一种半导体产线外延炉鼓泡器用恒温控制系统的制作方法

本实用新型涉及温度控制系统的技术领域，具体的涉及一种半导体产线外延炉鼓泡器用恒温控制系统。

背景技术：

目前，我国半导体生产设备国产化较低，美国、意大利等国家实施技术壁垒，将其上世纪80、90年代的设备和技术输出我国，其中进口外延炉鼓泡器用的恒温控制系统采用硅晶片制冷技术，由通断模式控制，存在不能连续制冷、温度变化误差大、使用寿命短、备件不易寻找的技术问题。

技术实现要素：

针对上述技术问题，本实用新型目的是提供一种半导体产线外延炉鼓泡器用恒温控制系统，采用压缩机替代硅晶片制冷，改变制冷过程中使用通断模式导致的温度变化误差，形成不间断制冷，采用加热棒来中和压缩机制冷，通过单片机控制系统实现对温度的控制更加快速、稳定、精确，并且设备不易损坏、备件易购买。

为实现此目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种半导体产线外延炉鼓泡器用恒温控制系统，包括温度控制器，所述温度控制器与鼓泡器循环腔体连接，鼓泡器循环腔体内部设置鼓泡器，由温度控制器与鼓泡器循环腔体之间进行水循环工作，来控制鼓泡器内部实现恒温。

作为优选的，所述温度控制器包括单片机控制系统、显示屏、按键、水槽、压缩机，所述单片机控制系统均与显示屏、按键电连接，且单片机控制系统还连接有固态继电器，所述水槽内设有加热棒和制冷管，所述加热棒与固态继电器的输出端连接，制冷管与压缩机连接。

作为优选的，所述水槽和鼓泡器循环腔体均设有入水口与出水口，水槽的入水口与鼓泡器循环腔体的出水口连接，水槽的出水口与鼓泡器循环腔体的入水口连接，所述水槽的出水口处设有单向阀，单向阀一端连接有水泵。

作为优选的，所述水槽内设有温度传感器，温度传感器与单片机控制系统电连接。

作为优选的，所述水槽内设有液位传感器，液位传感器与单片机控制系统电连接。

本实用新型的有益效果：

(1)改进了同功能进口设备的结构和主要组成部分，通过单片机控制系统控制，压缩机和加热棒作为执行机构，替代了硅晶片，使得设备使用寿命长、备件全部国产化，降低了成本；

(2)采用压缩机替代硅晶片制冷，加热棒来中和压缩机制冷，改变制冷过程中使用通断模式导致的温度变化误差，形成不间断制冷，实现对温度的控制更加快速、稳定、精确，而且设备不易损坏、备件易购买；

(3)同时可以设置较大容积的水槽，扩大循环水容积，使得一台本实用新型温度控制器可以匹配两台或多台鼓泡器运转，进而提高生产效率。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

图中：1-鼓泡器循环腔体，2-鼓泡器，3-水槽，4-加热棒，5-制冷管，6-入水口，7-出水口，8-单向阀，9-水泵，a为水循环方向，b1为氢气进入方向，b2为携带物体氢气的流出方向。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

如图1所示，一种半导体产线外延炉鼓泡器用恒温控制系统，包括温度控制器，所述温度控制器与鼓泡器循环腔体1连接，鼓泡器循环腔体1内部设置鼓泡器2，由温度控制器与鼓泡器循环腔体1之间进行水循环工作，来控制鼓泡2内部实现恒温。

进一步的，所述温度控制器包括单片机控制系统、显示屏、按键、水槽3、压缩机，所述单片机控制系统均与显示屏、按键电连接，用于显示水温和水位，便于控制单片机控制系统工作，且单片机控制系统还连接有固态继电器，；所述水槽3内设有加热棒4和制冷管5，所述加热棒4与固态继电器的输出端连接，制冷管5与压缩机连接；由压缩机不断向制冷管5制冷，当水槽3内水温度低于设定温度时，温度传感器将温度信号传给单片机控制系统，从而单片机控制系统给固态继电器信号，使加热棒4接通电源并开始加热，加热到设定温度后，单片机控制系统给固态继电器信号，使加热棒4与电源断开停止加热。

进一步的，所述水槽3和鼓泡器循环腔体1均设有入水口6与出水口7，水槽3的入水口6与鼓泡器循环腔体1的出水口7连接，水槽3的出水口与鼓泡器循环腔体1的入水口6连接，所述水槽3的出水口7处设有单向阀8，单向阀8一端连接有水泵9，保证水槽3与鼓泡器循环腔体1内的水单向循环。

进一步的，所述水槽3内设有温度传感器，温度传感器与单片机控制系统电连接，用于感应水槽3内的水温。

进一步的，所述水槽3内设有液位传感器，液位传感器与单片机控制系统电连接，用于感应水槽内的水位，当水位低于设定水位时，液位传感器将信号传递给单片机控制系统，再传递到显示屏上，提示需要向水槽内加水。

本具体实施方式的工作原理：本恒温控制系统应用于半导体生产设备中，使鼓泡器内部实现恒温；在使用时，使温度控制器运行，压缩机不间断对制冷管5进行制冷，当水槽3内温度低于设定温度时，温度传感器将温度信号传给单片机控制系统，从而单片机控制系统给固态继电器信号，使加热棒4接通电源并开始加热，加热到设定温度后，单片机控制系统控制固态继电器，使加热棒4与电源断开停止加热，使水槽3内的水温保持在设定的温度范围内，从而使鼓泡器循环腔体1的水温保持恒定，进而使鼓泡器2内部液体温度保持恒定，鼓泡器2一端与氢气输出端连接，一端与其他设备连接，氢气与鼓泡器2内部液体混合作用后进入其他设备，进行下一生产工序。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

技术特征：

1.一种半导体产线外延炉鼓泡器用恒温控制系统，其特征在于：包括温度控制器，所述温度控制器与鼓泡器循环腔体(1)连接，鼓泡器循环腔体(1)内部设置鼓泡器(2)，由温度控制器与鼓泡器循环腔体(1)之间进行水循环工作，来控制鼓泡器(2)内部实现恒温。

2.根据权利要求1所述的一种半导体产线外延炉鼓泡器用恒温控制系统，其特征在于：所述温度控制器包括单片机控制系统、显示屏、按键、水槽(3)、压缩机，所述单片机控制系统均与显示屏、按键电连接，且单片机控制系统还连接有固态继电器，所述水槽(3)内设有加热棒(4)和制冷管(5)，所述加热棒(4)与固态继电器的输出端连接，制冷管(5)与压缩机连接。

3.根据权利要求2所述的一种半导体产线外延炉鼓泡器用恒温控制系统，其特征在于：所述水槽(3)和鼓泡器循环腔体(1)均设有入水口(6)与出水口(7)，水槽(3)的入水口(6)与鼓泡器循环腔体(1)的出水口(7)连接，水槽(3)的出水口(7)与鼓泡器循环腔体(1)的入水口(6)连接，所述水槽(3)的出水口(7)处设有单向阀(8)，单向阀(8)一端连接有水泵(9)。

4.根据权利要求3所述的一种半导体产线外延炉鼓泡器用恒温控制系统，其特征在于：所述水槽(3)内设有温度传感器，温度传感器与单片机控制系统电连接。

5.根据权利要求4所述的一种半导体产线外延炉鼓泡器用恒温控制系统，其特征在于：所述水槽(3)内设有液位传感器，液位传感器与单片机控制系统电连接。

技术总结
本实用新型公开了一种半导体产线外延炉鼓泡器用恒温控制系统，包括温度控制器，所述温度控制器与鼓泡器循环腔体连接，鼓泡器循环腔体内部设置鼓泡器，所述温度控制器包括单片机控制系统、显示屏、按键、水槽、压缩机，所述单片机控制系统均与显示屏、按键电连接，且单片机控制系统还连接有固态继电器，所述水槽内设有加热棒和制冷管，所述加热棒与固态继电器的输出端连接，制冷管与压缩机连接。本实用新型采用压缩机替代硅晶片制冷，形成不间断制冷，实现对温度的控制更加快速、稳定、精确，并且设备不易损坏、备件易购买。

技术研发人员：刘凤辉;刘立超;冯哲;刘博伟;庞超;杜蕊
受保护的技术使用者：石家庄百耀电气科技有限公司
技术研发日：2021.01.05
技术公布日：2021.08.24