工件保持夹具和表面处理装置的制作方法

1.本发明涉及在电镀等表面处理中使用的工件保持夹具和表面处理装置等。


背景技术：

2.已知一种连续镀覆装置，其利用工件保持夹具将工件垂下并浸渍到处理槽内的处理液中，一边连续传送工件一边进行电镀(专利文献1、2)。工件保持夹具对工件进行保持，并且将工件设定为阴极。
3.现有技术文献
4.专利文献
5.专利文献1：日本专利第5898540号公报
6.专利文献2：wo2018/062259号公报


技术实现要素：

7.发明所要解决的课题
8.工件保持夹具利用上侧夹和下侧夹保持工件，并且均经由导电性的上侧夹和下侧夹工件与整流器电连接，将工件设定为阴极。若如此对工件进行电镀，则工件被保持于下侧夹的下缘部存在以下问题：只有完全没入处理液中的下侧夹附近被局部地镀覆厚膜。对于上侧夹来说，只有前端部的夹头区域没入处理液中，产生与在下侧夹中所指出的问题同样的问题。
9.本发明的若干方式的目的在于调整流过由夹所夹持的区域附近的工件的缘部的电流，提高进行表面处理的工件的面内均匀性。
10.用于解决课题的手段
11.(1)本发明的一个方式涉及一种工件保持夹具，该工件保持夹具将进行表面处理的工件垂下并进行保持，使上述工件浸渍到处理液中，并且能够与整流器电连接，
12.该工件保持夹具具有：
13.支撑部，其能够与上述整流器导通；和
14.导电性的夹，其被上述支撑部所支撑，并夹持上述工件的缘部，
15.上述夹包括：
16.固定部，其固定于上述支撑部；
17.可动部，其按照相对于所述固定部可摆动的方式被支撑，在与上述固定部的第1面之间夹持上述工件的上述缘部；
18.导电性的虚设板，其具有与上述固定部的上述第1面的相反侧的第2面相向的第3面、上述第3面的相反侧的第4面、基端部和前端部，使上述第4面与上述固定部的上述第2面平行，上述基端部被支撑于上述固定部；和
19.绝缘性的调整构件，其覆盖上述虚设板的上述第4面，可移动地支撑于上述虚设板，
20.上述调整构件对上述虚设板的上述前端部中的上述第4面侧的露出导电面积进行调整。
21.根据本发明的一个方式，与工件一起，对虚设板的前端部中的上述第4面侧的露出导电面进行表面处理。通过改变虚设板的露出导电面积，可调整对于虚设板的表面处理所消耗的电流。由此，可调整经由夹的固定部流至工件的缘部的电流。若没有虚设板和调整构件，则经由夹的固定部流至工件的下缘部的电流增大，电流集中于与固定部接触的区域附近的工件的缘部且与固定部接触的一侧的面。其结果，该区域中的表面处理局部地进行。根据本发明的一个方式，能够调整流过工件的缘部的局部区域的电流，能够提高进行表面处理的工件的面内均匀性。需要说明的是，本发明的一个方式的夹具可以在处理槽内连续传送或间歇传送，或者也可以不被传送而以自由出入处理槽内的方式被支撑。
22.(2)本发明的一个方式(1)中，优选除了上述前端部中的上述第4面，上述虚设板进行了绝缘涂布。由此，虚设板的前端部中的第4面以外不会被徒劳地进行表面处理。
23.(3)本发明的一个方式(1)或(2)中，在上述虚设板中，上述基端部相对于上述固定部的固定位置能够在与上述调整构件可移动的方向平行的方向上变更。这样，在从与工件的主表面正交的方向进行观察的侧视图中，能够调整夹的第2面或工件的主表面与虚设板的重叠面积。通过该位置调整，也可调整对于虚设板的表面处理所消耗的电流。
24.(4)本发明的一个方式(1)～(3)中，上述支撑部能够为配置于上述工件的下方的下框，上述夹能够为导电性的下侧夹，其支撑于上述下框，并夹持上述工件的下缘部。这样，能够调整流过工件的下缘部的局部区域的电流，能够提高进行表面处理的工件的面内均匀性。
25.(5)本发明的一个方式(1)～(3)中，上述支撑部能够为配置于上述工件的上方的上框，上述夹能够为导电性的上侧夹，其支撑于上述上框，并夹持上述工件的上缘部。这样，能够调整流过工件的上缘部的局部区域的电流，能够提高进行表面处理的工件的面内均匀性。
26.(6)本发明的又一方式涉及一种表面处理装置，其具有：
27.上述(1)～(5)中任一项所述的工件保持夹具；
28.供电部，其连接到整流器，与上述工件保持夹具接触；和
29.表面处理槽，其至少在与上述虚设板的上述第4面相向的位置具备连接到上述整流器的阳极，
30.上述工件保持夹具包含与上述供电部接触且与上述下框导通的接触部。
31.根据本发明的另一方式，通过上述(1)～(5)的各方式的作用效果，能够提高进行表面处理的工件的面内均匀性。需要说明的是，在表面处理槽内传送夹具的情况下，设置于表面处理装置并与夹具接触的供电部作为供电轨。不传送夹具的情况下，供电部能够为与夹具的导电构件接触的固定接点。
附图说明
32.图1是本发明的实施方式的表面处理装置的纵截面图。
33.图2是图1的局部放大图。
34.图3是从传送方向观察工件保持夹具的侧视图。
35.图4是示出设置于工件保持夹具的接触部的支撑结构的图。
36.图5是工件保持夹具的正视图。
37.图6是示意性地示出比较例的夹具的图。
38.图7是示出流过图6中的夹具的电流的比较例的特性图。
39.图8是示意性地示出本发明的实施方式的夹具的图。
40.图9是示出流过图8中的夹具的电流的本实施方式的特性图。
41.图10是将上侧虚设板和绝缘板放大示出的图。
42.图11是上侧虚设板的侧视图。
43.图12是示出上侧虚设板能够在第1位置与第2位置之间移动的图。
44.图13是示出设置于下侧夹的虚设板和调整构件的图。
45.图14是示出将调整构件重叠于虚设板的状态的俯视图。
46.图15是图5的d
‑
d向视图。
47.图16是第1侧虚设构件的正视图。
48.图17是示出第1侧虚设构件和第2侧虚设构件的上部支撑结构的图。
49.图18是第1侧虚设构件和第2侧虚设构件的上部支撑结构的俯视图。
50.图19是示出第1侧虚设构件和第2侧虚设构件的下部支撑结构的图。
具体实施方式
51.在下述公开中，提供用于实施所提示的主题的不同特征的多个不同的实施方式及实施例。当然，这些仅为示例，并不旨在限定。此外，本公开中，各种示例中有时重复参考编号和/或文字。这种重复是为了简洁清楚，其本身不需要在与各种实施方式和/或说明的构成之间存在关系。此外，在第1要素被描述为“连接”或“连结”到第2要素时，这种描述包括第1要素与第2要素相互被直接连接或连结的实施方式，并且也包括第1要素和第2要素具有介于其间的1个以上的其他要素而相互被间接连接或连结的实施方式。另外，在描述为第1要素相对于第2要素“移动”时，这种描述包括第1要素和第2要素中的至少一者相对于另一者移动的相对移动的实施方式。
52.1.表面处理装置的概要
53.图1是表面处理装置、例如连续镀覆处理装置的纵截面图。连续镀覆处理装置10中，分别保持电路基板等工件20的多个传送夹具30在与图1的纸面垂直的方向上循环传送。图1中，示出了循环传送路径100中的平行的2条直线传送路径110、120。该2条直线传送路径110、120在两端被连结，形成了环状的循环传送路径100。
54.循环传送路径100设有：对由多个工件保持夹具30分别保持的工件20进行表面处理、例如镀覆处理的镀槽(广义上为表面处理槽)200；将未处理的工件20搬入多个传送夹具30的搬入部(未图示)；和将已处理的工件20从多个工件保持夹具30搬出的搬出部(未图示)。
55.本实施方式中，镀槽200沿着第2直线传送路径120设置，搬入部和搬出部设置于第1直线传送路径110。在循环传送路径100进一步具有：配置于镀槽200的上游侧的前处理槽组230；和配置于镀槽200的下游侧的后处理槽组(未图示)。
56.如图1所示，连续镀覆处理装置10具有镀槽(广义上为表面处理槽)200，其容纳电
镀液(广义上为处理液)并具有上端开口201。如将图1的一部分放大示出的图2所示，连续镀覆处理装置10进一步在偏离镀槽200的上端开口201的上方的位置具有沿着与镀槽200的长度方向平行的第1方向(与纸面垂直的方向)延伸设置的至少1条、例如2条第1导轨130和第2导轨140。多个传送夹具30配置于镀槽200的处理液中以分别保持工件20，并且被第1导轨130、第2导轨140支撑。
57.如图3所示，多个工件保持夹具30各自大致区分地具有传送部300和工件保持部500。作为传送部300，具有水平臂部301、第1被引导部310和第2被引导部320。第1被引导部310被支撑于水平臂部301的一端侧，并被第1导轨130所引导。第2被引导部320被支撑于水平臂部301的另一端侧，并被第2导轨140所引导。第1被引导部310包括：与第1导轨130的上表面和两侧面旋转接触的辊311、312、313。第2被引导部320包括：与第2导轨140的上表面旋转接触的辊321。
58.在镀覆处理装置10中，将工件20作为阴极(cathode)，镀槽200在夹着工件20的传送路径的两侧设有容纳阳极(anode)410l、410r的阳极箱202、203。通过未图示的整流器在阴极
‑
阳极间形成电场，将电镀液电解，对工件20进行电镀。为此，需要对传送中的工件20通电。为了向工件20供电，设置供电部、例如供电轨210。特别是，为了实施日本特开2009
‑
132999中公开的电流控制方法，如图2所示，本实施方式的供电轨210具有相互绝缘的多条、例如4条分割供电轨210a～210d。多个工件保持夹具30各自具有与4条分割供电轨210a～210d中的任一者接触供电的被供电部340(图2和图3)。
59.图4示出了被供电部340的详细情况。被供电部340在固定于水平臂部301的支撑板330具有与供电轨210接触的导电性的接触部(集电器)341。接触部341通过具有2条平行连杆342a、342b的平行连杆机构342连结到支撑板330。2条连杆342a、342b通过作为施力构件的扭转螺旋弹簧343、343在顺时针方向上移动施力。其结果，能够使接触部341以适度的接触压力接触供电轨210。
60.另外，2条平行连杆342a、342b相对于夹具30的传送方向a倾斜，使得上侧支点在前、下侧支点在后。其结果，接触部341以被工件保持夹具30拉住的方式运转，因此运转稳定。
61.2.工件保持部
62.如图5所示，工件保持部500具有：夹持矩形工件20的上缘部20a的导电性的多个上侧夹510；夹持矩形工件20的下缘部20b的导电性的多个下侧夹520；和包围矩形工件20而配置、支撑多个上侧夹510和多个下侧夹520的框体530。
63.框体530具有：支撑多个上侧夹510的导电性的上框531；支撑多个下侧夹520的导电性的下框532；与上框531的两端部和下框532的两端部分别连结的导电性的一对纵框533、534。此处，一对纵框533、534与上框531的两端部电绝缘，而与下框532的两端部电连接。需要说明的是，上框531和/或下框532也称为支撑夹(上侧夹510和/或下侧夹520)的支撑部。
64.3.将工件设定为阴极的导电构件
65.本实施方式中，设置于工件保持夹具30并能够与整流器和工件20电连接的导电构件包括：第1分支导电构件和第2分支导电构件；以及与第1分支导电构件和第2分支导电构件电连接的共通导电构件。
66.具体而言，如图5所示，一对接触部341在工件保持夹具30的传送方向a上隔开间隔配置有2个。将传送方向a的上游侧的接触部341称为第1接触部341a，将传送方向a的下游侧的接触部341称为第2接触部341b。一对第1电缆350a、350b的各一端电连接到第1接触部341a、第2接触部341b。
67.一对第1电缆350a、350b的各另一端共通连接到共通连接部360。作为共通导电构件的共通连接部360能够包括：一对第1电缆350a、350b的各另一端共通电连接的第1导电构件361；和固定于第1导电构件361的两端部的一对第2导电构件362、363。一对第2导电构件362、363在距一对第1电缆350a、350b的各另一端共通电连接到第1导电构件361的位置等距l的位置处，被固定于第1导电构件361的两端部。为了在距第1导电构件361的两端部等距l的位置处将一对第1电缆350a、350共通连接，可以将一对第1电缆350a、350中的一者连接到第1导电构件361的表面，将另一者连接到第1导电构件361的背面。
68.作为设置于工件保持夹具30的导电构件，进一步具有：将上框531的两端部和共通连接部360电连接的一对第1连接部370a、370b；和将与下框532的两端部电连接的一对纵框533、534和共通连接部360电连接的一对第2连接部380a、380b。需要说明的是，一对纵框533、534与上框531电绝缘。通过调整一对第2连接部380a、380b的形状、厚度、材质等来调整电阻值，能够调整流过上侧夹510的电流。
69.第1分支导电构件由经由一对第1连接部370a、370b中的一者和上框531使共通连接部360与多个上侧夹510中的一个导电的构件形成。这种情况下，第2分支导电构件由经由一对第1连接部370a、370b中的另一者和上框531使共通连接部360与多个上侧夹510中的另一个导电的构件形成。
70.或者，第1分支导电构件由经由一对第2连接部380a、380b中的一者、一对纵框533、534中的一者和下框532使共通连接部360与多个下侧夹520中的一个导电的构件形成。这种情况下，第2分支导电构件由经由一对第2连接部380a、380b中的另一者、一对纵框533、534中的另一者和下框532使共通连接部360与多个下侧夹520中的另一个导电的构件形成。
71.此处，作为共通导电构件的共通连接部360包含电阻值r的高电阻材料，该电阻值r是第1分支导电构件和第2分支导电构件间的最大电阻差δrω的103倍以上的电阻值，且为大于铜和铝的电阻值。本实施方式中，共通连接部360中，一对第2导电构件362、363由高电阻材料形成，第1导电构件361由低电阻构件形成。
72.作为高电阻材料，可以举出例如不锈钢(sus)。例如sus304的体积电阻率(ω
·
m)为73.7，相对于铜的1.7ω
·
m、铝的2.8ω
·
m大一个数量级。所测定的最大电阻差δrω为10～20mω，因此该高电阻材料的电阻值r满足r≥δr
×
103。同样，例如53.3ω
·
m的钛也适合作为高电阻材料。
73.此处，经由供电轨210与工件保持夹具30电连接的整流器为了流过所设定的恒定电流i，根据电流路径的闭环系统的阻抗z调整电压e，以达到e＝r
×
i。本实施方式中，闭环系统的电阻r包含比通常认为是低电阻的铜或铝电阻值更大的、作为共通导电构件的一对第2导电构件的高电阻值r。相对于在第1分支导电构件与第2分支导电构件之间(即，多个上侧夹510间、或多个下侧夹520间)产生的最大电阻差δrω，若r≥103×
δrω，则包含电阻值r的体系的电阻r也增大。因此，整流器调整到比较大的电压v，供给恒定电流i。这样，流过第1分支导电构件、第2分支导电构件的电流(或电子)在共通连接部360汇合，而且若能以大
幅超过与第1分支导电构件、第2分支导电构件间的电阻的偏差δrω相当的偏差电压δv的电压e流通电流i，则电阻的偏差δrω可以忽略。
74.3.1.比较例的电流监视器
75.图6示意性地示出如本实施方式这样使共通连接部360不包含高电阻值r的材料的比较例的夹具。流过图6中的比较例的夹具的传送方向a的上游侧的接触部的电流为a1，流过传送方向a的下游侧的接触部的电流为a2。
76.在图7所示的测定中，整流器的设定电流为204a(＝a1 a2)，分成2个分支流动的分支设定电流(a1、a2)为102a。一边沿图6的传送方向a传送工件保持夹具一边测定的电流a1、a2如图7所示相对于分支设定电流值上下变动。在时刻t1、t2的前后，如日本特开2009
‑
132999所公开的那样，夹具通过供电轨间的接缝从一个供电轨转移到另一个供电轨，因此，利用整流器实施与一个供电轨接触的接触部的电流值逐渐减小、与另一个供电轨接触的接触部的电流值逐渐增大的控制。在该电流逐渐减小/逐渐增大控制以外的区间，整流器根据设定电流来控制输出。但是，图7所示的比较例的电流a1、a2在恒流控制区间一点一点地变动，在电流逐渐减小/逐渐增大控制下大幅变动。
77.3.2.本实施方式的电流监视器
78.图8示意性地示出共通连接部360包含高电阻值r的材料的本实施方式的夹具30。流过图8中的夹具30的传送方向a的上游侧的接触部341a的电流为a1，流过传送方向a的下游侧的接触部341b的电流为a2，流过一对第1连接部370a、370b的电流为a3、a4，流过一对第2连接部380a、380b的电流为a5、a6。
79.在图9所示的测定中，整流器的设定电流为131a(＝a1 a2)，分成2个分支流动的分支设定电流(a1、a2)为65.5a。在时刻t的前后，与图7所示的时刻t1、t2同样地进行电流逐渐减小/逐渐增大控制，在除此以外的区间根据设定电流进行输出控制。关于一边沿图8的传送方向a传送工件保持夹具30一边测定的电流a3～a6，如图9所示，从夹具30的左右流至上侧夹510的分支电流a3、a4恒定，从夹具30的左右流至下侧夹520的分支电流a5、a6也恒定。
80.本实施方式中，在整流器与共通连接部360之间的导通路径存在因供电轨210的局部污垢等产生的第1接触部341a、第2接触部341b的接触电阻的偏差所致的电阻差、及供电轨210的续载时的电阻差，但通过设置具有上述电阻值的共通连接部360，也能减小这些不良影响。
81.本实施方式中，一对第1连接部能够包含一对金属板370a、370b，而一对第2连接部能够包含一对第2电缆380a、380b。这样，能够使从共通连接部360至上侧夹510的电阻值大于从共通连接部360至下侧夹520的电阻值。
82.这样，与仅前端部浸渍到处理液中的上侧夹510相比，能够使整体浸渍到处理液中的下侧夹520的表面处理所消耗的电流那样多的电流藉由下侧夹520流通至工件。图9中，通过使流过下侧夹520的电流a5、a6大于流过上侧夹510的电流a3、a4，结果能够使从上下流至工件20的电流大致恒定。
83.4.上侧虚设板/下侧虚设板
84.如图5所示，将上框531和/或下框532作为导电性的支撑部时，除了上侧夹510和/或下侧夹520以外，支撑部还能够具有导电性的上侧虚设板610和/或导电性的下侧虚设板620。上侧虚设板610在工件20的上缘部20a中未被上侧夹510保持的区域与工件20的上缘部
20a接近地进行配置。下侧虚设板620在工件20的下缘部20b中未被下侧夹520保持的区域与工件20的下缘部20b接近地进行配置。
85.上侧虚设板610和导电性的下侧虚设板620各自可移动地支撑于至少一个面、例如表里面，以分别覆盖表面和背面，并且能够具有分别调整虚设板610、620的露出导电面积的绝缘板630。
86.将上侧虚设板610放大示于图10。下侧虚设板620也采用图10所示的结构。如图10所示，上侧虚设板610经由与上侧虚设板610一体或分开形成的铰链611、通过例如螺钉612被固定于上框351。覆盖上侧虚设板610的两面的绝缘板630能够具有覆盖上侧虚设板610的表面的绝缘板630a、和覆盖上侧虚设板610的背面的绝缘板630b中的任一者或两者。绝缘板620a、620b通过插穿在分别设置于绝缘板630a、630b的纵向的长孔631a、631b(图10中仅示出长孔631a)和设置于上侧虚设板610的孔612中的螺栓641、以及拧入螺栓641的螺母642而例如被紧固于上侧虚设板610。
87.绝缘板620a、620b各自能够在长孔631a、631b的范围内相对于上侧虚设板610(下侧虚设板620)调整上下方向的位置。由此，如图10所示，在表面和背面能够独立地调整上侧虚设板610的前端部610a露出的导电面的露出面积s。通过改变上侧虚设板610的露出导电面积s，可调整对于上侧虚设板610的表面处理所消耗的电流。由此，可调整经由上侧夹510流至工件20的上缘部20a的电流。这样，能够调整流过工件20的上缘部20a的电流，提高进行表面处理的工件的面内均匀性。对下侧虚设板620也同样地进行调整，由此能够调整流过工件20的下缘部20b的电流，提高进行表面处理的工件的面内均匀性。
88.上侧虚设板610能够通过铰链611在图12的实线所示的第1位置p1、与链线所示的第2位置p2之间弯曲。在第1位置p1处，上侧虚设板610接近工件20的上缘部20a中未被上侧夹510保持的区域而与工件20平行地配置。在第2位置p2处，上侧虚设板610与工件20的主表面不平行，例如相对于工件20的主表面以直角交叉。
89.在对工件20进行表面处理时，上侧虚设板610设定在第1位置p1。另一方面，在利用自动设备对工件保持夹具30装卸工件20时，上侧虚设板610设定在第2位置p2。通过将上侧虚设板610设定在第2位置p2，在工件20的上缘部20a与上框351之间可确保间隙。由此，能够利用自动设备在与工件保持夹具30的上侧夹510不同的位置夹持工件20的上缘部。这种情况下，可以利用自动设备推动上侧虚设板610，使上侧虚设板610沿箭头f1方向从第1位置p1向第2位置p2移动。例如，如图12所示，可以利用设置于自动设备并移动的臂1000的前端的辊1100推动上侧虚设板610。关于下侧虚设板620，同样地，也能够在第1位置p1与第2位置p2之间使其弯曲。
90.上侧虚设板610可以通过铰链611本身的弹性或设置于铰链611的板簧或螺旋弹簧等施力构件被移动施力到第1位置p1。这样，可以不赋予复位外力而使上侧虚设板610沿箭头f2方向从第2位置p2向第1位置p1复位。关于下侧虚设板620，同样地，也可以不赋予复位外力而沿箭头f2方向从第2位置p2向第1位置p1复位。
91.需要说明的是，工件保持夹具具有夹持矩形工件20的四边的上下左右夹的情况下，可以在四边的各夹设置虚设板和绝缘板。
92.5.夹的虚设板和调整构件
93.下面，以下侧夹520为例，对设置于上侧夹510和下侧夹520中的一者或两者的虚设
板和调整构件进行说明。关于设置于上侧夹510的虚设板和调整构件，可以将下述说明中的“下侧夹520”改称为“上侧夹510”、将“下框532”改称为“上框531”来理解。
94.图13示出设置于下侧夹520的虚设板700和调整构件720。首先，下侧夹520包括：固定于下框532的固定部521；和按照相对于固定部521可摆动的方式被支撑的可动部523。固定部521具有第1面521a、和其相反侧的第2面521b。固定部521中，第2面521b与下框532进行面接触，通过螺栓522固定于下框532。固定部521具有从第1面521a垂直立起的2个侧壁521c。
95.在进行摆动的可动部523与固定部521的第1面521a之间，局部夹持有工件20的下缘部20b。可动部523能够绕由固定部521的2个侧壁521c所支撑的销524而摆动。螺旋弹簧525插穿在销524中。可动部523被螺旋弹簧525移动施力以朝向固定部521。可动部523经由固定部521、销524或螺旋弹簧525与下框532电连接。为了降低该导通路径的电阻值，也可以将螺旋弹簧525变更为板簧等。
96.导电性的虚设板700包括：与固定部521的第2面521b相向的第3面700a；和第3面700a的相反侧的第4面700b。另外，将虚设板700的一端部称为基端部701，将另一端部称为前端部704。在虚设板700中，使第4面700b平行于固定部521的第2面521b，基端部701被支撑于固定部521。
97.此处，如图14所示，在虚设板700的基端部701能够形成例如2个长孔702、703。将螺栓710插穿到该长孔702、703各自中，使螺栓710紧固于下框532。通过长孔702、703，虚设板700能够沿图13的箭头c方向调整固定位置。
98.如图13和图14所示，绝缘性的调整构件720覆盖虚设板700的第4面700b的一部分而与虚设板700重叠。未始终被调整构件720覆盖的导电面可以仅为前端部704。如图13和图14中影线所示，未被调整构件720覆盖的其他面进行绝缘涂布。
99.如图14所示，在调整构件720形成例如2个长孔721、722。将螺栓730插穿到该长孔721、722各自中，使螺栓730紧固于虚设板700。通过长孔702、703，调整构件720能够沿图13的箭头c方向调整固定位置。由此，调整构件720能够调整虚设板700的前端部704中的第4面700b侧的露出导电面积s2。
100.虚设板700的前端部704中的第4面700b侧的露出导电面进行表面处理。通过变更虚设板700的露出导电面积s2，可调整对于虚设板700的表面处理所消耗的电流。由此，可调整经由下侧夹520的固定部521流至工件20的下缘部20b的电流。若没有虚设板700和调整构件720，则经由下侧夹520的固定部521流至工件20的下缘部20b的电流增大。这是因为，如上所述，可动部523与下框532之间的电阻值比较大。由此，电流不会集中在与可动部523接触的区域附近的工件20的下缘部20b且与可动部523接触的一侧的面20b1(图13)。另一方面，电流更倾向于集中在与固定部521接触的区域附近的工件20的下缘部20b且与固定部521接触的一侧的面20b2(图13)。其结果，在固定部521的附近的区域，工件20的表面处理局部进行。根据本实施方式，能够调整流过工件20的下缘部20b的局部区域20b2的电流，能够提高进行表面处理的工件的面内均匀性。
101.另外，通过长孔702、703，能够在与调整构件720可移动的箭头c方向平行的方向上变更虚设板700的基端部701相对于固定部521的固定位置。这样，在从与工件20的主表面正交的方向进行观察的侧视图中，能够调整下侧夹520的固定部521的第2面521b或工件的主
表面与虚设板700的重叠面积。通过该位置调整，也可调整对于虚设板700的表面处理所消耗的电流。
102.此处，图1所示的处理槽200内的处理液q相对于夹具30设定图5所示的液面l。由此，下侧夹520的整体没入到处理液q中。因此，在虚设板700中，除了前端部704中的第4面700b，如图13和图14中影线所示，未被调整构件720覆盖的其他面进行绝缘涂布。由此，虚设板700的前端部704中的第4面700b以外不会被徒劳地进行表面处理。
103.上述设置于下侧夹520的虚设板700和调整构件720的结构还能适用于设置于上侧夹510的虚设板和调整构件。需要说明的是，上侧夹510的整体不从图5所示的处理液q的液面l的位置没入到处理液q中，在这点上与下侧夹520是不同的。因此，设置于上侧夹510的虚设板可以仅在没入到处理液q中的区域缩小绝缘涂布区域。这是因为，未浸渍到处理液q中的区域不进行表面处理，因此无需进行绝缘涂布。
104.6.第1侧虚设构件、第2侧虚设构件
105.如图5所示，工件保持夹具30能够进一步具有接近工件20的两侧缘部而配置的导电性的第1侧虚设构件800a和第2侧虚设构件800b。如作为图5的d
‑
d向视图的图15所示，第1侧虚设构件800a配置于工件20的侧缘部20d与纵框534之间。第2侧虚设构件800b配置于工件20的侧缘部20c与纵框534之间。
106.此处，与共通导电构件360的第2导电构件362电连接、从共通导电构件360分支、并经由上侧夹510与工件20导通的第1分支导通构件由一对第1连接部370a、370b和它们连接到两端部的上框531所定义。工件保持夹具30进一步具有第2分支导通构件900(900a、900b)，其与共通导电构件360电连接，从共通导电构件360分支，并与第1侧虚设构件800a和第2侧虚设构件800b导通。第2分支导通构件900的第1虚设导通构件900a从共通导电构件360分支并与第1侧虚设构件800a导通。第2分支导通构件900的第2虚设导通构件900b从共通导电构件360分支并与第2侧虚设构件800b导通。
107.能够与整流器电连接的共通导电构件360经由第1分支导通构件370a、370b、531通过上侧夹510与工件20导通。该共通导电构件360经由第2分支导通构件900(900a、900b)与第1侧虚设构件800a和第2侧虚设构件800b导通。流至工件20、第1侧虚设构件800a和第2侧虚设构件800b的总电流可由整流器进行设定。此处，纵框533、534进行了绝缘涂布。若没有第1侧虚设构件800a和第2侧虚设构件800b，则电场集中在工件20的两侧缘部20c、20d，流至工件20的两侧缘部20c、20d的电流增多。纵框533、534未进行绝缘涂布的情况下，为了镀覆导电性的纵框533、534要消耗电流，流过工件20的两侧缘部20c、20d的电流减少。因此，可以设置第1虚设导通构件900a和第2虚设导通构件900b，调整流过工件20的两侧缘部20c、20d的电流。而且，通过相对于第1分支导通构件370a、370b、531独自设定第2分支导通构件900(900a、900b)的电阻值，能够与流过工件20的电流独立地设定流过第1侧虚设构件800a和第2侧虚设构件800b的电流。由此，通过对接近工件20的侧缘部20c、20d而配置的第1侧虚设构件和第2侧虚设构件也进行表面处理，能够调整流过工件20的侧缘部20c、20d的电流，能够提高进行表面处理的工件的面内均匀性。另外，通过独自设定第1虚设导通构件900a和第2虚设导通构件900b的电阻值，能够独自设定流过第1侧虚设构件800a和第2侧虚设构件800b的电流。由此，能够调整流过工件20的一个侧缘部20c与另一侧缘部20d的电流。
108.第1虚设导通构件900a例如具有：一端连接到共通导电构件360的第2导电构件362
的电缆910a；连接有电缆910a的另一端的导电板920a；和一端连接到导电板、另一端连接到第1侧虚设构件800a的电缆930a。第2虚设导通构件900b也同样地具有电缆910b、导电板920b和电缆930b。
109.第1虚设导通构件900a、第2虚设导通构件900b能够具有第1可变电阻器、第2可变电阻器。设置于第1虚设导通构件900a的第1可变电阻器由设置于导电板920a的长孔921a、和沿着长孔921a移动的可动接点部922a构成。长孔921a将距电缆910a的连接部的距离变长的方向(图5中为水平方向)作为长度方向。通过改变与电缆930a连接的可动接点部922a的位置，电阻值可变。设置于第2虚设导通构件900b的第2可变电阻器也同样地由长孔921b和可动接点部922b构成。这样，通过利用第1可变电阻器、第2可变电阻器调整电阻值，能够在规定的范围内任意调整第1虚设导通构件900a的电阻值和第2侧虚设构件800b的电阻值。需要说明的是，可动接点部922a和可动接点部922b可手动或自动调整位置。
110.本实施方式中，如图5所示，第1虚设导通构件900a与第1侧虚设构件800a的上部导通，第2虚设导通构件900b与第2侧虚设构件800b的上部导通。这种情况下，如图16所示，第1侧虚设构件800a和第2侧虚设构件800b各自优选形成为：与工件20的厚度方向平行的宽度w1、w2、w3的上部窄于下部(w1<w2<w3)。宽度可以阶段性地变化，也可以连续变化。第1侧虚设构件800a和第2侧虚设构件800b的上部更靠近整流器，因而具有上部较下部更多地进行表面处理的倾向。因此，具有工件20的两侧缘部20c、20d的上部难以进行表面处理的倾向(镀覆厚度变薄)。通过在上部缩小第1侧虚设构件800a和第2侧虚设构件800b的宽度，工件20的两侧缘部20c、20d的上部容易进行表面处理，在上部也可确保镀膜厚。由此，在工件20的两侧缘部能够有效地进行从上部流至下部的电流的调整。
111.关于设置于工件保持夹具30的第1侧虚设支撑部、第2侧虚设支撑部，参照图17～图19进行说明。图17～图19中，第1侧虚设支撑部、第2侧虚设支撑部例如如图15所示能够使第1侧虚设构件800a、第2侧虚设构件800b在工件20的宽度方向即箭头e方向和工件20的厚度方向即箭头f方向上可变。
112.图17和图18是支撑第1侧虚设构件800a的上部的支撑部的正视图和俯视图。在纵框534的上部设有向工件保持夹具30的内侧延伸的2个安装片820a。在该2个安装片820a间配置支撑第1侧虚设构件800a的上部的上部支撑片830a。2个安装片820a具有将箭头e方向作为长度方向的长孔821。插穿在该长孔821中的螺栓835拧入上部支撑片830a。若松开螺栓835，则上部支撑片830a能够与第1侧虚设构件800a一起沿箭头e方向移动。若拧紧螺栓835，则上部支撑片830a被2个安装片820a所固定。
113.如图18所示，上部支撑片830a具有上下贯通并以箭头f方向作为长度方向的长孔831。插穿在该长孔831中的螺栓810拧入第1侧虚设构件800a的上部。若松开螺栓810，则第1侧虚设构件800a能够沿箭头f方向移动。若拧紧螺栓810a，则第1侧虚设构件800a被上部支撑片830a所固定。虽省略图示，但第2侧虚设构件800b的上部也与第1侧虚设构件800a的上部同样地被支撑。
114.图19示出了支撑第1侧虚设构件800a的下部的支撑部。在纵框534的上部设有向工件保持夹具30的内侧延伸的2个安装片820a。在该2个安装片820a间配置支撑第1侧虚设构件800a的下部的下部支撑片830b。除了支撑后述连接部850的结构以外，下部支撑片830b具有与上部支撑片830a同样的结构。另外，第2侧虚设构件800b的下部也与第1侧虚设构件
800a的下部同样地被支撑。
115.例如，通过将电缆930a、930b连接到图18所示的螺栓810，第1侧虚设构件800a、第2侧虚设构件800b能够与整流器连接。需要说明的是，为了使第1侧虚设构件800a、第2侧虚设构件800b与纵框933、934电绝缘，安装片820a和/或上部支撑片830a、下部支撑片830b由绝缘体形成。
116.通过使第1侧虚设构件800a、第2侧虚设构件800b在工件20的宽度方向e上移动，在工件的两侧缘部20c、20d分别能够调整工件的表面处理量(镀膜厚)。例如，若使第1侧虚设构件800a向图15的左侧移动，则能够减薄工件20的侧缘部20d的镀膜厚。相反，若使第1侧虚设构件800a向图15的右侧移动，则能够增大工件20的侧缘部20d的镀膜厚。由此，可以为使第1侧虚设构件800a、第2侧虚设构件800b仅在工件20的宽度方向e移动的结构。
117.通过使第1侧虚设构件800a、第2侧虚设构件800b在工件20的厚度方向f移动，在工件20的两侧缘部20c、20d分别能够调整图15所示的工件20的表面20d1和背面20d2的表面处理量(镀膜厚)。例如，若使第1侧虚设构件800a向图15的上方移动，则能够减薄工件20的表面20d1的镀膜厚。相反，若使第1侧虚设构件800a向图15的下方移动，则能够减薄工件20的背面20d2的镀膜厚。由此，可以为使第1侧虚设构件800a、第2侧虚设构件800b仅在工件20的厚度方向f移动的结构。
118.如图19所示，能够进一步设置将第1侧虚设构件800a的下部与第2侧虚设构件800b的下部电连接的连接构件850。通过设置连接构件850，电流也容易流至第1侧虚设构件800a和第2侧虚设构件800b的下部，在工件20的两侧缘部20c、20d能够有效地进行从上部流至下部的电流的调整。
119.连接构件850的两端部例如可滑动地被图19所示的2个下部支撑片830b所支撑。由此，允许2个下部支撑片830b向图15所示的箭头e方向移动。另外，连接构件850的两端部通过柔性的导电构件与第1侧虚设构件800a、第2侧虚设构件800b的下部电连接。由此，允许第1侧虚设构件800a、第2侧虚设构件800b向图15所示的箭头e、f方向移动。
120.符号说明
121.20
…
工件、20a
…
上缘部、20b
…
下缘部、20c、20d
…
侧缘部、30
…
工件保持夹具、210
…
供电部(供电轨)、341a、341b
…
第1接触部、第2接触部、341a、350a
…
第1分支导电构件、341b、350b
…
第2分支导电构件、350a、350b
…
一对第1电缆、360
…
共通连接部(共通导电构件)、361
…
第1导电构件、362、363
…
一对第2导电构件、370a、370b
…
一对第1连接部(一对金属板)、370a、370b、531
…
第1分支导通构件、380a、380b
…
一对第2连接部(一对第2电缆)、380a、380b、533、534
…
第1分支导通构件、410r、410l
…
阳极、510
…
上侧夹、520
…
下侧夹、521
…
固定部、521a
…
第1面、521b
…
第2面、523
…
可动部、530
…
框体、531
…
上框(支撑部)、532
…
下框(支撑部)、533、534
…
一对纵框、610
…
上侧虚设板、620
…
下侧虚设板、611
…
铰链、630、630a、630b
…
绝缘板(上侧绝缘板、下侧绝缘板、表面侧绝缘板、背面侧绝缘板)、700
…
虚设板、700a
…
第3面、700b
…
第4面、701
…
基端部、704
…
前端部、720
…
调整构件、800a
…
第1侧虚设构件、800b
…
第2侧虚设构件、850
…
连接构件、900(900a、900b)
…
第2分支导通构件、900a(910a、920a、922a、930a)
…
第1虚设导通构件、900b(910b、920b、922b、930b)
…
第2虚设导通构件、920a、921a、922a
…
第1可变电阻器、920b、921b、922b
…
第2可变电阻器、p1
…
第1位置、p2
…
第2位置、s、s2
…
露出导电面积