一种基于TDI线阵相机的检测方法及装置与流程

技术特征：
1.一种基于tdi线阵相机的检测方法，包括：使用第一积分级数控制tdi线阵相机拍摄第一图像；使用第二积分级数控制tdi线阵相机拍摄第二图像，所述第二积分级数大于所述第一积分级数；获取所述第一图像中的高反射率区域，对所述第一图像中的高反射率区域进行特征的检测；获取所述第二图像中的低反射率区域，对所述第二图像中的低反射率区域进行特征的检测。2.根据权利要求1所述的基于tdi线阵相机的检测方法，其特征在于，所述方法还包括：在所述tdi线阵相机的像素行中选取第一像素行组，所述第一像素行组的像素行数为所述第一积分级数；所述使用第一积分级数控制tdi线阵相机拍摄第一图像包括：在扫描被检测物过程中，基于所述第一像素行组采集的信号积分输出第一图像。3.根据权利要求2所述的基于tdi线阵相机的检测方法，其特征在于，所述方法还包括：在所述tdi线阵相机的像素行中选取第二像素行组，所述第二像素行组的像素行数为第二积分级数；所述使用第二积分级数控制tdi线阵相机拍摄第二图像包括：在扫描所述被检测物过程中，基于所述第二像素行组采集的信号积分输出第二图像。4.根据权利要求3所述的基于tdi线阵相机的检测方法，其特征在于，所述方法还包括：所述第一像素行组和所述第二像素行组为不重叠关系、部分重叠关系或包含关系。5.根据权利要求1所述的基于tdi线阵相机的检测方法，其特征在于，所述获取所述第一图像中的高反射率区域和/或获取所述第二图像中的低反射率区域为：通过图像识别第一图像和/或第二图像中被检测物表面的标记获取高反射率区域和/或低反射率区域。6.根据权利要求1至5任一项所述的基于tdi线阵相机的检测方法，其特征在于，所述方法还包括：获取所述高反射率区域和低反射率区域的灰度值，根据所述灰度值设定所述第一积分级数和/或第二积分级数。7.一种基于tdi线阵相机的检测装置，包括：图像采集模块，用于使用第一积分级数控制tdi线阵相机拍摄第一图像；使用第二积分级数控制tdi线阵相机拍摄第二图像，所述第二积分级数大于所述第一积分级数；图像识别模块，用于获取所述第一图像中的高反射率区域，对所述第一图像中的高反射率区域进行特征检测；获取所述第二图像中的低反射率区域，对所述第二图像中的低反射率区域进行特征检测。8.根据权利要求7所述的基于tdi线阵相机的检测装置，其特征在于，所述图像采集模块还用于：在所述tdi线阵相机的像素行中选取第一像素行组和第二像素行组，所述第一像素行组的像素行数为第一积分级数，所述第二像素行组的像素行数为第二积分级数；所述图像采集模块还用于基于所述第一像素行组采集的信号积分输出第一图像，基于
所述第二像素行组采集的信号积分输出第二图像。9.根据权利要求7所述的基于tdi线阵相机的检测装置，其特征在于，所述图像识别模块用于通过图像识别第一图像和/或第二图像中被检测物表面的标记获取高反射率区域和/或低反射率区域。10.根据权利要求7至9任一项所述的基于tdi线阵相机的检测装置，其特征在于，所述检测装置还包括级数设定模块，所述级数设定模块还用于获取所述高反射率区域和低反射率区域的灰度值，根据所述灰度值设定所述第一积分级数和/或第二积分级数。

技术总结
本发明提供一种基于TDI线阵相机的检测方法，包括：使用第一积分级数控制TDI线阵相机拍摄第一图像；使用第二积分级数控制TDI线阵相机拍摄第二图像，所述第二积分级数大于所述第一积分级数；获取所述第一图像中的高反射率区域，对所述第一图像中的高反射率区域进行特征检测；获取所述第二图像中的低反射率区域，对所述第二图像中的低反射率区域进行特征检测。本发明还相应提供了一种基于TDI线阵相机的缺陷检测装置。该缺陷检测方法及装置具有较低的误检率和漏检率。误检率和漏检率。误检率和漏检率。


技术研发人员：陈鲁 王天民 张嵩
受保护的技术使用者：深圳中科飞测科技股份有限公司
技术研发日：2021.06.30
技术公布日：2021/10/23