金薄膜。8.根据权利要求5至7任一项所述的具有非对称金属合金薄膜结构的高温传感器，其特征在于：所述铂金属传感器本体的接线端为引线电极。9.具有非对称金属合金薄膜结构的高温传感器的制作方法，其特征在于，所述高温传感器是采用上述权利要求1至8任一项所述的高温传感器，所述方法包括以下步骤：采用磁控溅射镀膜工艺利用镍锰合金靶材，通过控制镀膜时间来控制镀膜的厚度对铂金属传感器进行镀膜；在镀膜过程中，首先，在铂金属传感器本体第一面积上涂覆薄膜层，镀膜厚度为100
‑
300nm，在铂金属传感器本体第二面积上使用光刻胶遮挡，在镀膜完成后，使用有机溶剂将光刻胶剥离；然后，使用光刻胶遮挡镀好的薄膜层，在铂金属传感器本体第二面积上涂覆厚膜层，镀膜厚度为50
‑
100um，两者对应的区域就会形成不同的膜层厚度，从而构成非对称金属合金薄膜结构。10.根据权利要求9所述的方法，其特征在于：当在铂金属传感器本体第二面积上镀膜完成后，使用有机溶剂将光刻胶剥离。

技术总结
本发明提供一种具有非对称金属合金薄膜结构的高温传感器及制作方法，该传感器包括铂金属传感器本体，铂金属传感器本体上涂覆有非对称金属合金薄膜结构，非对称金属合金薄膜结构具有薄膜层以及厚膜层，薄膜层覆盖部分的面积为铂金属传感器本体面积的一半，厚膜层覆盖部分的面积为铂金属传感器本体面积的另一半，薄膜层的厚度为100


技术研发人员：董波
受保护的技术使用者：深圳技术大学
技术研发日：2021.07.13
技术公布日：2021/10/26