批次式基板浸泡洗边设备的制作方法

技术特征：
1.一种批次式基板浸泡洗边设备，包括：一槽体，所述槽体包括一容槽，用于盛装溶液及容纳基板载具及所述基板载具中的基板；一升降机构，设置在所述槽体上，包括一升降座，所述升降座用于承载所述基板载具；一旋转机构，设置在所述升降座上，所述旋转机构包括至少一旋转轴杆，用于与所述基板接触并带动所述基板旋转，在所述旋转轴杆的表面，沿着所述旋转轴杆的轴向设有复数个向所述旋转轴杆的中心轴方向内缩的凹槽，所述复数个凹槽用于容纳所述基板的边缘；以及一洗边构件，包括设置在所述凹槽外两侧的刷毛丛，所述刷毛丛用于在所述旋转轴杆带动所述基板旋转时，摩擦所述基板的边缘。2.如权利要求1所述的批次式基板浸泡洗边设备，所述升降机构还包括一固定座及一升降驱动模组，所述固定座固定设置在所述槽体外，所述升降驱动模组以可作动方式设置在所述固定座上，所述升降座固定设置在所述升降驱动模组上，且可受到所述升降驱动模组的驱动而相对所述槽体上升到容槽外或是相对所述槽体下降到所述容槽内，所述升降座用于承托所述基板载具及所述基板载具中的基板。3.如权利要求2所述的批次式基板浸泡洗边设备，其中所述旋转机构还包括一旋转驱动模组及一传动组件，所述传动组件连接所述旋转驱动模组并可受到所述旋转驱动模组的驱动而作动，所述旋转轴杆连接到所述传动组件，且可受所述传动组件的驱动而旋转。4.如权利要求3所述的批次式基板浸泡洗边设备，还包括一控制模组，所述控制模组电连接所述升降机构及所述旋转机构，且控制所述升降机构的升降以及所述旋转机构的旋转。5.如权利要求1所述的批次式基板浸泡洗边设备，其中所述旋转机构包括二个旋转轴杆，所述二个旋转轴杆以垂直所述基板的排列方向间隔排列，所述二个旋转轴杆的距离介于所述基板直径的1/4-2/3之间。6.如权利要求1所述的批次式基板浸泡洗边设备，其中所述洗边构件还包括设置在所述复数个凹槽内的表面的粗糙部，用于在所述旋转轴杆带动所述基板旋转时，摩擦所述基板的边缘。7.如权利要求6所述的批次式基板浸泡洗边设备，其中所述粗糙部为一纤维所构成的不织布。8.如权利要求7所述的批次式基板浸泡洗边设备，其中所述不织布的厚度介于1-5mm。9.如权利要求1所述的批次式基板浸泡洗边设备，其中所述刷毛丛向所述凹槽的方向倾斜，其中所述刷毛丛与所述旋转轴杆的表面所形成的角度介于15-75度之间。10.如权利要求1所述的批次式基板浸泡洗边设备，其中所述刷毛丛的长度为5-20mm。11.一种批次式基板浸泡洗边设备，包括：一槽体，所述槽体包括一容槽，用于盛装溶液及容纳基板载具及置于所述基板载具中的基板；一升降机构，设置在所述槽体上，包括一升降座，所述升降座用于承载所述基板载具；一旋转机构，设置在所述升降座上，所述旋转机构包括至少一旋转轴杆，用于与所述基板接触并带动所述基板旋转，在所述旋转轴杆的表面，沿着所述旋转轴杆的轴向设有复数
个向所述旋转轴杆的中心轴方向内缩的凹槽，所述复数个凹槽用于容纳所述基板的边缘；以及一洗边构件，包括设置在所述复数个凹槽内的表面的粗糙部，用于在所述旋转轴杆带动所述基板旋转时，摩擦所述基板的边缘。12.如权利要求11所述的批次式基板浸泡洗边设备，其中所述粗糙部为一纤维所构成的不织布。13.如权利要求12所述的批次式基板浸泡洗边设备，所述升降机构还包括一固定座及一升降驱动模组，所述固定座固定设置在所述槽体外，所述升降驱动模组以可作动方式设置在所述固定座上，所述升降座固定设置在所述升降驱动模组上，且可受到所述升降驱动模组的驱动而相对所述槽体上升到容槽外或是相对所述槽体下降到所述容槽内，所述升降座用于承托所述基板载具及所述基板载具中的基板。14.如权利要求13所述的批次式基板浸泡洗边设备，其中所述旋转机构还包括一旋转驱动模组及一传动组件，所述传动组件连接所述旋转驱动模组并可受到所述旋转驱动模组的驱动而作动，所述旋转轴杆连接到所述传动组件，且可受所述传动组件的驱动而旋转。15.如权利要求14所述的批次式基板浸泡洗边设备，还包括一控制模组，所述控制模组电连接所述升降机构及所述旋转机构，且控制所述升降机构的升降以及所述旋转机构的旋转。

技术总结
一种批次式基板浸泡洗边设备，包括一槽体、一升降机构、一旋转机构、以及一洗边构件。所述槽体包括一容槽，用于盛装溶液及用于容纳基板载具及所述基板载具中的基板。所述升降机构，设置在所述槽体上，包括一升降座，所述升降座用于承载所述基板载具；所述旋转机构设置在所述升降座上，并且包括至少一旋转轴杆，用于与所述基板接触并带动所述基板旋转，所述旋转轴杆的表面设有复数个凹槽。所述洗边构件包括设置在所述凹槽外两侧的刷毛丛及/或设置在所述凹槽内表面的粗糙部，所述刷毛丛及/或粗糙部用于在所述旋转轴杆带动所述基板旋转时，摩擦所述基板的边缘。擦所述基板的边缘。擦所述基板的边缘。


技术研发人员：黄立佐 张修凯 黄富源
受保护的技术使用者：弘塑科技股份有限公司
技术研发日：2020.04.24
技术公布日：2021/10/26