存储器装置的制作方法

本申请要求于2019年12月19日在韩国知识产权局提交的第10-2019-0170409号韩国专利申请的优先权的权益，所述韩国专利申请的公开内容通过引用全部包含于此。

本公开涉及一种存储器装置。

背景技术：

存储器装置可以提供包括写入数据、读取写入的数据和/或擦除数据的功能。存储器装置可以包括多个存储器单元和存储器控制器，并且存储器单元可以通过字线和位线连接到存储器控制器。随着存储器装置的集成密度增加，在存储器单元、存储器控制器以及/或者字线和位线中可能发生或可能潜在地发生各种故障。

技术实现要素：

本公开的方面提供了可以有效地检测内部潜在故障以改进其质量的存储器装置。

根据一些示例实施例，一种存储器装置包括：存储器单元阵列，包括连接到多条字线和多条位线的多个存储器单元；字线驱动电路，包括分别连接到所述多条字线的多个子字线解码器，其中，所述多个子字线解码器中的每个被配置为当各自连接的字线被选择时将第一驱动信号输入到该字线，并且每个子字线解码器被配置为当各自连接的字线未被选择时将预定的电源电压输入到该字线。包括感测放大器的感测放大器电路连接到所述多条位线，并且逻辑电路被配置为在将第一驱动信号输入到被选择的字线的同时使未被选择的子字线解码器浮置并且使用感测放大器中的至少一个检测连接到未被选择的字线的存储器单元的数据来确定存储器单元阵列和字线驱动电路中的至少一者的故障。

根据一些示例实施例，一种存储器装置包括：存储器单元阵列，包括连接到多条字线和多条位线的多个存储器单元；字线驱动电路，包括连接到所述多条字线的子字线解码器，其中，子字线解码器中的每个连接到电力线，并且被配置为通过电力开关输出预定电源电压；以及逻辑电路，被配置为控制电力开关。

根据一些示例实施例，一种存储器装置包括：多个存储器单元，连接到多条字线和多条位线；连接电路，被配置为产生驱动信号以驱动存储器单元；子字线解码器，连接在连接电路与所述多条字线之间，并且被配置为从所述多条字线中确定被选择的字线和未被选择的字线；以及逻辑电路，被配置为控制子字线解码器，使得在第一时间期间将电源电压输入到所述多条字线，并且被配置为控制子字线解码器，使得在第一时间之后的第二时间期间将高于电源电压的驱动电压输入到被选择的字线，并且使未被选择的字线浮置。

附图说明

通过以下结合附图进行的详细描述，将更清楚地理解本公开的以上和其它方面、特征以及优点。

图1和图2是根据一些示例实施例的存储器装置的示意图。

图3示出了根据一些示例实施例的存储器装置的故障。

图4是示出根据一些示例实施例的存储器装置的操作的流程图。

图5示出了根据一些示例实施例的存储器装置的操作。

图6示出了根据一些示例实施例的存储器装置的操作。

图7至图12示出了根据一些示例实施例的存储器装置的操作。

图13至图15是根据一些示例实施例的存储器装置的示意性电路图。

图16示出了根据一些示例实施例的存储器装置的制造工艺。

图17是根据一些示例实施例的包括存储器装置的移动系统的示意性框图。

具体实施方式

在下文中，将参照附图来描述发明构思的一些示例实施例。

图1和图2是根据一些示例实施例的存储器装置1的示意图。

图1是示出根据实施例的一些示例的存储器装置1的结构的示意性框图。在一些示例实施例中，图1的存储器装置1可以是动态随机存取存储器(dram)，但本公开不限于此。在图1中所示的示例实施例中，存储器装置1可以包括行解码器20、预解码器(pxigen.)22、连接电路42、字线驱动电路32、单元阵列10、感测放大器电路12以及驱动信号发生器(pxidgen.)40和驱动信号发生器(pxidgen.)50。其它组件可以存在于图1的存储器装置1内，但为了简洁，在此可以省略其论述。

行解码器20可以响应于从外部接收的上行地址ra2至ra8(mradd)对上行地址mradd进行解码，并且可以选择字线wl之中的与上行地址mradd对应的字线。例如，行解码器20可以响应于上行地址mradd来确定字线wl之中的被选择的字线。作为示例，行解码器20可以将字线使能信号nwei输出到字线驱动电路32以启用被选择的字线。

预解码器22可以响应于下行地址ra0至ra1(lradd)来输出预解码信号pxi。例如，预解码器22可以对从外部接收的行地址之中的下行地址lradd进行解码，并且可以产生与被选择的字线对应的预解码信号pxi。预解码信号pxi可以输入到包括在连接电路42中的驱动信号发生器40和50。

驱动信号发生器40和50可以响应于预解码信号pxi产生用于驱动字线wl的驱动信号pxid和pxib。例如，驱动信号发生器40和50可以包括可以将驱动信号pxid和pxib增大到预定电压电平的上拉电路。驱动信号pxid和pxib可以输出到包括在字线驱动电路32中的子字线解码器swd。

第一子字线解码器swd可以响应于字线使能信号nwei以及驱动信号pxid和pxib来对分别连接到第一子字线解码器swd的被选择的字线进行激活和预充电。作为示例，驱动信号发生器40和50可以将第一驱动信号pxid的电平从第一电压增大到第二电压，第一驱动信号pxid被输入到分别连接到被选择的字线的子字线解码器swd。驱动信号pxib的电平可以被设定为第一电压。接收具有第二电压的第一驱动信号pxid和具有第一电压的第二驱动信号pxib的子字线解码器swd可以将第一驱动信号pxid输入到被选择的字线。

连接到未被选择和/或未被字线使能信号nwei指示的未被选择的字线的其它子字线解码器swd可以将预定电源电压输入到未被选择的字线。在一些示例实施例中，输入到未被选择的字线的电源电压可以低于第二电压。作为示例，电源电压可以是低于0v(伏特)的负恒定电压。

在一些示例实施例中，连接到未被选择的字线的子字线解码器swd可以与电源电压分离，同时连接到被选择的字线的第一子字线解码器swd将第一驱动信号pxid输入到被选择的字线。因此，连接到未被选择的字线的子字线解码器swd和未被选择的字线可以浮置。

本公开认识到，在一些情况下，未被选择的字线上的电压可能不会被保持。作为示例，当在被选择的字线与浮置的未被选择的字线之间存在在桥接故障时，浮置的未被选择的字线上的电压可能不会被保持在电源电压的电平，并且可能会因输入到被选择的字线的第一驱动信号pxid而改变。作为另一示例，由于连接到未被选择的字线的子字线解码器swd中存在的故障，未被选择的字线上的电压可能会不被保持在电源电压的电平并且可能会被改变。

在一些示例实施例中，可以检测连接到未被选择的字线的存储器单元mc的数据，以检测可能存在于存储器装置1中的故障。如果未被选择的字线上的电压没有被保持在电源电压的电平并且被改变，则连接到未被选择的字线的存储器单元mc的数据可能受影响。因此，可以使用连接到未被选择的字线的存储器单元mc的数据来检测存储器装置1中存在的故障。

可以通过感测放大器电路12中包括的感测放大器sa来检测存储器单元mc的数据。感测放大器sa可以通过位线对bl/blb连接到存储器单元mc中的至少一个，并且感测放大器sa可以响应于从外部接收的列地址来读取存储器单元mc中的至少一个存储器单元mc的数据。

在单元阵列10中，存储器单元mc可以连接到字线wl和位线bl。存储器单元mc中的每个可以包括存储电容器和开关元件。参照图2进一步详细描述存储器单元mc。

参照图2，存储器单元mc中的每个可以包括存储电容器cc和开关元件sw。开关元件sw可以具有连接到字线wl0至wln的控制端子以及连接到位线bl0至blm和bl0b至blmb的输入端子。字线wl0至wln可以连接到子字线解码器swd，并且位线bl0至blm和bl0b至blmb可以连接到感测放大器blsa。

图3是包括在根据一些示例实施例的存储器装置中的子字线解码器100的电路图。图3的方面示出了根据一些示例实施例的存储器装置的故障。参照图3，子字线解码器100可以包括开关元件pm1、nm1和nm2。作为示例，子字线解码器100可以包括彼此串联连接并且通过字线控制信号nweib接通和断开的第一开关元件pm1和第二开关元件nm1。

第一开关元件pm1可以是pmos晶体管，第二开关元件nm1可以是nmos晶体管。在一些示例实施例中，第一驱动信号pxid可以被输入到第一开关元件pm1的输入端子，电源电压vbb2可以被输入到第二开关元件nm1的输入端子。根据连接到子字线解码器100的第一字线wl1是否被选择，第一驱动信号pxid可以具有不同的电平。电源电压vbb2可以是恒定电压。在示例实施例中，电源电压vbb2可以是低于0v的负恒定电压。

子字线解码器100可以包括第三开关元件nm2。第三开关元件nm2可以通过第二驱动信号pxib接通和断开，并且可以接收电源电压vbb2。

参照图3，故障101至104可能会发生在包括字线wl1与wl2之间的位置以及子字线解码器100的内部的各种位置中。例如，第一故障101可能会发生在字线wl1与wl2之间。字线wl1和wl2可以在预定方向上延伸，并且绝缘材料可以位于字线wl1与wl2之间。虽然字线wl1与wl2之间的距离理想地是恒定的，但当电路径形成在字线wl1与wl2之间时，由于例如字线wl1与wl2之间的距离因处理误差而在至少一个区域中减小，可能会发生第一故障101。

当存在第一故障101时，当字线wl1和wl2中的一者被选择时会发生问题。例如，当第一字线wl1未被选择并且第二字线wl2被选择时，第二字线wl2上的电压可能会通过第一驱动信号pxid从第一电压增加到第二电压。电源电压vbb2可能会通过子字线解码器100输入到第一字线wl1。在这种情况下，第一字线wl1和第二字线wl2中的至少一者上的电压会由于第一故障101而无意地改变。

第二故障102至第四故障104可能会发生在子字线解码器100中包括的开关元件pm1、nm1和nm2中。例如，第二故障102可能是其中电路径形成在公共节点与输入节点之间的桥接故障，第一开关元件pm1和第二开关元件nm1经由公共节点连接到第一字线wl1，字线控制信号nweib被输入到输入节点。当存在第二故障102并且第一字线wl1未被选择时，电源电压vbb2会被输入到第一字线wl1。在这种情况下，字线控制信号nweib和公共节点会由于第二故障102而彼此影响，并且第一字线wl1上的电压会无意地改变或者在子字线解码器100中会发生故障。

第三故障103可能是发生在第三开关元件nm2中的桥接故障。当发生第三故障103并且第一字线wl1未被选择时，第二驱动信号pxib会影响第一字线wl1。结果，第一字线wl1上的电压会不稳定。

第四故障104可能是发生在第二开关元件nm1中的桥接故障。当发生第四故障104并且第一字线wl1未被选择时，字线控制信号nweib和电源电压vbb2会彼此影响。因此，第一字线wl1的电压会不稳定或者字线控制信号nweib的电平会改变，从而导致子字线解码器100中的故障。

本公开的方面提供了提前检测参照图3描述的故障101至104的方法。然而，参照图3描述的故障101至104是示例，并且根据一些实施例的可能在存储器装置中检测到的其它故障不必限于图3中示出的故障101至104。

图4是示出根据一些示例实施例的存储器装置的操作的流程图，并且更具体地是示出存储器装置的测试操作的流程图。可以在用于存储器装置的封装之前和/或之后执行参照图4描述的测试操作。参照图4，根据一些示例实施例的存储器装置的操作可以以将电源电压输入到字线(s10)开始。电源电压可以通过连接到字线的子字线解码器来输入。作为示例，电源电压可以是低于0v的负恒定电压。

包括在存储器装置中的行解码器可以确定字线之中的被选择的字线以及一条或更多条未被选择的字线。当确定了被选择的字线时，连接到被选择的字线的子字线解码器可以将第一驱动信号输入到被选择的字线(s20)。输入到被选择的字线的第一驱动信号可以具有高于0v的电平。

存储器装置可以使连接到一条或更多条未被选择的字线的未被选择的子字线解码器浮置(s30)。子字线解码器可以通过预定的电力开关连接到提供电源电压的电力线。可以通过将存储器装置中的未被选择的子字线解码器与电力线之间的电力开关断开来使未被选择的子字线解码器浮置。

在操作s30中，可以使未被选择的字线浮置。由于传输电源电压的电力线通过未被选择的子字线解码器连接到未被选择的字线，所以可以通过将未被选择的子字线解码器与电力线彼此分离来使未被选择的字线浮置。

当在被选择的字线与未被选择的字线之间和/或在未被选择的子字线解码器中存在桥接故障时，未被选择的字线上的电压会通过输入到被选择的字线的第一驱动信号、输入到未被选择的子字线解码器的字线控制信号等而增大。因此，连接到未被选择的字线的存储器单元的数据会被无意地改变。

存储器装置可以检测连接到未被选择的字线的存储器单元的数据(s40)。作为示例，存储器装置可以在当在s20和s30中被确定为未被选择的字线的字线被确定为被选择的字线时的时间期间检测存储器单元的数据。

存储器装置可以确定在步骤s40中检测到的数据是否被改变(s50)。当步骤s50中的确定结果是数据被改变时，可以确定在连接到其中数据被改变的存储器单元的字线中存在故障，并且/或者在连接到对应字线的子字线解码器中存在故障(s60)。相比之下，当步骤s50中的确定结果为数据未被改变时，可以确定在连接到其中数据未被改变的存储器单元的字线中不存在故障，以及/或者在连接到对应字线的子字线解码器中不存在故障(s70)。在一些示例实施例中，当确定在字线和/或子字线解码器中存在故障时，存储器装置可以执行修复操作以用冗余字线替换所述字线。

图5示出了根据一些示例实施例的存储器装置的操作。

参照图5，根据一些示例实施例的存储器装置200可以包括连接到第一字线wl1的第一子字线解码器210、连接到第二字线wl2的第二子字线解码器220、连接到第一位线bl1的第一感测放大器sa1以及连接到第二位线bl2的第二感测放大器sa2。存储器单元mc1至mc4可以连接到字线wl1和wl2以及位线bl1和bl2。

第一子字线解码器210和第二子字线解码器220可以具有相同的结构，并且可以参照与图3关联的描述来理解。第一子字线解码器210可以被第一字线控制信号nweib1激活或去激活，并且第二子字线解码器220可以被第二字线控制信号nweib2激活或去激活。作为示例，当第一子字线解码器210和第二子字线解码器220中的一个被激活时，第一子字线解码器210和第二子字线解码器220中的另一个可以被去激活并且/或者可以不被激活。

在一些示例实施例中，如图5中所示，存储器装置200还包括用于将电源电压vbb2供应到第一子字线解码器210和第二子字线解码器220的电力线205。第一电力开关pw1可以连接在第一子字线解码器210与电力线205之间，并且第二电力开关pw2可以连接在第二子字线解码器220与电力线205之间。第一电力开关pw1可以由第一电力控制信号ctr1控制，第二电力开关pw2可以由第二电力控制信号ctr2控制。

在下文中，将参照图5来描述用于检测可能存在于存储器装置200中的故障的测试操作。

当字线wl1和wl2未被选择时，第一子字线解码器210和第二子字线解码器220未被激活，并且/或者可以通过第一字线控制信号nweib1和第二字线控制信号nweib2去激活。另外，第一电力开关pw1和第二电力开关pw2都可以接通。第一子字线解码器210可以使用第一字线控制信号nweib1将电源电压vbb2输入到第一字线wl1，第二子字线解码器220可以使用第二字线控制信号nweib2将电源电压vbb2输入到第二字线wl2。

当第一字线wl1被确定为被选择的字线时，第一子字线解码器210可以利用第一字线控制信号nweib1将第一驱动信号pxid1输入到第一字线wl1。在一些示例实施例中，在第一子字线解码器210中，第一开关元件pm1可以接通，而第二开关元件nm1和第三开关元件nm2可以断开。

在一些示例实施例中，第一驱动信号pxid1和第二驱动信号pxib1的电平可以大于或等于第一电压的电平并且小于或等于第二电压的电平，并且第二电压可以大于第一电压。当第一字线wl1被选择时，输入到第一子字线解码器210的第一驱动信号pxid1的电平可以被设定为第二电压的电平。同时，第二驱动信号pxib1的电平可以被设定为第一电压的电平，以断开第三开关元件nm2。另外，连接到第一子字线解码器210的第一电力开关pw1可以保持在接通状态。然而，根据一些示例实施例，第一电力开关pw1可以断开。

当第一字线wl1被确定为被选择的字线时，第二字线wl2可以被确定为未被选择的字线。因此，第二子字线解码器220可以通过第二字线控制信号nwieb2保持在去激活状态，并且在第二子字线解码器220中，第一开关元件pm1可以断开，同时第二开关元件nm1和第三开关元件nm2可以接通。

在一些示例实施例中，当第一字线wl1被确定为被选择的字线并且第二字线wl2被确定为未被选择的字线时，连接在第二子字线解码器220与电力线205之间的第二电力开关pw2可以被断开。因此，电源电压vbb2可以不被连续地供应到第二字线wl2，并且第二字线wl2可以被浮置。另外，包括在第二子字线解码器220中的节点的一部分(例如，第一开关元件nm1和第二开关元件nm2的输入端子)可以被浮置。

作为示例，当在字线wl1与wl2之间以及在第二子字线解码器220中不存在故障时，第二字线wl2上的电压可以保持在电源电压vbb2的电平，电源电压vbb2可以在第一字线wl1被选择之前被输入到第二字线wl2。同时，当在字线wl1与wl2之间和/或在第二子字线解码器220中存在故障时，第二字线wl2上的电压不保持在电源电压vbb2的电平并且会改变。

当第二字线wl2的电压在第二字线wl2是未被选择的字线的状态下改变时，连接到第二字线wl2的存储器单元mc3和mc4的数据会改变。在一些示例实施例中，可以选择第二字线wl2并且可以检测连接到第二字线wl2的存储器单元mc3和mc4的数据改变，以确定在字线wl1与wl2之间和/或在第二子字线解码器220中是否存在故障。

根据一些示例实施例，第二电力开关pw2的断开时间可以变化。例如，在第一字线wl1被选择并且第一驱动信号pxid1被输入到第一字线wl1的同时，第二电力开关pw2可以保持在断开状态。可选地，第二电力开关pw2可以在从第一驱动信号pxid1被输入到第一字线wl1起经过预定延迟时间之后被断开。

图6示出了根据示例实施例的存储器装置的操作。在下文中，为了便于描述，将参照图6以及图5来描述存储器装置200的操作。

参照图6，在第一时间点t1之前的第一时间期间，可以将第一字线控制信号nweib1和第二字线控制信号nweib2两者设定为高电平h，并且也可以将第一电源信号ctr1和第二电源信号ctr2设定为高电平h。因此，在第一子字线解码器210中，第一开关元件pm1可以被断开，同时第二开关元件nm1和第三开关元件nm2可以被接通，并且电源电压vbb2可以被输入到第一字线wl1。由于第二子字线解码器220与第一子字线解码器210类似地操作，所以电源电压vbb2可以被输入到第二字线wl2。

在一些示例实施例中，如图6中所示，在第一时间点t1与第二时间点t2之间的第二时间期间，可以将第一字线wl1作为被选择的字线来操作，并且可以将第二字线wl2作为未被选择的字线来操作。在第一子字线解码器210中，第一字线控制信号nweib1可以转变为低电平l，第一驱动信号pxid1的电平可以从第一电压vss的电平增大到第二电压vpp的电平，并且第二驱动信号pxib1的电平可以从第二电压vpp的电平减小到第一电压vss的电平。在图6中，第一电力开关pw1被示出为保持在接通状态。然而，根据一些示例实施例，第一电力开关pw1可以被切换到断开状态。

在时间点t1之后，可以断开第二电力开关pw2，并且第二子字线解码器220可以与电力线205分离。因此，第二子字线解码器220和第二字线wl2可以被浮置。当在第一字线wl1与第二字线wl2之间和/或在第二子字线解码器220中存在桥接故障时，第二字线wl2上的电压会通过第一字线wl上的电压、第二字线控制信号nweib2和第二驱动信号pxib2中的至少一者从电源电压vbb2增大。随着第二字线wl上的电压增大，连接到第二字线的存储器单元mc3和mc4的数据会改变。

在第二时间点t2之后，可以恢复字线wl1和wl2上的电压。在第三时间点t3之后，可以将第二字线wl2确定为被选择的字线。当第二字线wl2被确定为被选择的字线时，在第二子字线解码器220中，第二字线控制信号nweib2的电平可以被设定为低电平l，并且第一驱动信号pxid2的电平可以从第一电压vss的电平增加到第二电压vpp的电平，第二驱动信号pxib2的电平可以从第二电压vpp的电平减小到第一电压vss的电平。

在第三时间点t3之后，存储器装置可以控制感测放大器sa1和sa2，以读取连接到第二字线wl2的存储器单元mc3和mc4的数据。当确定从存储器单元mc3和mc4读取的数据被无意地改变时，存储器装置可以确定在字线wl1与wl2之间和/或在第二子字线解码器220中存在桥接故障。在一些示例实施例中，存储器装置可以执行修复操作，以用冗余字线中的一条替换第二字线wl2。

在一些示例实施例中，如图6中所示，假设当第一驱动信号pxid1被输入到第一字线wl1时的时间点和当第二字线wl2被浮置时的时间点与第一时间点t1相同。然而，本公开不必限于此。例如，当第二字线wl2被浮置时的时间点可以在当第一驱动信号pxid1被输入到第一字线wl1时的时间点之前或者可以在当第一驱动信号pxid1被输入到第一字线wl1时的时间点之后滞后预定延迟时间dt。

图7至图12示出了根据一些示例实施例的存储器装置的操作。在下文中，为了便于描述，将参照图7至图12以及图5来描述存储器装置的操作。

图7和图8是示出根据在第一字线wl1与第二字线wl2之间是否存在故障而在第二字线wl2上发生的电压变化的曲线图。在图7和图8中所示的示例实施例中，第一字线wl1可以是被选择的字线，第二字线wl2可以是未被选择的字线。

第一字线wl1和第二字线wl2上的电压可以初始地设定为电源电压vbb2。第一子字线解码器210可以向第一(被选择的)字线wl1供应第二电压vpp。在一些示例实施例中，第二(未被选择的)字线wl2可以被浮置。

如图7中所示，当在第一字线wl1与第二字线wl2之间不存在桥接故障等时，第二字线wl2的电平可以保持在电源电压vbb2的电平。相比之下，如图8中所示，当在第一字线wl1与第二字线wl2之间存在桥接故障时，浮置的第二字线wl2的电平会通过输入到第一字线wl1的第二电压vpp而增大。当浮置的第二字线wl2的电平增大时，连接到第二字线wl2的存储器单元mc3和mc4的数据会改变。存储器装置可以检测存储器单元mc3和mc4的数据的变化，以确定桥接故障。

图9至图12是示出作为未被选择的字线的第二字线wl2上的电压根据连接到第二字线wl2的第二子字线解码器220是否发生故障的变化的曲线图。

首先参照图9和图10，如上所述，字线wl1和wl2的电压可以初始地设定为电源电压vbb2。输入到第二子字线解码器220的第二字线控制信号nweib2保持在高电平h，使得在第二子字线解码器220中，第一开关元件pm1可以断开，并且第二开关元件nm1和第三开关元件nm2可以接通。在第一时间点t1与第二时间点t2之间的时间点，第二电力开关pw2可以通过第二控制信号ctr2而断开，并且电源电压可以不被输入到第二字线wl2。

图9可以是在第二子字线解码器220中不存在故障的情况。在这种情况下，第二字线wl2的电平可以保持在电源电压vbb2的电平。另一方面，图10可以是在第二子字线解码器220中存在故障的情况。作为示例，图10可以与第二子字线解码器220中存在桥接故障的示例实施例对应。例如，第一开关元件pm1与第二开关元件nm1之间的节点可能会电连接到接收第二字线控制信号nweib2的节点。因此，第二字线wl2的电平会通过具有高电平h的第二字线控制信号nweib2而增大。

作为示例，在第二时间点t2之后，随着第二电力开关pw2接通，第二字线wl2的电平会再次减小到电源电压vbb2的电平。然而，在第一时间点t1与第二时间点t2之间发生的第二字线wl2的电平的变化可能影响存储器单元mc3和mc4的数据。存储器装置可以检测连接到第二字线wl2的存储器单元mc3和mc4的数据的变化以确定故障。

参照图11和图12，如上所述，字线wl1和wl2上的电压可以初始地设定为电源电压vbb2。在第二子字线解码器220中，输入到第三开关元件nm2的第二驱动信号pxib2可以保持在高电平h。因此，第三开关元件nm2可以接通，以将电源电压vbb2输入到第二字线wl2。当第二电力开关pw2在第一时间点t1通过第二控制信号ctr2而断开时，电源电压vbb2可以不被输入到第二字线wl2，而与第三开关元件nm2是否接通无关。

图11可以是在第二子字线解码器220中不存在故障的情况。在这种情况下，即使在第一时间点t1之后，第二字线wl2的电平也可以保持在电源电压vbb2的电平。相比之下，图12可以是在第二子字线解码器220中存在故障的情况。作为示例，图12可以与在第三开关元件nm2的控制端子和输出端子之间存在桥接故障的示例实施例对应。第二驱动信号pxib2可以输入到第三开关元件nm2的控制端子，并且第二字线wl2可以连接到第三开关元件nm2的输出端子。因此，当存在桥接故障时，第二字线wl2的电平会通过具有高电平h的第二驱动信号pxib2而增大。

图13至图15是根据一些示例实施例的存储器装置的示意性电路图。

首先参照图13，根据一些示例实施例的存储器装置300可以包括连接到字线wl0至wl5的子字线解码器311至313和321至323。字线wl0至wl5以及子字线解码器311至313和321至323可以在数量上变化。

字线wl0至wl5可以包括奇数字线wl1、wl3和wl5以及偶数字线wl0、wl2和wl4。子字线解码器311至313和321至323可以包括奇数子字线解码器311至313和偶数子字线解码器321至323。子字线解码器311至313和321至323中的每个可以连接到用于供应预定电源电压的电力线305。电源电压可以是低于0v的负恒定电压。

在一些示例实施例中，如图13中所示，将子字线解码器311至313和321至323连接到电力线305的电力开关pw0至pw5可以分别包括在子字线解码器311至313和321至323中。作为示例，当第一偶数子字线解码器321被激活以将第一驱动信号pxid0输入到第一偶数字线wl0时，包括在其它子字线解码器311至313和322至323中的电力开关pw1至pw5可以被断开以使其它字线wl1至wl5浮置。

然而，以上仅是示例，并且包括在子字线解码器311至313和321至323中的电力开关pw0至pw5的仅一部分可以断开。作为示例，在电力开关pw0至pw5之中，待断开的电力开关可以根据与被选择的字线相邻的未被选择的字线而变化。例如，偶数字线wl0、wl2、wl4以及奇数字线wl1、wl3和wl5可以交替布置。当选择第一偶数字线wl0时，可以仅选择性地断开连接到与第一偶数字线wl0相邻的第一奇数字线wl1的第一电力开关pw1。

参照图14，根据一些示例实施例的存储器装置400可以包括连接到字线wl0至wl5的子字线解码器411至413和421至423。字线wl0至wl5可以包括奇数字线wl1、wl3和wl5以及偶数字线wl0、wl2和wl4，并且子字线解码器411至413和421至423可以包括奇数子字线解码器411至413和偶数子字线解码器421至423。

子字线解码器411至413和421至423中的每个可以连接到用于供应预定电源电压的电力线405。在一些示例实施例中，如图14中所示，第一电力开关pw1可以公共地连接到奇数子字线解码器411至413，并且第二电力开关pw2可以公共地连接到偶数子字线解码器421至423。

作为示例，当第一奇数子字线解码器411被激活时，第一电力开关pw1可以被保持在接通状态，并且第二电力开关pw2可以被断开。因此，偶数字线wl0、wl2和wl4可以与电力线405分离以被浮置，并且可以确定第一奇数字线wl1与相邻于第一奇数字线wl1的其它偶数字线wl0、wl2和wl4之间的桥接故障。此外，还可以确定偶数子字线解码器421至423中的每个的故障。

根据一些示例实施例，在第一奇数子字线解码器411被激活的同时，第一电力开关pw1也可以被断开。随着第一电力开关pw1被断开，可以确定未被激活的其它奇数子字线解码器412至413的故障。

在一些示例实施例中，如图14中所示，由于多个子字线解码器411至413和421至423分别连接到电力开关pw1和pw2，所以与图13中所示的示例相比，可以减少电力开关pw1和pw2的数量。在图14中所示的示例中，电力开关pw1和pw2可以设置在输出驱动信号pxid0至pxid5和pxib0至pxib5的连接电路中。

参照图15，根据一些示例实施例的存储器装置500可以包括连接到字线wl0至wl5的子字线解码器511至513和521至523。字线wl0至wl5可以包括奇数字线wl1、wl3和wl5以及偶数字线wl0、wl2和wl4，并且子字线解码器511至513和521至523可以包括奇数子字线解码器511至513和偶数子字线解码器521至523。

子字线解码器511至513和521至523中的每个可以连接到用于供应预定电源电压的电力线505。在图15中所示的示例中，单个电力开关pw可以连接在子字线解码器511至513和521至523与电力线505之间。例如，电力开关pw可以设置在存储器装置500的行解码器中。

作为示例，当第二奇数子字线解码器512被激活时，电力开关pw可以被断开。第一驱动信号pxid3可以由第二奇数子字线解码器512输入到第二奇数字线wl3。其它子字线解码器511、513和521至523可以全部与电力线405以及其它字线wl0至wl2和wl4和wl5分离。因此，可以确定第二奇数字线wl3与其它字线wl0至wl2和wl4至wl5之间的桥接故障，以及/或者去激活的子字线解码器511、513和521至523中的每个的故障。

图16示出了根据一些示例实施例的存储器装置的制造工艺。

参照图16，可以通过将半导体工艺应用于晶圆w来生产多个半导体裸片，并且可以制造出晶圆w。在一些示例实施例中，包括在晶圆w中的多个半导体裸片可以是根据参照图1至图15描述的示例实施例的存储器装置。当制造出晶圆w时，可以执行第一测试601，以在存储器装置中包括的字线之中选择一条字线并且使未被选择的字线浮置。例如，可以以晶圆级执行第一测试601，并且可以用冗余字线替换被第一测试601确定为故障的字线。

当完成第一测试601时，可以执行划片工艺602和封装工艺603，以分离半导体裸片。当完成封装工艺603时，可以执行第二测试604。可以以封装级执行第二测试604，并且第二测试604可以包括与第一测试601的操作类似的操作。作为示例，在第二测试604中，可以通过以下方式来确定数据改变：在字线之中选择被选择的字线和未被选择的字线；在将驱动信号输入到被选择的字线的同时使未被选择的字线浮置；并且读取连接到未被选择的字线的存储器单元的数据。当在连接到未被选择的字线的存储器单元中检测到数据改变时，可以确定在连接到未被选择的字线的子字线解码器和/或未被选择的字线等中存在故障，并且可以执行修复操作。

根据一些示例实施例，可以省略第一测试601和第二测试604中的一个。例如，可以仅以晶圆级和封装级中的一者执行根据示例实施例的测试操作。可选地，可以在装运存储器装置之后将存储器装置安装在电子设备中并且对存储器装置进行操作的同时执行根据示例实施例的测试操作。作为示例，存储器装置可以在与电子设备组合操作的同时针对每个预定时段执行根据示例实施例的测试操作，并且可以在确定发生故障时执行修复操作。

图17是根据一些示例实施例的包括存储器装置的移动系统的示意性框图。

参照图17，移动系统1000可以包括相机1100、显示器1200、音频处理器1300、调制解调器1400、dram1500a和1500b、闪存装置1600a和1600b、输入/输出(i/o)装置1700a和1700b以及应用处理器(在下文中，称为“ap”)1800。

移动系统1000可以被实现为膝上型计算机、便携式终端、智能电话、平板个人计算机(平板pc)、可穿戴设备、医疗保健设备或物联网(iot)设备。此外，移动系统1000可以被实现为服务器或pc。

相机1100可以在用户的控制下捕获静止图像或视频。移动系统1000可以使用由相机1100捕获的静止图像/视频来获得特定信息，或者可以将静止图像/视频转换并存储为诸如文本的其它类型的数据。可选地，移动系统1000可以识别包括在由相机1100捕获的静止图像/视频中的字符串，并且可以提供与字符串对应的文本或音频翻译。如上所述，移动系统1000中的相机1100可以用于各种应用领域中。在一些示例实施例中，相机1100可以根据mipi标准中的d-phy或c-phy接口向ap1800发送诸如静止图像/视频的数据。

显示器1200可以以各种形式(诸如液晶显示器(lcd)、有机发光二极管(oled)显示器、有源矩阵有机发光二极管(amoled)显示器、等离子体显示面板(pdp)、场发射显示器(fed)、电子纸等)来实现。在一些示例实施例中，显示器1200可以提供触摸屏功能，从而也用作移动系统1000的输入装置。另外，显示器1200可以与指纹传感器等集成，以提供移动系统1000的安全功能。在一些示例实施例中，ap1800可以向显示器1200发送根据mipi标准中的d-phy或c-phy接口将要显示在显示器1200上的图像数据。

音频处理器1300可以处理存储在闪存装置1600a和1600b中的音频数据或者包括在通过调制解调器1400或i/o装置1700a和1700b从外部接收的内容中的音频数据。例如，音频处理器1300可以对音频数据执行诸如编码/解码、放大和噪声滤波等的各种处理。

调制解调器1400可以调制信号并发送调制的信号以发送和接收有线/无线数据，并且可以解调从外部接收的信号以恢复原始信号。i/o装置1700a和1700b可以提供数字输入和输出，并且可以包括诸如可连接到外部记录媒介的端口、触摸屏或机械按钮(按键)的输入装置以及能够以触觉方式输出振动的输出装置。在某些示例中，i/o装置1700a和1700b可以通过诸如usb、闪电电缆(闪电数据线，lightningcable)、sd卡、微型sd卡、dvd、网络适配器等的端口连接到外部记录媒介。

ap1800可以控制移动系统1000的整体操作。具体地，ap1800可以控制显示器1200在屏幕上显示存储在闪存装置1600a和1600b中的内容的一部分。当通过i/o装置1700a和1700b接收到用户输入时，ap1800可以执行与用户输入对应的控制操作。

ap1800可以被提供为驱动应用程序的片上系统(soc)、操作系统(os)等。另外，ap1800可以与包括在移动系统1000中的其它装置(例如，dram1500a、闪存1620和/或存储器控制器1610)一起被包括在单个半导体封装件中。例如，ap1800和至少一个装置可以以封装形式(诸如叠层封装(pop)、球栅阵列(bga)、芯片级封装(csp)、系统级封装(sip)、多芯片封装(mcp)、晶圆级制造封装(wfp)、诸如级处理堆叠封装(wsp)的封装形式的晶圆)提供。在ap1800上被驱动的操作系统的内核可以包括输入/输出调度器以及用于控制闪存装置1600a和1600b的装置驱动器。装置驱动器可以参考由输入/输出调度器管理的同步队列的数量来控制闪存装置1600a和1600b的访问性能，或者可以控制soc内部的cpu模式、动态电压和频率缩放(dvfs)级等。

在一些示例实施例中，ap1800可以包括执行操作或驱动应用程序和/或操作系统的处理器块以及通过系统块和系统总线连接的各种其它外围元件。外围元件可以包括存储器控制器、内部存储器、电源管理块、错误检测块、监视块等。处理器块可以包括一个或更多个核。当处理器块中包括多个核时，每个核包括高速缓冲存储器，并且由核共享的公共高速缓存可以包括在处理器块中。

在一些实施例中，ap1800可以包括加速器块1820、用于ai数据操作的专用电路。可选地，根据一些示例实施例，单独的加速器芯片可以设置为与ap1800分离，并且dram1500b可以另外地连接到加速器块1820或加速器芯片。加速器块1820可以是专用于执行ap1800的特定功能的功能块，并且可以包括用作专用于处理图形数据的功能块的图形处理单元(gpu)、用作专用于执行ai计算和干扰的功能块的神经处理单元(npu)、用作专用于发送数据的功能块的数据处理单元(dpu)等。

根据示例实施例，移动系统1000可以包括多个dram1500a和1500b。在示例实施例中，ap1800可以包括用于控制dram1500a和1500b的控制器1810，并且dram1500a可以直接连接到ap1800。

ap1800可以根据jedec标准设定命令和模式寄存器设置(mrs)命令以控制dram，或者可以设定移动系统1000所需的规范和功能(诸如低电压、高速和可靠性)以及执行通信的用于crc/ecc的dram的接口协议。例如，ap1800可以设定新的dram接口协议来控制针对加速器的dram1500b以执行通信，其中独立于ap1800提供的加速器芯片或加速器块1820具有比dram1500a高的带宽。

图17中仅示出了dram1500a和1500b，但移动系统1000的构造不必限于此。根据ap1800和加速器块1820的带宽和反应速度以及电压条件，除了dram1500a和1500b之外的存储器可以包括在移动系统1000中。作为示例，控制器1810和/或加速器块1820可以控制各种存储器，诸如pram、sram、mram、rram、fram、混合ram等。dram1500a和1500b比输入/输出装置1700a和1700b或闪存装置1600a和1600b具有相对低的延迟时间和相对高的带宽。dram1500a和1500b可以在移动系统1000的通电时间点被初始化。当操作系统和应用数据被加载时，dram1500a和1500b可以被用作暂时存储操作系统和应用数据的位置，或者用作执行各种软件代码的空间。

诸如加法、减法、乘法和除法的四个基本算术运算以及向量运算、地址运算或fft运算数据可以存储在dram1500a和1500b中。在一些示例实施例中，dram1500a和1500b可以被提供为具有操作功能的内存内处理(pim)。例如，可以执行用于在dram1500a和1500b中执行推断的功能。在这种情况下，可以使用人工神经网络在深度学习算法中执行推断。深度学习算法可以包括通过各种数据来学习模型的训练步骤以及利用经训练的模型来识别数据的推断步骤。例如，在推断中使用的函数可以包括双曲正切函数、sigmoid函数、修正线性单元(relu)函数等。

在图17中所示的示例中，dram1500a和1500b中的每个可以是根据参照图1至图16描述的示例实施例的存储器装置。在dram1500a和1500b安装在移动系统1000上之前和/或之后，它们可以执行测试操作，以确定字线和/或连接到字线的子字线解码器中的桥接故障。

作为示例，dram1500a和1500b可以在将预定驱动信号输入到被选择的字线的同时使未被选择的字线浮置。当在未被选择的字线和/或连接到未被选择的字线的未被选择的子字线解码器中存在故障时，未被选择的字线上的电压会改变，并且连接到未被选择的字线的存储器单元的数据也会改变。存储器装置可以检测连接到未被选择的字线的存储器单元的数据的改变，以确定是否存在故障并且可以执行修复操作。

作为示例，由用户通过相机1100捕获的图像可以被信号处理并存储在dram1500b中，并且加速器块1820或加速器芯片可以使用存储在dram1500b中的数据和在推断中使用的函数来执行ai数据操作，从而识别数据。

根据一些示例实施例，移动系统1000可以包括容量高于dram1500a和1500b的容量的多个存贮器或多个闪存装置1600a和1600b。闪存装置1600a和1600b可以包括控制器1610和闪存1620。控制器1610可以从ap1800接收控制命令和数据，并且可以响应于控制命令将数据写入闪存1620，或者可以读取存储在闪存1620中的数据并将读取的数据发送到ap1800。

根据一些示例实施例，加速器块1820或加速器芯片可以使用闪存装置1600a和1600b来执行训练步骤和ai数据操作。在一些示例实施例中，可以在控制器1610中实现能够在闪存装置1600a和1600b中执行预定操作的操作逻辑。代替ap1800和/或加速器块1820，操作逻辑可以使用存储在闪存1620中的数据来执行由ap1800和/或加速器块1820执行的训练步骤和推断的至少一部分。

在一些示例实施例中，ap1800可以包括接口1830。因此，闪存装置1600a和1600b可以直接连接到ap1800。例如，ap1800可以被实现为soc，闪存装置1600a可以被实现为独立于ap1800的芯片，并且ap1800和闪存装置1600a可以被安装在单个封装件中。然而，示例实施例不限于此，多个闪存装置1600a和1600b可以通过连接件电连接到移动系统1000。

闪存装置1600a和1600b可以存储由相机1100捕获的诸如静止图像/视频的数据以及/或者通过通信网络和/或包括在输入和输出装置1700a和1700b中的端口接收的数据。例如，闪存装置1600a和1600b可以存储增强现实/虚拟现实、高清晰度(hd)或超高清晰度(uhd)内容。

如上所述，可以通过将连接到未被选择的字线的子字线解码器与电源电压分离以被浮置并且检测连接到未被选择的字线的未被选择的存储器单元的数据来确定存储器装置中存在的故障。根据示例实施例，可以预先确定存储器装置中存在的潜在故障以提高存储器装置的质量。

尽管以上已经示出并描述了示例实施例，但本领域技术人员将清楚的是，在不脱离如由所附权利要求限定的本发明构思的范围的情况下可以做出修改和变化。