可安装多种探针卡的测试探针台的制作方法

1.本技术涉及晶圆检测的领域，尤其是涉及一种可安装多种探针卡的测试探针台。


背景技术：

2.探针台是一种晶圆探针测试设备，探针测试在半导体器件制造流程具有重要的地位，通过探针测试，可及时发现晶圆中性能异常的晶粒，减少后续工序的加工耗费。通常，在晶圆制程完成后，对晶圆进行晶片允收测试。通过探针卡上的探针与晶圆芯片上的焊垫或凸块直接接触，引出芯片讯号，再配合周边测试仪器与软件控制达到自动化量测的目的。探针卡通常需要固定在探针台上，因此探针卡的取放工作就显得非常重要。
3.公开号为cn205067532u的中国专利公开有一种探针台，包括探针台主体和探针卡放置台，其中，探针台主体上开设有圆槽，探针卡放置台设置在圆槽中，探针卡放置台中央和圆槽底部中央均开设有贯穿孔，探针卡放置台底部连接升降控制装置。
4.针对上述中的相关技术，发明人此装置只能应用于特定尺寸的探针卡，而不能调节使用，应用范围较为有限。


技术实现要素：

5.为了使探针台可以安装不同尺寸的探针卡，本技术提供一种可安装多种探针卡的测试探针台。
6.本技术提供的一种可安装多种探针卡的测试探针台采用如下的技术方案：
7.一种可安装多种探针卡的测试探针台，包括探针台本体，所述探针台本体上开有安装槽，所述安装槽内设有升降台，所述升降台与安装槽的底壁之间设有升降组件，所述升降组件用于控制升降台上升或下降，所述升降台上开有容纳槽，所述容纳槽的底壁和探针台本体共同开通有用于检测晶圆的通孔，所述容纳槽内设有两个抵紧组件，两个所述抵紧组件关于容纳槽的长度方向对称，所述抵紧组件包括抵紧板和抵紧压簧，所述抵紧板垂直于容纳槽的底壁，所述抵紧板沿容纳槽的长度方向滑动连接在容纳槽的底壁上，所述抵紧压簧挤压在抵紧板和容纳槽的侧壁之间。
8.通过采用上述技术方案，当工作人员需要进行探针卡的放置时，借助升降组件使升降台上升至安装槽外，随后将两个抵紧板向远离通孔的方向滑移，此时抵紧板挤压抵紧压簧，抵紧压簧收缩变形积累弹性势能，让位出用于放置探针卡的空间，随后去除施加在抵紧板上的外力，抵紧压簧恢复形状并释放弹性势能，对抵紧板施加朝向探针卡的水平弹力，两个抵紧板对同时对探针卡施加弹力，对探针卡起到夹紧固定的作用，由于抵紧压簧的形变范围较大，因此工作人员可以在容纳槽内放置不同尺寸的探针卡，使得探针台可以适用不同探针卡。
9.可选的，所述抵紧压簧内穿设有导向杆，所述导向杆的一端固定连接于抵紧板，另一端滑动连接于容纳槽的内侧壁。
10.通过采用上述技术方案，导向杆穿设于抵紧压簧内，对抵紧压簧的形变路径起到
导向的作用。
11.可选的，所述抵紧板的底部固定连接有滑移块，所述容纳槽的底壁上开有供滑移块滑移的滑移槽，所述滑移槽垂直于升降台的宽度方向开设。
12.通过采用上述技术方案，滑移块和滑移槽的配合使得抵紧板得以滑移在容纳槽的底壁上，同时对抵紧板的移动路径起到导向作用。
13.可选的，所述容纳槽的底壁上设有两个相对的定位杆，两个所述定位杆垂直于容纳槽的底壁，所述定位杆位于容纳槽底部长度方向的侧边上。
14.通过采用上述技术方案，由于探针卡上开有定位孔，借助定位杆可以使工作人员在放置探针卡时，借助定位杆确定探针卡的放置位置，更加便捷。
15.可选的，所述定位杆的底端连接有螺母块，所述容纳槽的底壁上开有供螺母块滑移的位移槽，所述螺母块内穿设有丝杆，所述丝杆远离螺母块的端部连接有驱动电机。
16.通过采用上述技术方案，驱动电机驱动丝杆转动，螺母块通过与丝杆的螺纹配合得以在位移槽内水平滑移，从而实现定位杆位置的改变。
17.可选的，所述升降组件在升降台的底面上设有四个。
18.通过采用上述技术方案，四个升降组件使得升降台的上升或下降过程更加平稳。
19.可选的，所述升降组件为气缸，所述气缸设于安装槽的底壁，所述气缸的伸缩杆固定连接在升降台的底部。
20.通过采用上述技术方案，当需要进行探针卡的拆装时，借助气缸的伸缩杆使升降台上升至安装槽外，便于工作人员操作，当探针台需要开始工作时，再借助气缸的伸缩杆使升降台下降至安装槽内。
21.可选的，所述抵紧板朝向探针卡的一侧贴合有缓冲层。
22.通过采用上述技术方案，缓冲层采用可形变材料制得，缓冲层在抵紧板夹紧固定探针卡时起到缓冲的作用，降低抵紧板损坏探针卡的可能性。
23.综上所述，本技术包括以下至少一种有益技术效果：
24.1、本技术中的两个抵紧组件同时对探针卡施加弹力，对探针卡起到夹紧固定的作用，由于抵紧压簧的形变范围较大，因此工作人员可以在容纳槽内放置不同尺寸的探针卡，使得探针台适用于不同探针卡；
25.2、定位杆连接有滑移组件，使得定位杆的位置可以改变，使探针台不仅可以适用于不同长度的探针卡，还可以适用于不同宽度的探针卡；
26.3、升降组件使得升降台可以在安装槽内上升或下降，当工作人员进行探针卡的拆装时将升降台升起，当探针台需要开始工作时，将升降台下降至安装槽内，从而使拆装探针卡的过程更加便捷快速。
附图说明
27.图1是用于体现本技术实施例的结构示意图。
28.图2是用于体现本技术实施例的剖视图。
29.图3是用于体现图2中a处的局部放大图。
30.图4是用于体现升降组件连接方式的爆炸示意图。
31.附图标记说明：1、探针台本体；2、安装槽；3、升降台；31、容纳槽；32、定位边沿；4、
升降组件；41、气缸；5、通孔；6、抵紧组件；61、抵紧板；611、滑移块；612、滑移槽；613、缓冲层；62、抵紧压簧；621、导向杆；6211、施力板；7、定位杆；71、螺母块；711、位移槽；712、丝杆；713、驱动电机；7131、安装板；7132、升降槽。
具体实施方式
32.以下结合附图1
‑
4对本技术作进一步详细说明。
33.本技术实施例公开一种可安装多种探针卡的测试探针台。参照图1，可安装多种探针卡的测试探针台包括探针台本体1。
34.参照图2，探针台本体1上开有长方形的安装槽2，安装槽2内设有长方形的升降台3，升降台3用于安装探针卡。
35.参照图2，升降台3的下方连接有四个升降组件4，四个升降组件4分别位于升降台3下表面的四角位置。升降组件4用于控制升降台3在安装槽2内的竖直高度，四个升降组件4的设置使得升降台3的上升或下降过程更加平稳。
36.参照图1和图2，升降台3上开有用于安装探针卡的容纳槽31，容纳槽31为长方形槽。探针台本体1中心处开设有用于放置晶圆的通孔5，通孔5与容纳槽31连通。工作人员可以操作放置晶圆的装置通过通孔5到达探针卡探针的位置，使探针和晶圆接触连接测试。
37.参照图2，升降台3长度方向的侧边上一体成型有定位边沿32，定位边沿32在升降台3长度方向的两侧顶边上一体成型有两个，两个定位边沿32相对设置，定位边沿32垂直于容纳槽31宽度方向的侧面且朝向远离容纳槽31的方向。当升降台3下降时，定位边沿32在竖直方向上起到定位的作用，当定位边沿32与安装槽2的侧壁接触时，说明升降台3的位置适宜。
38.参照图1，容纳槽31的底壁上滑移有两个抵紧组件6，两个抵紧组件6关于容纳槽31的长度方向对称。当升降台3借助升降组件4升起后，工作人员将探针卡放置在容纳槽31内，使探针卡的长度方向平行于容纳槽31的长度方向，随后借助探针卡长度方向两侧的抵紧组件6对探针卡进行夹紧固定，降低探针卡在升降或工作过程中晃动或错位的可能性。
39.参照图1，抵紧组件6包括抵紧板61和抵紧压簧62，抵紧板61平行于容纳槽31宽度方向的侧壁，抵紧压簧62挤压在抵紧板61和容纳槽31的内侧壁之间，抵紧压簧62的一端固定连接于抵紧板61，另一端固定连接于容纳槽31的内侧壁。
40.参照图2，抵紧板61的底部固定连接有燕尾状的滑移块611，容纳槽31的底壁上开有供滑移块611滑移的滑移槽612，滑移槽612为燕尾状且平行于容纳槽31的长度方向开设。滑移块611在滑移槽612内的滑动对抵紧板61的移动方向起到导向作用，使得抵紧板61得以准确地靠近或远离探针卡。
41.参照图1，抵紧板61朝向探针卡的侧面粘性贴合有缓冲层613，缓冲层613采用可形变的橡胶材质制得，当抵紧板61抵紧探针卡的侧面时，缓冲层613在其中起到缓冲作用，降低抵紧板61损坏探针卡的可能性。
42.参照图2，抵紧压簧62内穿设有导向杆621，导向杆621垂直于抵紧板61，导向杆621的一端固定连接于抵紧板61，另一端穿过容纳槽31的内侧壁且与容纳槽31的内侧壁滑动连接。导向杆621一方面对抵紧压簧62的形变路径起到导向作用，另一方面，导向杆621受到穿出孔311的限制使得滑移块611不会脱离滑移槽612。
43.参照图1和图2，当探针台本体1上安装不同长度的探针卡时，由于抵紧组件6对探针卡的夹紧固定通过抵紧压簧62的弹力实现，抵紧压簧62可以根据不同尺寸的探针卡适应性调整弹力，使得探针台可以适用于不同长度的探针卡。
44.参照图2，导向杆621穿出容纳槽31内侧壁的端部固定连接有施力板6211，施力板6211便于工作人员拉拔导向杆621，从而使两个抵紧板61之间的间隙变大得以放置探针卡。
45.参照图2，容纳槽31的底壁上设有两个相对的定位杆7，定位杆7垂直于容纳槽31的底壁，定位杆7靠近容纳槽31底壁长度方向侧边的中点位置。当工作人员需要进行探针卡的放置时，定位杆7与探针卡上的定位孔配合，对探针卡的放置角度和放置位置均起到导向定位的作用。
46.参照图3，定位杆7的底端固定连接有螺母块71，容纳槽31的底壁上开有供螺母块71滑移的位移槽711，位移槽711垂直于容纳槽31的长度方向。螺母块71中穿设有丝杆712，丝杆712与螺母块71螺纹连接，丝杆712平行于升降台3的宽度方向。
47.参照图3，丝杆712穿出位移槽711的端部连接有驱动电机713作为驱动源，升降台3长度方向的侧边上固定连接有用于放置驱动电机713的安装板7131，安装槽2的内侧壁上对应开有供安装板7131上下滑移的升降槽7132，位移槽711开通于安装板，驱动电机713位于安装板7131上的位移槽711中。
48.参照图3，驱动电机713带动丝杆712转动，螺母块71在与丝杆712的螺纹配合下，沿丝杆712的轴向前后移动，带动定位杆7在容纳槽31的宽度方向上滑动，从而调整定位杆7在升降台3宽度方向上的位置，使定位杆7可以适配各种探针卡上不同位置的定位孔。
49.参照图4，升降组件4为气缸41，气缸41固定连接在安装槽2的底部，气缸41的伸缩杆固定连接在升降台3的底部。升降台3在气缸41伸缩杆的作用下，在安装槽2内进行竖向位移。
50.本技术实施例一种可安装多种探针卡的测试探针台的实施原理为：工作人员在进行探针卡的安装前，先利用气缸41的伸缩杆将升降台3升高至高于安装槽2，再开启驱动电机713带动丝杆712转动，丝杆712带动螺母块71移动，从而实现两个定位杆7之间间距的调整。随后拉动施力板6211使抵紧板61挤压抵紧压簧62，抵紧压簧62形变积累弹性势能，两个抵紧板61之间的间距变大，便于工作人员放置探针卡，当将探针卡的定位孔与定位杆7套设，并将探针卡放置在容纳槽31内后，撤去对施力板6211施加的外力，此时抵紧压簧62释放弹性势能，对抵紧板61施加朝向探针卡所在方向的弹力，直至缓冲层613抵紧探针卡，从而实现对探针卡的夹紧固定。最后借助气缸41的伸缩杆带动升降台3向下移动回到安装槽2中，进行后续探针检测。当需要拆下探针卡时，利用气缸41将升降台3升起进行探针卡的拆卸即可。
51.以上均为本技术的较佳实施例，并非依此限制本技术的保护范围，故：凡依本技术的结构、形状、原理所做的等效变化，均应涵盖于本技术的保护范围之内。