一种便于清洁和收集废料的ITO靶材装置的制作方法

技术特征：
1.一种便于清洁和收集废料的ito靶材装置，包括收集槽(1)和安装栏(11)，其特征在于：所述收集槽(1)的外侧安装有第一电机(2)，且第一电机(2)的外侧连接有第一转轮(3)，所述第一转轮(3)的外侧设置有传动带(4)，且传动带(4)的内侧设置有第二转轮(5)，所述第二转轮(5)的外侧连接有转动轴(6)，且转动轴(6)的外侧连接有过滤板(7)，所述收集槽(1)的内部设置有夹板(8)，且夹板(8)的内侧设置有第一弹簧(9)，并且第一弹簧(9)的上端连接有滑板(10)，所述安装栏(11)设置于收集槽(1)的上方，且安装栏(11)的上方安装有第二电机(12)，所述第二电机(12)的外侧连接有螺纹杆(13)，且螺纹杆(13)的外侧连接有移动板(14)，所述移动板(14)的下方连接有伸缩杆(15)，且伸缩杆(15)的外侧设置有第二弹簧(16)，并且伸缩杆(15)的端头处连接有清物块(17)，所述安装栏(11)的下方安装有气缸(18)，且气缸(18)的下方连接固定台(22)，所述固定台(22)的下方安装有第三电机(19)，且第三电机(19)的外侧连接有清洁杆(20)，所述收集槽(1)的内部设置有隔板(21)。2.根据权利要求1所述的一种便于清洁和收集废料的ito靶材装置，其特征在于：所述第二转轮(5)与收集槽(1)之间通过第一转轮(3)构成转动结构，且第二转轮(5)的外表面与传动带(4)的内表面之间为紧密贴合。3.根据权利要求1所述的一种便于清洁和收集废料的ito靶材装置，其特征在于：所述滑板(10)与夹板(8)之间通过第一弹簧(9)构成滑动安装结构，且滑板(10)与夹板(8)之间为卡合连接。4.根据权利要求1所述的一种便于清洁和收集废料的ito靶材装置，其特征在于：所述清物块(17)与安装栏(11)之间通过螺纹杆(13)构成滑动安装结构，且清物块(17)的宽度与收集槽(1)内部的宽度相等。5.根据权利要求1所述的一种便于清洁和收集废料的ito靶材装置，其特征在于：所述清物块(17)与移动板(14)之间通过伸缩杆(15)构成升降结构，且伸缩杆(15)关于移动板(14)的轴线对称设置有2个。6.根据权利要求1所述的一种便于清洁和收集废料的ito靶材装置，其特征在于：所述清洁杆(20)与固定台(22)之间通过第三电机(19)构成转动结构，且清洁杆(20)的外侧表面与收集槽(1)内侧的表面之间紧密接触。

技术总结
本实用新型属于IT0靶材装置技术领域，尤其为一种便于清洁和收集废料的ITO靶材装置，包括收集槽和安装栏，所述收集槽的外侧安装有第一电机，且第一电机的外侧连接有第一转轮，所述第一转轮的外侧设置有传动带，且传动带的内侧设置有第二转轮，所述第二转轮的外侧连接有转动轴，且转动轴的外侧连接有过滤板，所述收集槽的内部设置有夹板，且夹板的内侧设置有第一弹簧，并且第一弹簧的上端连接有滑板，所述安装栏设置于收集槽的上方，且安装栏的上方安装有第二电机，所述第二电机的外侧连接有螺纹杆，且螺纹杆的外侧连接有移动板，所述移动板的下方连接有伸缩杆。该便于清洁和收集废料的ITO靶材装置，具备废料收集功能，且可以对装置自身进行清理。置自身进行清理。置自身进行清理。


技术研发人员：葛春桥 崔恒
受保护的技术使用者：中山智隆新材料科技有限公司
技术研发日：2020.09.09
技术公布日：2021/9/21