一种射频电极馈入装置的制作方法

技术特征：
1.一种射频电极馈入装置，其特征在于，所述射频电极馈入装置包括：支撑组件(10)，具有散热间隙(11)；多个放置组件，沿所述第一方向布置于所述支撑组件(10)上；每一所述放置组件包括设置于所述支撑组件(10)的第一放置件(21)和第二放置件(22)，所述第一放置件(21)和所述第二放置件(22)分别位于所述散热间隙(11)在第一方向上的两侧；及多个电极组件(30)，与所述放置组件一一对应，每一所述电极组件(30)均包括第一电极单元(31)和第二电极单元(32)，每一所述电极组件(30)的所述第一电极单元(31)和所述第二电极单元(32)分别与对应所述放置组件的所述第一放置件(21)和所述第二放置件(22)相连。2.根据权利要求1所述的射频电极馈入装置，其特征在于，所述支撑组件(10)包括在所述第一方向上相对布设的第一支撑杆(12)和第二支撑杆(13)，所述第一支撑杆(12)与所述第二支撑杆(13)之间形成所述散热间隙(11)，且均沿与所述第一方向垂直的第二方向纵长延伸；所述多个放置组件的所述第一放置件(21)沿所述第二方向间隔设置于所述第一支撑杆(12)上；所述多个放置组件的所述第二放置件(22)沿所述第二方向间隔设置于所述第二支撑杆(13)上。3.根据权利要求2所述的射频电极馈入装置，其特征在于，所述第一支撑杆(12)与所述第二支撑杆(13)为陶瓷杆。4.根据权利要求2所述的射频电极馈入装置，其特征在于，每一所述第一放置件(21)包括第一放置块(211)和第二放置块(212)，所述第一放置块(211)和所述第二放置块(212)沿所述第一方向间隔设置在所述第一支撑杆(12)上；每一所述第二放置件(22)包括第三放置块(221)和第四放置块(222)，所述第三放置块(221)和第四放置块(222)沿所述第一方向间隔套设在所述第二支撑杆(13)上；每一所述第一电极单元(31)与对应的所述第一放置块(211)和/或所述第三放置块相连，每一所述第二电极单元(32)与对应的所述第二放置块和/或所述第四放置块(222)相连。5.根据权利要求4所述的射频电极馈入装置，其特征在于，每一所述第一电极单元(31)包括第一电极杆(311)和与其相连的第一电极连杆(312)，每一所述第一电极连杆(312)连接对应的所述放置组件的所述第一放置块(211)与所述第三放置块(221)。6.根据权利要求5所述的射频电极馈入装置，其特征在于，每一所述第二电极单元(32)包括第二电极杆(321)和与其相连的第二电极连杆(322)，每一所述第二电极连杆(322)连接对应的所述放置组件的所述第二放置块(212)与所述第四放置块(222)。7.根据权利要求6所述的射频电极馈入装置，其特征在于，每一所述第一电极杆(311)与每一所述第二电极杆(321)均引出至所述第一支撑杆(12)和所述第二支撑杆(13)在所述第二方向上的同一端。8.根据权利要求6所述的射频电极馈入装置，其特征在于，所述第一电极杆(311)与所述第二电极杆(321)上均套设有绝缘管(35)。9.根据权利要求2所述的射频电极馈入装置，其特征在于，所述第一支撑杆(12)和所述第二支撑杆(13)沿所述第一方向的两端均安装有固定座(14)。
10.根据权利要求1至8任一项所述的射频电极馈入装置，其特征在于，所述电极组件(30)还包括分别设置于所述第一放置件(21)和所述第二放置件(22)上的多个连接片(15)，每一所述第一电极单元(31)通过所述连接片(15)与对应的所述第一放置件(21)相连，每一所述第二电极单元(32)通过所述连接片(15)与对应的所述第二放置件(22)相连。

技术总结
本发明涉及一种射频电极馈入装置，其包括：支撑组件，具有散热间隙；多个放置组件，沿第一方向布置于支撑组件上；每一放置组件包括设置于支撑组件的第一放置件和第二放置件，第一放置件和第二放置件分别位于散热间隙在第一方向上的两侧；及多个电极组件，电极组件与放置组件一一对应，每一电极组件均包括第一电极单元和第二电极单元，每一电极组件的第一电极单元和第二电极单元分别与对应放置组件的第一放置件和第二放置件相连。本发明的射频电极馈入装置，可以容纳多个石墨舟在支撑组件上，并通过多个电极组件配合多个放置组件，实现多个石墨舟的射频电极馈入，使一个镀膜设备的腔体能够容纳多个石墨舟，提高产能，降低单片电池片成本。片电池片成本。片电池片成本。


技术研发人员：朱双双 刘强
受保护的技术使用者：江苏微导纳米科技股份有限公司
技术研发日：2021.04.16
技术公布日：2021/10/19